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公开(公告)号：KR1020050100830A
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：KR1020040026014
申请日：2004-04-16
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/06
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 측정방법은 적어도 3 이상의 상호 상이한 파장의 광에 대해 위상 천이 간섭법을 이용하여 위상 데이터를 획득하는 단계와; 상기 위상 데이터를 분석하여 상기 박막의 두께 및 형상을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 측정시간, 측정된 데이터의 량, 측정된 데이터를 분석하기 위한 데이터의 처리시간을 현저히 감소시켜, 실제 반도체 등의 제조 공정에 용이하게 적용할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101916134B1
公开(公告)日：2018-11-08
申请号：KR1020170008882
申请日：2017-01-18
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본발명은인쇄회로기판상의컨포멀코팅검사장치에관한것으로, 상기인쇄회로기판에광을조사하는조명모듈과, 광이조사된상기인쇄회로기판을촬영하는카메라모듈과, 상기카메라모듈에의해촬영된영상의각 픽셀데이터를색도좌표계상의색좌표데이터로변환하는색좌표변환부와, 상기색좌표데이터의좌표평균값을산출하고, 상기좌표평균값이기 설정된기준범위를벗어나는경우상기컨포멀코팅의불량으로판단하는양불판단부와, 상기조명모듈이적색광, 녹색광및 UV 광을선택적으로조사하도록상기조명모듈을제어하고, 상기조명모듈이적색광, 녹색광및 UV 광을각각조사할때 상기카메라모듈이상기인쇄회로기판을각각촬영하도록제어하는메인제어부를포함하고; 각각의상기픽셀데이터는적색광에대응하여촬영된적색데이터와, 녹색광에대응하여촬영된녹색데이터와, UV 광에대응하여촬영된 UV 데이터를포함하는것을특징으로한다. 이에따라, 인쇄회로기판의검사영역으로부터컬러데이터및 UV 데이터를포함하는픽셀데이터를획득하고, 픽셀데이터를색도좌표계상의색좌표데이터로변환하여검사영역의각 픽셀의색좌표데이터의평균값을이용하여컨포멀코팅의불량여부를판단함으로써, 코팅영역과코팅이되지않은영역간의대조(Contrast)의차이가명확하지않은경우에도보다정확한검사가가능하게된다.
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公开(公告)号：KR101327357B1
公开(公告)日：2013-11-11
申请号：KR1020120037868
申请日：2012-04-12
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 진동 감쇄 구조를 가진 전자빔 조사장치에 관한 것이며, 상세하게는 챔버로 전달되는 진동을 감쇄시킬 수 있는 진동 감쇄 구조를 가진 전자빔 조사장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 진동 감쇄 구조를 가진 전자빔 조사장치는, 기초프레임에 설치된 챔버; 제 2 진동흡수부재가 마련된 진공배관이 구비되고, 상기 진공배관을 통해 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버 내부로 진공압력을 제공하는 진공발생부; 상기 챔버와 이격된 위치에서 상기 기초프레임에 설치된 한 쌍의 지지바와, 상기 한 쌍의 지지바를 덮도록 상기 한 쌍의 지지바에 결합되어 상기 진공발생부를 지지하는 펌프지지플레이트가 구비된 펌프지지부; 및 상기 펌프지지부와 이격된 위치에서 상기 기초프레임과 상기 챔버 사이에 설치되어, 상기 진공발생부에서 상기 기초프레임으로 전달된 진동을 흡수하는 복수의 제 1 진동흡수부재가 구비된 진동흡수부를 포함하고, 상기 진공발생부의 작동시 상기 진공발생부에서 발생된 진동은 상기 진공발생부에서 상기 펌프지지플레이트, 상기 한 쌍의 지지바와 상기 기초프레임으로 순차적으로 전달되어 상기 복수의 제 1 진동흡수부재에 의해 1차적으로 진동감쇄된 상태로 상기 챔버의 하부로 전달되고, 상기 진공배관을 통해 상기 챔버로 전달되는 진동은 상기 제 2 진동흡수부재에 의해 2차적으로 진동감쇄된 상태로 상기 챔버로 전달되는 것이 바람직하다.
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公开(公告)号：KR1020130115516A
公开(公告)日：2013-10-22
申请号：KR1020120037870
申请日：2012-04-12
Applicant: (주)펨트론
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/02 , F16K31/1225 , F16K51/02 , G01N23/2251
Abstract: PURPOSE: An electron beam irradiator having a vacuum valve and a method for controlling the vacuum valve are provided to simplify the structure of a vacuum generation part by providing a first and a second vacuum pressure to a chamber through a single valve structure. CONSTITUTION: A chamber (120) is installed on a base frame (110). A vacuum generation part (130) is connected to the chamber. The vacuum generation part provides a first vacuum pressure or a second vacuum pressure to the chamber. A vacuum valve part (140) is connected between the chamber and the vacuum generation part. The vacuum valve part selectively provides the first vacuum pressure or the second vacuum pressure to the chamber.
