公开(公告)号：KR100199835B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019950013451

申请日：1995-05-26

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박창준

IPC: H01J49/26

CPC classification number: H01J49/105 ,  H01J49/067

Abstract: 본 발명은 플라즈마 질량 분석기에 관한 것으로서, 플라즈마가 생성되어 있으며 시료 용액을 이온화하는 플라즈마부, 플라즈마부에서 이온화된 시료 이온빔에서 필요한 성분을 추출해내는 인터페이스, 인터페이스를 통과한 시료 이온빔을 포커싱하는 이온 렌즈부, 이온 렌즈부를 통과한 시료 이온 중 필요한 성분을 추출하는 사중극자부, 사중극자부에서 추출된 시료 이온을 검출하는 이온 검출부를 포함하는 질량 분석기에 있어서, 진공 체임버와 인터페이스를 차단하는 게이트 밸브 기능을 인터페이스에 구비하고 있으며, 인터페이스는 샘플러콘과 스키머콘 모두를 끼울 수 있는 구조로 되어 있고, 이온 렌즈부와 사중극자부가 포함되어 있는 진공 체임버는 알루미늄 기둥을 깎아 만들고, 플라즈마부에 RF 전류를 공급하는 로드 코일은 금도금한 구이 코일을 나선형의 홈이 파져 있는 막대에 홈을 따라 감음을 특징으로 하는 플라즈마 질량 분석기에 관한 것이다. 이렇게 함으로써 본 발명은 이온빔의 통과 효율을 높이며, 제작 및 조립이 용이하며 제작비가 싸고 보수 유지가 용이한 플라즈마 질량 분석기를 제공할 수 있다.

公开(公告)号：KR200132276Y1

公开(公告)日：1998-12-01

申请号：KR2019950011503

申请日：1995-05-26

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박창준

IPC: H01J49/26

Abstract: 본 발명은 플라즈마 질량 분석기용 이온 렌즈에 관한 것으로서, 이온빔을 휘게 하는 오프 액시스 렌즈를 이루는 각 전극은 직선부와 곡선부로 이루어진 반원형의 도전체 판으로서 상기 직선부는 비스듬히 경사가 져 있고, 상기 직선부의 중앙에는 반원형으로 오목하게 들어가 있는 작은 오목부가 직선부의 경사를 따라 기울어져 형성되어 있음을 특징으로 하며, 상기 오프 액시스 렌즈를 이루는 전극은 두 개의 전극이 한 쌍을 이루어 경사진 직선부의 면이 서로 마주보도록 배치되며, 각 전극 쌍은 직선부가 일직선을 이루도록 배치되도록 하는 구성을 가지고 있다. 이렇게 함으로써 간단한 구성만으로도 이온빔을 효과적으로 휘게 하여 빛을 차단하고 시료 분석 효율을 높이는 효과를 줄 수 있다.

公开(公告)号：KR101639581B1

公开(公告)日：2016-07-15

申请号：KR1020140104928

申请日：2014-08-13

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 한철수 ,  배문섭 ,  조복래 ,  박인용 ,  박창준 ,  김주황 ,  안상정

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01J49/02

CPC classification number: H01J37/22 ,  H01J37/28

Abstract: 본발명은하전입자현미경의입자빔제어장치및 방법에관한것으로, 보다상세하게는하전입자현미경내하전입자빔을제어함으로써, 시료표면의정보를획득하기위해정전방식또는자기방식의편향기(스캐너)에의해왜곡되는동적특성을바로잡아원하는위치에하전입자빔을조사시킴으로써측정된시료표면의이미지가왜곡되는것을방지하고, 고속으로이미지를획득할 수있도록하며, 원하는형태로시료표면을가공할수 있도록하는하전입자빔제어장치및 이를이용한하전입자빔의제어방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR101529607B1

公开(公告)日：2015-06-19

申请号：KR1020130139831

申请日：2013-11-18

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 한철수 ,  안상정 ,  박창준 ,  박병천 ,  조복래 ,  박인용

