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公开(公告)号:FR3111019B1
公开(公告)日:2022-07-22
申请号:FR2005537
申请日:2020-05-26
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS
Inventor: DUTARTRE DIDIER
IPC: H01L31/11 , H01L27/146
Abstract: Capteur optique intégré, comprenant au moins un module de détection (MD) comportant une photodiode pincée (PPD) comportant au sein d’un substrat semiconducteur, une première région semiconductrice (RG1) ayant un premier type de conductivité située entre une deuxième région semiconductrice (RG2) ayant un deuxième type de conductivité opposé au premier et une troisième région semiconductrice (RG3) ayant le deuxième type de conductivité, plus épaisse, moins dopée et située plus en profondeur dans le substrat que la deuxième région (RG2), et comportant du silicium et du germanium présentant au moins un premier gradient de concentration (GR1 ; GR10). Figure pour l’abrégé : Fig 1
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22.
公开(公告)号:FR3078436B1
公开(公告)日:2020-03-20
申请号:FR1851615
申请日:2018-02-23
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS
Inventor: DUTARTRE DIDIER
Abstract: Circuit intégré (IC) comportant un substrat (1), au moins un premier domaine (D1), et au moins un deuxième domaine (D2) distinct dudit au moins un premier domaine (D1), dans lequel le substrat (1) contient une région riche en pièges (CP) uniquement dans ledit au moins un deuxième domaine (D2).
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公开(公告)号:FR3073076A1
公开(公告)日:2019-05-03
申请号:FR1760164
申请日:2017-10-27
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS
Inventor: MORIN PIERRE , ARNAUD FRANCK , DUTARTRE DIDIER
IPC: G11C13/02
Abstract: L'invention concerne une point mémoire à matériau à changement de phase comprenant, sur un via (108) de liaison avec un transistor, un élément de chauffage (116) du matériau à changement de phase (118), et, entre le via et l'élément de chauffage, une barrière thermique (202) électriquement conductrice.
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公开(公告)号:FR3122524A1
公开(公告)日:2022-11-04
申请号:FR2104505
申请日:2021-04-29
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS , ST MICROELECTRONICS SRL
Inventor: MONGE ROFFARELLO PIERPAOLO , MICA ISABELLA , DUTARTRE DIDIER , ABBADIE ALEXANDRA
IPC: H01L21/334
Abstract: Procédé de fabrication de puces semiconductrices La présente description concerne un procédé de fabrication d'une puce semiconductrice, comportant les étapes suivantes : a) prévoir un substrat (101) en silicium monocristallin dopé ;b) former par épitaxie, sur et en contact avec la face supérieure du substrat (101), une couche (103) en silicium monocristallin dopé ; c) avant ou après l'étape b), et avant toute autre étape de traitement thermique à une température comprise entre 600°C et 900°C, appliquer au substrat un traitement thermique de dénudage, à une température supérieure ou égale à 1000°C pendant plusieurs heures. Figure pour l'abrégé : Fig. 2
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25.
公开(公告)号:FR3103284A1
公开(公告)日:2021-05-21
申请号:FR1912771
申请日:2019-11-15
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS
Inventor: DUTARTRE DIDIER
IPC: G01S17/00 , G01S7/48 , G01T1/24 , H01L31/02 , H01L31/107
Abstract: Capteur optique intégré, comprenant au moins un module de détection de photons du type photodiode à avalanche à photon unique (MD), ledit module de détection comportant au sein d’un substrat, une zone active semiconductrice (1) contenant du germanium. Figure pour l’abrégé : Fig 1
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26.
公开(公告)号:FR3078436A1
公开(公告)日:2019-08-30
申请号:FR1851615
申请日:2018-02-23
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS
Inventor: DUTARTRE DIDIER
Abstract: Circuit intégré (IC) comportant un substrat (1), au moins un premier domaine (D1), et au moins un deuxième domaine (D2) distinct dudit au moins un premier domaine (D1), dans lequel le substrat (1) contient une région riche en pièges (CP) uniquement dans ledit au moins un deuxième domaine (D2).
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公开(公告)号:FR3073075A1
公开(公告)日:2019-05-03
申请号:FR1760166
申请日:2017-10-27
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS
Inventor: MORIN PIERRE , DUTARTRE DIDIER
IPC: G11C13/02
Abstract: L'invention concerne un point mémoire à matériau à changement de phase, comprenant, sur un via (108) de liaison avec un transistor, un élément de chauffage (116) du matériau à changement de phase (118), et, entre le via et l'élément de chauffage (116), une couche (202) en un matériau électriquement isolant ou de résistivité électrique supérieure à 2,5·10-5 Ω.m, les interfaces entre ladite couche et les matériaux en contact avec les deux faces de ladite couche formant une barrière thermique, ladite couche étant suffisamment mince pour pouvoir être traversée par un courant électrique par un effet de type effet tunnel.
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28.
公开(公告)号:SG11201503570PA
公开(公告)日:2015-06-29
申请号:SG11201503570P
申请日:2013-09-19
Applicant: SOITEC SILICON ON INSULATOR , ST MICROELECTRONICS CROLLES 2
Inventor: KONONCHUK OLEG , DUTARTRE DIDIER
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公开(公告)号:FR3068174A1
公开(公告)日:2018-12-28
申请号:FR1755669
申请日:2017-06-21
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS
Inventor: GOLANSKI DOMINIQUE , JIMENEZ JEAN , DUTARTRE DIDIER , GONNARD OLIVIER
IPC: H01L31/107 , H01L31/18
Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'une photodiode SPAD, compatible avec la fabrication de transistors MOS, comprenant : délimiter une zone de formation d'une photodiode SPAD dans une couche (6) de matériau semiconducteur d'un premier type de dopage ; implanter des dopants d'un second type avec une première énergie dans une première région enterrée (20) de ladite zone ; et faire croître une couche épitaxiale (22) sur l'ensemble de la structure.
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公开(公告)号:JP2000031155A
公开(公告)日:2000-01-28
申请号:JP15604999
申请日:1999-06-03
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA , COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor: CHANTRE ALAIN , MARTY MICHEL , DUTARTRE DIDIER , MONROY AUGUSTIN , LAURENS MICHEL , GUETTE FRANCOIS
IPC: H01L29/73 , H01L21/331 , H01L29/08 , H01L29/737
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce low frequency noise while sustaining accurate current amplification factor by obtaining an emitter region of single crystal silicon touching the upper layer of a stack, e.g. silicon of an upper encapsulation layer of the stack, directly on a window. SOLUTION: On a silicon substrate 1, a buried extrinsic collector layer 2 doped with n+ by implanting arsenic and two buried layers 3 similarly doped with p+ are formed and a thick n-type single crystal silicon layer 4 is grown epitaxially. Subsequently, an amorphous silicon layer 17 is deposited on a semiconductor block thus formed and etched above an oxide layer 6 to form a window 170 which is then subjected to desorption. Thereafter, a stack 8 is formed, a silicon dioxide layer 9 and a silicon nitride layer 10 are deposited thereon and then the layers 9, 10 are removed from a desired zone to obtain an emitter, i.e., an emitter window 800.
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