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公开(公告)号：CN100468604C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN01818486.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个电场发生器(12、14)，用于产生相对于离子束(16)的行进路径(20)的电场(28)。位于电场(28)的一个区域内并且位于离子束(16)中的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性，以便使得电场(28)可以推动带电粒子(66)移出离子束(16)。
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公开(公告)号：CN101103432A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200580046588.3
申请日：2005-11-18
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 安东尼·雷诺 , 唐纳·L·史麦特雷克 , 詹姆士·贝福 , 艾立克·赫尔曼森
IPC: H01J37/317 , H01J37/02
CPC classification number: H01J27/02 , H01J37/026 , H01J37/05 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H05H7/08
Abstract: 本发明是用一或多个电子源，将电子(18)注入即将在磁铁的磁极片(130，132)之间传送的一离子束(122)。在本发明部分实施例中，该些电子源是位于磁铁的磁极片的其中之一或两者的凹穴(160)中。在本发明其他实施例中，无线电频率或微波等离子流枪是位于磁极片之间，或配置在磁极片的至少其中之一的凹穴中。
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公开(公告)号：CN1969365A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200580019295.6
申请日：2005-05-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01J37/20 , H01J37/317 , H01L21/265 , H05H1/24
CPC classification number: H01J37/3171 , G21K1/14 , H01J37/026 , H01J2237/0044 , H01L21/26513 , H05H1/46
Abstract: 提供了一种电荷中和装置，其能够提供5eV水平或者更低优选地为2eV水平的低能量电子，从而消除甚至是前线装置中的离子植入的充电和电子导致的损害，并且适用于大尺寸的基片(113)。电荷中和装置包括微波发生装置(104)；等离子发生装置(101)，其利用微波发生装置产生的微波产生电子等离子；和接触装置(107)，其使等离子发生装置产生的电子等离子与包括离子束的射束等离子区域接触。
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公开(公告)号：CN1311509C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN01818276.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明提供一种用于抑制污染物微粒随离子束(44)的传输的系统(10)，所述系统(10)包括：一对电极(14、16)，所述电极(14、16)提供离子束(44)从中行进的相反的电场(26、28、30、32)。当微粒(60)行进过第一电场(26、28)时，离子束(44)中所携带的微粒(60)被带以与离子束(44)极性相匹配的电荷。下游电极(16)提供具有另一个电场(30、32)，以便于排斥带正电荷的微粒(60)远离射束行进方向的下游。
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公开(公告)号：CN1946870A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200580013030.5
申请日：2005-01-24
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/24 , H01J37/026 , H01J37/3053 , H01J2237/3132
Abstract: 本发明以低成本且高维护性的构成提供一种中和器，即使电极热膨胀也不会变形及破损。该中和器具有丝极、使电流流过该丝极的一对电极、及在绝缘状态下支承一对电极的基座，其中，该中和器构成为具有如下的保持装置：将一对电极和基座在相对位置至少在一方向上可以变动的状态下保持。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1172351C
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：CN01138501.4
申请日：2001-11-14
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: H01J37/317 , H01L21/265 , C30B31/22 , C23C14/48
CPC classification number: H01J37/026 , H01J2237/004 , H01J2237/31701 , H01L21/2236
Abstract: 当离子束14辐照在衬底2以进行诸如离子注入的处理时，从等离子体生成装置20发出的等离子体30被供应给接近衬底2的部分以便对由于离子辐照引起的衬底表面的充电进行抑制。保持IE/IB之比不低于1.8，保持II/IE之比不低于0.07并且不高于0.7，其中IB是辐照在衬底2上的离子束14的电流，II表示从等离子体生成装置发出的等离子体30中离子数量的离子电流，以及IE表示等离子体30中电子数量的电子电流。
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公开(公告)号：CN1473346A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN01818276.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明提供一种用于抑制污染物微粒随离子束(44)的传输的系统(10)，所述系统(10)包括：一对电极(14、16)，所述电极(14、16)提供离子束(44)从中行进的相反的电场(26、28、30、32)。当微粒(60)行进过第一电场(26、28)时，离子束(44)中所携带的微粒(60)被带以与离子束(44)极性相匹配的电荷。下游电极(16)提供具有另一个电场(30、32)，以便于排斥带正电荷的微粒(60)远离射束行进方向的下游。
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公开(公告)号：CN1424867A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN02154880.3
申请日：2002-12-04
Applicant: 日新电机株式会社
Inventor： 滨本成显
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J37/32082 , C23C14/48 , H01J37/026 , H01J2237/31701
Abstract: 一种离子束辐照装置配备一等离子体发生器，后者产生一等离子体并将其供给一基底上游一侧附近的一个区域，借此扼制由于离子束辐照所造成的基底表面的充电。用于把用于产生等离子体的等离子体供给一等离子体发生器的无线电频率电源是一用于生成通过对一初始无线电频率信号从事调幅而形成无线电频率电功率的无线电频率电源。
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公开(公告)号：CN1353445A
公开(公告)日：2002-06-12
申请号：CN01138501.4
申请日：2001-11-14
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: H01J37/317 , H01L21/265 , C30B31/22 , C23C14/48
CPC classification number: H01J37/026 , H01J2237/004 , H01J2237/31701 , H01L21/2236
Abstract: 当离子束14辐照在衬底2以进行诸如离子注入的处理时,从等离子体生成装置20发出的等离子体30被供应给接近衬底2的部分以便对由于离子辐照引起的衬底表面的充电进行抑制。保持IE/IB之比不低于1.8,保持II/IE之比不低于0.07并且不高于0.7,其中IB是受离子束14辐照的衬底2的电流,II表示从等离子体生成装置发出的等离子体30中离子数量的离子电流,以及IE表示等离子体30中电子数量的电子电流。
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公开(公告)号：CN105874560A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480071806.8
申请日：2014-11-14
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/065
CPC classification number: G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
Abstract: 本发明涉及一种准直器电极，其包括设置有中心电极孔(82)的电极主体(81)，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体(102)的冷却导管(105)。所述电极主体优选地具有圆盘形状或扁圆环形状。本发明还涉及一种适用于带电粒子束产生器的准直器电极堆叠，其包括：第一准直器电极和第二准直器电极，其各自设置有用于传送所述冷却液体(102)的冷却导管(105)；以及连接导管(110)，其用于所述第一及第二准直器电极的所述冷却导管之间的液体连接。
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