IPC: G01Q20/02 ,  G01Q10/00

Abstract: 본발명은캔틸레버와대물렌즈사이에반사판인스크린을삽입하여광학빔을대물렌즈로직접확인하는방법으로광학빔정렬을용이하게하기위한탐침현미경, 이를이용한탐침현미경의광학빔정렬방법, 기록매체및 탐침현미경의광학빔자동정렬시스템에관한것이다. 이를위하여캔틸레버의동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나의정밀한측정을위하여, 캔틸레버의상부면종단에설정되고, 광학빔이입사되는목표위치; 목표위치가포함된캔틸레버를확대하여표시하는확대수단; 확대수단에의해확대표시된캔틸레버를영상으로표시하는영상표시부; 및캔틸레버의연직상부에구비되고, 광학빔의반사광에의해광학빔의입사위치가영상표시부에의해영상으로표시되도록구성되는스크린;을포함하고, 스크린의영상에캔틸레버의영상이오버랩되도록하고, 스크린에서반사되는광학빔의반사광에의한입사위치을이용하여, 광학빔을목표위치에정렬하는것을특징으로하는탐침현미경이제공될수 있다. 이에따르면, 캔틸레버의상부면에정밀한광학빔을정밀하게정렬하여탐침현미경의정밀도를향상시키고, 분석결과의오차가최소화되는효과가있다.

公开(公告)号：KR1020050108629A

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：KR1020040033578

申请日：2004-05-12

Applicant: (주)영린기기 ,  한국표준과학연구원

Inventor： 박창준 ,  어용선

IPC: H01J37/08

Abstract: 본 발명은 이온원에서 생성된 이온들을 질량분석기 안으로 전달하는 효율을 향상시킬 수 있도록 한 원통형 리펠러를 사용하는 가스크로마토그라프 질량 분석기의 이온원에 대한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 원통형 리펠러를 사용하는 가스크로마토그라프 질량분석기의 이온원은 이온화챔버와; 상기 이온화챔버 내면에 삽입되는 금도금 삽입관과; 상기 이온화챔버 내부에 검정용 시료가스를 공급하는 검정용가스 주입관과; 상기 이온화챔버의 외부에 서로 마주보도록 형성된 제 1 및 제 2 전극과; 상기 이온화챔버와 상기 제 1 전극 사이에 설치되어 상기 이온화챔버에 열전자를 방출하는 필라멘트와; 상기 이온화챔버 내부에 설치되어 상기 이온화챔버에 전장을 형성하기 위한 원통형 리펠러와; 상기 이온화챔버로부터 방출되는 이온들을 질량분석기의 중심 축으로 집속하는 집속용 이온렌즈를 구비한다.

公开(公告)号：KR2019980032817U

公开(公告)日：1998-09-05

申请号：KR2019960045712

申请日：1996-12-05

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박창준

IPC: B01D61/00

Abstract: 본고안에따른유도결합플라스마장치의수소화물시료주입용액체-기체분리기는다공질의막으로된 튜브의한 쪽끝이내열유리용기속에되어삽입되어있으며용기가수평면에대하여기울어져있는구조이다. 또한, 용기속에삽입된튜브의한 쪽끝은구부러진형태의관과연결되어있다. 시료와 NaBH4의혼합용액의튜브를통하여주입되면서화학반응을일으켜수소와수소화물기체가발생하고, 이기체는막을통과하여용기내부로들어간다. 발생한수소화물및 수소기체는용기로유입되는운반기체를따라플라스마로이동하고, 반응하지않고남아있는혼합용액과기체는구부러진관을통하여경사진용기내벽을타고흘러배출구를통하여신속히배출된다.

Abstract translation: 根据本文 - 气体分离器中的等离子装置感应耦合氢化物样品注射液体被插入多孔膜管的jjokkkeut是在耐热玻璃容器中，并在成为容器的结构是倾斜的相对于所述水平平面。 此外，插入到容器中的管的jjokkkeut是连接到所述管的弯曲形状。 通过的溶液中的样品和NaBH 4 uihon管总和注入，导致产生氢和氢化物气体的化学反应，它是通过膜的物体进入容器的内部。 产生氢化物和氢气被移动到沿着进入容器载气等离子体，并且不与剩余在容器中的气体混合物反应将采取倾斜壁通过弯曲管，通过流出口快速放电。