具有集成能量过滤器的带电粒子源

    公开(公告)号:CN101593658A

    公开(公告)日:2009-12-02

    申请号:CN200910145359.7

    申请日:2009-05-26

    Applicant: FEI公司

    Inventor: A·亨斯特拉

    Abstract: 本发明的名称为具有集成能量过滤器的带电粒子源,描述发生能量选择的粒子源。能量选择通过偏心地发送带电粒子束穿过透镜发生。这样做的结果是,在透镜形成的图像中将发生能量色散。通过将此图像投射到能量选择光阑中的狭缝上,可以只让有限的能量谱部分中的粒子穿过。因此,穿过的束将具有减少的能量分散。偏转单元将束偏转到光轴。也可以选择偏转经过透镜中间去向光轴并且具有如更大电流的束。能量色散点由偏转器在狭缝上成像。在狭缝上定位能量色散点时,中央束偏离轴到被能量选择光阑阻止的程度。由此避免了在光阑后的区域由此束导致的反射和污染。此外,还避免了中央束的电子与偏转器区域中的能量过滤束交互作用所导致的电子-电子相互作用。

    带电粒子枪
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101019201A

    公开(公告)日:2007-08-15

    申请号:CN200580017796.0

    申请日:2005-05-13

    Inventor: 张涛

    CPC classification number: H01J3/027 H01J1/16 H01J1/18 H01J37/065 H01J37/067

    Abstract: 电子枪(1)包括发射器(2),管状支撑件(3)和用于容纳发射器的接合器(4)。接合器包括锥形插接表面(7)并且管状支撑件包括相应的锥形支座表面(9)用于容纳插接表面。插接表面和支座表面具有圆锥形的外形,这有助于将接合器定位成与支撑件同中心。

    电子枪组件用电阻器以及阴极射线管

    公开(公告)号:CN1572010A

    公开(公告)日:2005-01-26

    申请号:CN03801336.3

    申请日:2003-08-20

    CPC classification number: H01J29/485 H01C3/12 H01J3/027 H01J2229/968

    Abstract: 本发明提供一种对电子枪组件具有的电极施加按规定的电阻分压比分压用的电子枪组件用的电阻器(4),该电阻器(4)包括绝缘基板(52)、设在绝缘基板上的多个电极元件(53)、在电极元件之间连接同时具有为了得到规定的电阻值用的图形的电阻元件(54)、覆盖电阻元件的绝缘被覆层(55)、和分别与各电极元件对应连接的多个金属端子(56)。各金属端子配置成不使电极元件露出。绝缘被覆层覆盖金属端子的周边,不与电极元件接触。

    柱状电子枪高温阴极的定位装置及电子枪

    公开(公告)号:CN108766858A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810891375.X

    申请日:2018-08-07

    CPC classification number: H01J3/027 H01J1/94 H01J3/024

    Abstract: 本发明公开了一种柱状电子枪高温阴极的定位装置,均布地形成在高温阴极侧面的同一截面上的至少三个定位孔,内端可匹配地插入所述的定位孔中的精密细杆,以及用以将所述的精密细杆外端定位的固定座。采用高熔点金属的精密细杆作为支撑件,可满足高温阴极的固定支撑需求;设计高精度杆式定位结构,可实现电子枪阴极的定位精度需求;阴极采用点触固定结构,有利于阴极表面高温均匀性,且热量损失小;固定杆沿杆轴向方向预留形变量,可满足阴极高温膨胀需求,避免由于高温膨胀造成阴极位置畸变。

    一种基于螺旋带状电子注冷阴极辐射源

    公开(公告)号:CN107527779A

    公开(公告)日:2017-12-29

    申请号:CN201710713843.X

    申请日:2017-08-18

    CPC classification number: H01J3/027 H01J3/021

    Abstract: 本发明公开一种基于螺旋带状电子注冷阴极辐射源,涉及微波、毫米波、亚毫米波和太赫兹电真空器件技术领域,包括由阴极块、阴极发射面、阳极块以及电子枪封装绝缘体构成的螺旋带状电子注冷阴极电子枪、周期结构金属壳、收集极、导引磁场发生器,阴极发射面为矩形;阳极块的下表面为向右下倾斜的斜面,阳极块位于阴极块的右上方;周期结构金属壳开设有贯穿周期结构金属壳左右两端的电子注通道,电子注通道的中部设有沿电子注通道轴向延伸的高频结构;收集极、电子注通道、阴极发射面位于一条直线上。本发明提出一种结构简单,使用寿命长,性能优良的螺旋带状电子注冷阴极电子枪,利用其电子注纵向速度与高频场互作用交出能量,实现电磁辐射。

    一种光阴极微波电子枪
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107359098A

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201710722920.8

    申请日:2017-08-22

    CPC classification number: H01J3/021 H01J3/027 H01J5/02

    Abstract: 本发明公开了一种光阴极微波电子枪,包括第一圆柱腔、第二圆柱腔、同轴腔、圆环孔、矩形波导、耦合孔、中空盘片以及截止波导,其中第一圆柱腔分别与第二圆柱腔和同轴腔连接,第二圆柱腔末端带有截止波导,同轴腔通过耦合孔与矩形波导连接实现耦合。本发明结构紧凑,将微波功率耦合孔由圆柱腔侧面移至同轴腔一端,保持圆柱腔体的旋转对称性,避免了由于非对称性耦合孔产生多极场,使得具有降低束流发射度,提高束流品质的良好效果。

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