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公开(公告)号：KR101764226B1
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：KR1020120094819
申请日：2012-08-29
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: B81B3/0018 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81C1/00158 , B81C1/00182 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/006
Abstract: 본발명은더욱상세하게고정핀에의해하부전극을기판에고정하여외부음압이입력될때 하부전극의상하운동으로인한비선형성분을제거하기위한멤스음향센서및 그제조방법에관한것으로, 기판의일부에고정홈을형성한후, 고정홈에고정핀을형성하고, 고정핀에의해고정전극이기판에고정되도록함으로써, 음압입력시에원하지않는고정전극의상하운동을제거하여주파수응답특성을향상시키는특징을가지며, 공정중에발생할수 있는고정전극의열적변형을억제하여공정의수율을향상시키는효과가있다.
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公开(公告)号：KR101374057B1
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：KR1020100042320
申请日：2010-05-06
Applicant: 한국전자통신연구원
Inventor： 제창한
IPC: H01L21/308 , H01L21/027
Abstract: 3차원 MEMS 구조체 및 그 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 부양 구조물을 갖는 3차원 MEMS 구조체를 제조하는 방법에 있어서, 기판 상에 제1 식각 마스크를 증착하는 단계; 상기 제1 식각 마스크의 2 이상의 영역을 식각하여 상기 기판을 노출시키되, 상기 식각 영역에 1 이상의 단차를 형성하는 단계; 상기 제1 식각 마스크를 통해 상기 노출된 기판의 영역을 일부 식각하여 2 이상의 홈을 형성하는 단계; 상기 홈의 측벽에 제2 식각 마스크를 증착하는 단계; 및 식각 공정을 수행하여 상기 2 이상의 홈의 하부 영역들이 상호 연결되도록 함으로써 일 이상의 부양 구조물를 형성하는 단계를 포함하는 3차원 MEMS 구조체 제조 방법이 제공된다.
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公开(公告)号：KR101338856B1
公开(公告)日：2013-12-06
申请号：KR1020100103368
申请日：2010-10-22
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R31/00 , H04R19/005 , H04R19/02
Abstract: 본 발명의 일 실시예는, 측벽부들 및 상기 측벽부들의 바닥으로부터 연장된 바닥부를 포함하는 기판; 상기 기판 상에 고정되되, 상기 바닥부의 가운데 영역 상에 제1 홀을 포함하여 제공된 오목부 및 상기 바닥부의 가장자리 영역 상에 제2 홀을 포함하여 제공된 볼록부를 포함하는 하부 전극; 상기 하부 전극의 오목부와 진동 공간을 사이에 두고 대향되는 진동판; 상기 진동판의 측면에서 상기 하부 전극 상에 제공되되, 상기 진동판과 동일한 높이의 상부면을 가지는 진동판 지지대들; 및 상기 하부 전극 아래에서 상기 바닥부 및 상기 측벽부들 사이의 공간에 제공된 음향 챔버를 포함하는 음향 센서를 제공한다.
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公开(公告)号：KR101295670B1
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：KR1020090122962
申请日：2009-12-11
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01L41/1138 , B60C23/0411 , H01L41/1136 , H02N2/186
Abstract: 본 발명은 자동차의 타이어 내부 공기압의 변화 등의 타이어 내부 환경을 모니터링 하는 TPMS(Tire pressure monitoring systems) 장치의 무선 센서망 시스템에 응용될 소형 압전기 발생 장치를 고안한 것으로 특히, 자동차의 타이어 압력 모니터링 시스템(TPMS)의 타이어 내부의 공기압 변화와 온도, 가속도 센서가 탑재된 시스템 운용 시, 전원을 기존의 배터리를 대신하여 공급할 수 있는 TPMS용 소형 전원 발생 장치를 고안한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 압전 발전기는 외부에 전력을 전달하는 전극이 형성된 기판, 기판 위에 형성된 금속판, 및 금속판 위에 마련되어 압전에 의해 생성된 전력을 전극으로 전달하는 압전체를 포함한다.
