公开(公告)号：CN108020449A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201710934117.0

申请日：2017-10-10

Applicant: FEI 公司

Inventor： G.德尔皮 ,  G.奥多伊特 ,  L.F.T.克瓦克曼 ,  C.鲁伊

IPC: G01N1/28

CPC classification number: G01N1/286 ,  G01N1/06 ,  G01N1/28 ,  H01J37/08 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/3114 ,  H01J2237/31745 ,  G01N2001/2866

Abstract: 本申请涉及具有改进的速度、自动化和可靠性的断层摄影术样品制备系统和方法，具体公开了使用等离子体FIB上的创新研磨策略来创建用于x射线断层摄影术或其它断层摄影术扫描的样品柱。在方法、系统和可执行以执行本文中的策略的程序产品中提供该策略。研磨策略创建样品柱周围的不对称熔坑，并且提供单次切割切出过程。各种实施例可以包括根据像素坐标连同波束扫描和熔坑几何形状的优化来调谐离子剂量，从而大幅减少制备时间并且显著改进总体工作流效率。提供了具有新月形状和经优化的停留时间值的新颖切出研磨图案。

公开(公告)号：CN107424892A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201610860614.6

申请日：2016-09-28

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 山元徹朗 ,  萨米·K·哈托

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1472 ,  C23C14/48 ,  C23C14/54 ,  G21K5/00 ,  H01J37/302 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31701 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/30

Abstract: 本发明涉及束电流密度分布调整装置和离子注入机。提供了一种束电流密度分布调整装置。该装置包括在带状束的长侧方向上的构件对，所述构件对通过使用电场或磁场来调整在带状束的长侧方向上的束电流密度分布，所述构件对中的每一个构件对的构件被布置成使得带状束在所述构件中间。在带状束的长侧方向上彼此相邻的构件对的相对表面部分地不平行于带状束的行进方向。

公开(公告)号：CN107248490A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201710368331.4

申请日：2017-05-23

Applicant: 北京师范大学

Inventor： 廖斌 ,  欧阳晓平 ,  张旭 ,  张丰收 ,  吴先映 ,  罗军 ,  庞盼

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171

Abstract: 本发明公开了一种新型的离子源引出‑加速电极结构，其中，引出电极由圆孔型引出设计为等宽的长条形引出形状，同时加速电极之间的距离不再恒定，设计为连续变化的引出间距，即加速电极之间的距离由5mm变为可变区间3‑7mm。通过实施本发明，离子束斑的形状发生明显的改变，由原来的圆形束斑变成长条形束斑，束斑尺寸可为(100‑200mm)×(300‑800mm)，大大提高了离子束斑的纵向宽度，在处理长条形工件时有着非常明显的优势。同时，通过引出‑加速电极的改变离子束流大大增加，在相同束流强度下能够大大增加阴极靶材的寿命。

公开(公告)号：CN104335685B

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201280073623.0

申请日：2012-06-01

Applicant: 西门子公司

Inventor： P.S.阿普塔克 ,  P.比斯利 ,  O.海德

IPC: H05H7/00 ,  H05H9/00 ,  G21K1/087

CPC classification number: H01J37/147 ,  G21K1/087 ,  H01J2235/166 ,  H01J2237/15 ,  H05H7/00 ,  H05H9/00 ,  H05H2007/002

Abstract: 用于使带电粒子偏转的偏转板具有凹进部。

公开(公告)号：CN107123584A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201710041635.X

申请日：2017-01-20

Applicant: FEI 公司

Inventor： E.R.基伊夫特 ,  W.范迪克

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2802 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/266

Abstract: 一种使用带电粒子显微镜的方法，包括：—样本保持器，其用于保持样本；—源，其用于产生带电粒子的照射射束；—照明器，其用于引导所述射束从而照射样本；—检测器，其用于响应于所述照射而检测从样本放射的出射辐射通量，另外包括以下步骤：—在所述照明器中，提供包括孔径阵列的孔径板；—使用偏转装置来跨所述阵列扫描所述射束，从而交替地使射束中断和透射以便产生一串射束脉冲；—用所述脉冲串照射所述样本，并且使用所述检测器来执行伴随的出射辐射的位置分辨（时间辨别）检测。