미세기전집적시스템(MEMS), 압전 발전기, TPMS-
公开(公告)号：KR1020130044487A
公开(公告)日：2013-05-03
申请号：KR1020110108577
申请日：2011-10-24
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H04R19/005 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H04R19/04 , H04R31/00 , Y10T29/49005 , H01L2924/00014
Abstract: PURPOSE: An acoustic sensor and a manufacturing method thereof are provided to easily remove dicing pieces such as a solid electronic device and to damage a vibration plate. CONSTITUTION: A printed circuit board(310) forms an acoustic pressure input hole for receiving external acoustic pressure. An acoustic sensor unit is combined on the printed circuit board to be exposed to the outside through the acoustic pressure input hole. The acoustic sensor unit includes a vibration plate vibrating due to external acoustic pressure, a lower electrode being used as a corresponding electrode of the vibration plate and a lower electrode support wall supporting the lower electrode. A cover(415) covers the acoustic sensor unit to be attached to the printed circuit board. An acoustic chamber is formed in the cover and the vibration plate of the acoustic sensor unit.
Abstract translation: 目的：提供一种声传感器及其制造方法，用于容易地去除诸如固体电子装置的切割片，并损坏振动板。 构成：印刷电路板（310）形成用于接收外部声压的声压输入孔。 声传感器单元组合在印刷电路板上，通过声压输入孔暴露于外部。 声学传感器单元包括由于外部声压而振动的振动板，用作振动板的相应电极的下部电极和支撑下部电极的下部电极支撑壁。 盖（415）覆盖要附接到印刷电路板的声学传感器单元。 在声学传感器单元的盖和振动板中形成声室。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130039504A
公开(公告)日：2013-04-22
申请号：KR1020110104107
申请日：2011-10-12
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H04R1/00 , B81B3/007 , B81B2201/0257 , H04R1/2807 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R31/006 , H04R2201/003
Abstract: PURPOSE: A MEMS microphone and a manufacturing method thereof are provided to offer a high reliability and high sensitivity MEMS microphone by forming a fixed electrode support for placing and supporting a fixed electrode on a vibrating plate in a surface machined MEMS microphone. CONSTITUTION: A MEMS microphone comprises: a substrate(310); a rear acoustic chamber formed inside a front surface of the substrate; a vibrating plate(320) formed on the substrate and having an exhaust hole(324); a fixed electrode(330) formed on the vibrating plate; and a fixed electrode support(314) supported by the bottom of the rear acoustic chamber and connected to the fixed electrode through the exhaust hole. The substrate is a silicon substrate or the like. The vibration plate is formed at the same height as the upper surface of the substrate or is formed to be spaced apart from the substrate at a predetermined interval. The fixed electrode comprising a metal(330a) and an insulation layer(330b) has a plurality of exhaust holes(334) and is formed to be spaced apart from the vibrate plate at a predetermined distance.
Abstract translation: 目的：提供一种MEMS麦克风及其制造方法，通过在表面加工的MEMS麦克风中通过形成用于将固定电极放置和支撑在振动板上的固定电极支架来提供高可靠性和高灵敏度的MEMS麦克风。 构成：MEMS麦克风包括：基板（310）; 形成在所述基板的前表面内的后声室; 形成在所述基板上并具有排气孔的振动板（320）; 形成在所述振动板上的固定电极（330） 以及由后声室的底部支撑并通过排气孔与固定电极连接的固定电极支撑件（314）。 衬底是硅衬底等。 振动板形成在与基板的上表面相同的高度处，或者形成为以预定间隔与基板间隔开。 包括金属（330a）和绝缘层（330b）的固定电极具有多个排气孔（334），并形成为与振动板隔开预定距离。
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公开(公告)号：KR1020090060897A
公开(公告)日：2009-06-15
申请号：KR1020070127880
申请日：2007-12-10
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01H11/02
Abstract: A micro sensor for vibration measurement is provided to detect vibration easily at low power through wireless sensor network and to thereby facilitate signal processing. A micro sensor for vibration measurement comprises a substrate(160), one or more masses(110) moving in reaction to vibration, a conductor spring(120) which moves according to the movement of the mass while supporting the masses, fixed parts(130) which are connected to both ends of the conductor spring and keep the masses and the conductor spring apart from the substrate, and a resistance(140) forming a closed circuit together with the conductor spring and the fixed parts. The masses are positioned in the middle of the conductor spring. The resistance connects a magnetic body(170) which is formed on the bottom of the substrate and creates a magnetic field to the fixed parts.
Abstract translation: 提供用于振动测量的微型传感器，用于通过无线传感器网络在低功率下容易地检测振动，从而促进信号处理。 一种用于振动测量的微型传感器，包括：衬底（160），一个或多个反作用于振动的质量块（110）;导体弹簧（120），其在支撑所述质量块的同时根据所述质量块的移动而移动;固定部件 ），其连接到导体弹簧的两端并保持质量和导体弹簧与基板分离，以及与导体弹簧和固定部分一起形成闭合电路的电阻（140）。 质量块位于导体弹簧的中间。 电阻连接形成在基板底部的磁体（170），并向固定部分产生磁场。
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公开(公告)号：KR1020090018257A
公开(公告)日：2009-02-20
申请号：KR1020070082558
申请日：2007-08-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: B81B7/00 , H01L21/304 , B81C1/00
CPC classification number: B81B3/001 , B81C2201/115
Abstract: A lifting device for preventing fixing of a 3D MEMS(Micro Electro Mechanical System) micro-structure is provided to remove a cleaning solution left on a substrate and a micro-structure by using a simple device without fixing the 3D MEMS micro-structure onto the substrate. A lifting device for preventing fixing of a 3D MEMS micro-structure includes a substrate(10) and micro-protrusions(20). The micro-protrusions exhaust a cleaning solution flowing from a micro-structure located thereon. The micro-protrusions are formed on the substrate and have a predetermined height. A fixing preventing material(30) is deposited on the micro-protrusions.
Abstract translation: 提供了用于防止3D MEMS（微机电系统）微结构的固定的提升装置，以通过使用简单的装置来去除残留在基板和微结构上的清洁溶液，而不将3D MEMS微结构固定在 基质。 用于防止3D MEMS微结构的固定的提升装置包括基板（10）和微突起（20）。 微型突起排出从位于其上的微结构流动的清洁溶液。 微型突起形成在基板上并具有预定的高度。 固定防止材料（30）沉积在微突起上。
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公开(公告)号：KR1020070060526A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：KR1020050120187
申请日：2005-12-08
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/0013 , B81B3/0072 , B81B2201/016
Abstract: A micro-electro-mechanical system switch and a method for fabricating the same are provided to improve reliability thereof by suppressing a thermal deformation of a moving plate. A micro-electro-mechanical system switch includes a substrate(100), a supporting part(112), and a moving plate(150). The substrate has a trench(120), a signal line(110), and a ground line(111). The substrate is made of semi-conductor or dielectric material and the signal line has an opening part as an input/output signal line to transmit a signal. The ground line is formed in parallel to the signal line on the substrate of both sides of the signal line. The supporting part is formed with metal to apply a voltage to an electrode plate(152) of the moving plate. The moving plate includes an electrode plate, an insulation film(151), and a contacting unit(130).
Abstract translation: 提供了一种微电子机械系统开关及其制造方法，以通过抑制移动板的热变形来提高其可靠性。 微电子机械系统开关包括基板（100），支撑部分（112）和移动板（150）。 衬底具有沟槽（120），信号线（110）和接地线（111）。 衬底由半导体或介电材料制成，并且信号线具有作为输入/输出信号线的开口部分以发送信号。 接地线与信号线两侧的基板上的信号线平行地形成。 支撑部分由金属形成，以向移动板的电极板（152）施加电压。 移动板包括电极板，绝缘膜（151）和接触单元（130）。
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公开(公告)号：KR100619110B1
公开(公告)日：2006-09-04
申请号：KR1020040084407
申请日：2004-10-21
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H2059/0072 , H01P1/127 , Y10T29/417 , Y10T29/49105 , Y10T29/49117 , Y10T29/49155 , Y10T29/49204 , Y10T29/49208
Abstract: 본 발명은 고주파 대역의 무선통신 또는 고주파(RF) 시스템에서 신호의 전달을 제어하기 위해 사용되는 미세전자기계적(Micro-electro Mechanical Systems; MEMS) 스위치에 관한 것으로, 기판 상에 형성되며 소정 부분이 개방된 신호선, 상기 신호선 양측의 기판에 각각 형성된 적어도 하나의 지지대, 지지대와 신호선 사이의 기판에 형성된 접지선, 지지대에 양측부가 고정되며 상, 하 이동이 가능한 이동판, 이동판에 위치되며 개방된 신호선을 연결시키기 위한 접촉수단를 구비하는 스위칭부, 이동판과 스위칭부를 지지하며, 기판과의 간격 유지를 위한 지지돌출부를 구비하는 지지층을 포함한다.
미세전자기계적 스위치, 신호선, 스위칭부, 지지층, 지지돌출부
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