公开(公告)号：CN105191510B

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201380074593.X

申请日：2013-03-14

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 青木隆介 ,  小畑顺

IPC: H05H13/04 ,  H05H7/04

CPC classification number: H01J37/147 ,  A61B1/00158 ,  F16M11/045 ,  F16M11/046 ,  H01J2237/152 ,  H05H7/04 ,  H05H2007/048

Abstract: 本发明的目的在于获得一种大型电磁铁的配置自由度高、且能使整个设备紧凑的、对大型电磁铁进行支承的电磁铁支承台。本发明的电磁铁支承台的特征在于，对具有由两个枢轴(32)构成的枢轴对(33)的电磁铁(30)进行支承，上述两个枢轴(32)设置在彼此相对的侧面上，且彼此的中心轴(34)一致，该电磁铁支承台具备：与枢轴(32)的个数相同、且设置有以覆盖枢轴(32)的外表面的方式来进行卡合的卡合部(19)的支承金属件(10)；以及经由使支承金属件(10)在垂直方向上移动的垂直方向调整部(21)来进行保持的支架(26)。

公开(公告)号：CN106653541A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201510710239.2

申请日：2015-10-28

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 李幸夫

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/147 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明公开了一种波纹管运动密封装置，包括：波纹管密封模块(1)、电机(2)、运动轴(3)、运动齿条(4)。其中运动齿条(4)安装在运动轴(3)上，经电机(2)运转带动运动齿条(4)及运动轴(3)运动。波纹管密封模块(1)安装在运动轴(3)上，运动轴(3)在真空与大气之间运动，通过安装在运动轴(3)上的波纹管密封模块(1)隔绝真空与大气。波纹管密封模块(1)通过压紧块(5)与焊接波纹管(7)将O型密封圈(6)固定在运动轴(3)上实现密封作用。焊接波纹管(7)为可伸缩性密封波纹管，与运动轴(3)一起进行上下往复的伸缩运动。

公开(公告)号：CN106653539A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201610683472.0

申请日：2016-08-18

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 李圣伟

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3172 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/30433 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/31703 ,  H01J2237/31706 ,  H01L21/265 ,  H01J37/3007

Abstract: 一种离子注入工具包括工艺室、压板、离子源、以及多个控制单元。压板存在于工艺室中并且被配置成保持晶圆。离子源被配置成将离子束提供至晶圆上。控制单元存在于压板上并且被配置成施加多个物理场，该物理场能够影响离子束的离子至晶圆上的运动。

公开(公告)号：CN104838466B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201380061917.6

申请日：2013-11-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 山下贡 ,  安藤彻 ,  小西弥生 ,  玉山尚太朗 ,  牛尾奈绪子 ,  高野昌树

IPC: H01J37/24 ,  G06F3/048 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/265 ,  G06F3/048 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2801

Abstract: 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的

公开(公告)号：CN106373849A

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201610914560.7

申请日：2016-10-20

Applicant: 武汉新芯集成电路制造有限公司

Inventor： 刘洋

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/147 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/04 ,  H01J37/147

Abstract: 本发明涉及一种高速流离子注入机中离子束的调整装置，包括两个圆柱体以及带动两个所述圆柱体旋转的电机，两个所述圆柱体并排放置在高速流离子注入机的质量分析仪的出口上且两个所述圆柱体之间留有缝隙,所述缝隙正对高速流离子注入机的质量分析仪的出口，两个所述圆柱体在所述电机的驱动下旋转的方向相反。本发明两个圆柱体在电机的驱动下会保持一定的速度反向旋转，这样在离子束流通过两个圆柱体侧面之间缝隙的时候，既能够更加流畅通过被选择，也能让不需要的离子束不会击打在同一个地方，提高离子束流均匀性，从而提高设备工程师的工作效率、延长零件的使用寿命和降低设备维护成本。