Abstract translation: 目的：提供具有真空阀的电子束照射器和用于控制真空阀的方法，以通过单个阀结构向腔室提供第一和第二真空压力来简化真空产生部件的结构。 构成：室（120）安装在基架（110）上。 真空产生部分（130）连接到腔室。 真空产生部分向腔室提供第一真空压力或第二真空压力。 真空阀部分（140）连接在腔室和真空产生部件之间。 真空阀部件选择性地向腔室提供第一真空压力或第二真空压力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130112375A
公开(公告)日：2013-10-14
申请号：KR1020120034693
申请日：2012-04-04
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: A dual lane inspection facility for a surface mounted component is provided to enable the inspection of products from two production lines at the same time by being placed at the two surface mounted component production lines. CONSTITUTION: A first inspection rail (100) has a first inlet, a first inspection unit, and a first outlet (150). The first inspection rail transfers inspection objects in a first direction. The first inspection rail section is installed on a base plate. A second inspection rail (300) faces the first inspection rail. The second inspection rail is installed on the base plate along the first direction.
Abstract translation: 目的：提供用于表面安装部件的双车道检测设备，以便通过放置在两个表面安装的部件生产线上同时检查来自两条生产线的产品。 构成：第一检查轨道（100）具有第一入口，第一检查单元和第一出口（150）。 第一检查轨在第一方向上传送检查对象。 第一检查轨道部分安装在基板上。 第二检查轨道（300）面向第一检查轨道。 第二检查轨沿着第一方向安装在基板上。
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公开(公告)号：KR101312060B1
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：KR1020120037869
申请日：2012-04-12
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: An electron beam irradiation device with a multi-stage column structure improves the efficiency of replacement by separating a part in which a filament is installed from a part in which a focusing lens is installed to replace the filament. CONSTITUTION: An electron beam irradiation unit is installed on the top of a chamber and irradiates an electron beam. An object lens mounting unit (180) is installed on an electron beam irradiation housing unit to be connected to the chamber and mounts an object lens inside. A focusing lens mounting unit (170) is detachably installed on the top of the object lens mounting unit and mounts a focusing lens. A filament mounting unit (160) is detachably installed on the top of the focusing lens mounting unit and includes a filament irradiating the electron beam.
Abstract translation: 目的：具有多级柱结构的电子束照射装置通过将安装有灯丝的部分与安装聚焦透镜的部分分离来代替灯丝而提高了更换的效率。 构成：电子束照射单元安装在室的顶部并照射电子束。 物镜安装单元（180）安装在电子束照射容纳单元上，以与室连接并将物镜安装在内部。 聚焦透镜安装单元（170）可拆卸地安装在物镜安装单元的顶部并安装聚焦透镜。 灯丝安装单元（160）可拆卸地安装在聚焦透镜安装单元的顶部，并且包括照射电子束的灯丝。
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公开(公告)号：KR101267259B1
公开(公告)日：2013-05-24
申请号：KR1020110115519
申请日：2011-11-08
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01R27/26 , G01R23/02 , G01R19/165 , G06F3/041
Abstract: 정전식터치스크린패널검사장치에관한기술이개시된다. 본발명의일 실시예에따른 PLL을이용한정전식터치스크린패널검사장치는, 고유정전용량에의해제1 주파수신호를생성하고, 정전식터치스크린패널의 ITO 센서전극간 정전용량과상기고유정전용량의합성정전용량에의해제2 주파수신호를생성하는주파수신호생성부; 상기주파수신호생성부에의해생성된신호를입력신호로하여 VCO의출력주파수를상기입력신호의주파수에동화시키는 PLL 회로부; 및상기 PLL 회로부에상기제1 주파수신호가입력된후 상기제2 주파수신호가입력되는경우발생하는상기 VCO의출력전압변화량을소정기준변화량과비교하여상기정전식터치스크린패널의양품여부를판별하는양품판별부를포함함으로써, 검사장비의범용성을확보하고검사결과의정확성및 신뢰성을개선한다.
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公开(公告)号：KR1020120081000A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：KR1020110008565
申请日：2011-01-28
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: A surface shape measuring device and a screen printer managing system using the same are provided to maintain a processing condition of a screen printer by interconnecting a measurement result of a surface shape measuring device. CONSTITUTION: A surface shape measuring device(1) comprises a screen printer(100), a surface shape measuring module(30), a screen printing database(20), and a screen printing management module(10). The screen printer spreads a paste for adhesion on a printed circuit board(3). The surface shape measuring module measures a spread state of the paste for the adhesion on the printed circuit board and generates a plurality of measuring data with respect to a plurality of failure estimating factors related to the spread state of the paste. A plurality of criteria data corresponding to the failure estimating factors and a plurality of control commands for a spread controlling correspondently to the criteria data are saved in the screen printing database. The screen printing management module transmits the control command corresponding to the searched criteria data to the screen printer.
Abstract translation: 目的：提供一种表面形状测量装置和使用该表面形状测量装置的丝网印刷机管理系统，以通过互连表面形状测量装置的测量结果来维持丝网印刷机的处理状态。 构成：表面形状测量装置（1）包括丝网印刷机（100），表面形状测量模块（30），丝网印刷数据库（20）和丝网印刷管理模块（10）。 丝网印刷机在印刷电路板（3）上涂布粘合膏。 表面形状测量模块测量用于印刷电路板上的粘合剂的糊状物的扩展状态，并且相对于与糊料的扩展状态相关的多个故障估计因子产生多个测量数据。 对应于故障估计因子的多个准则数据和与准则数据相对应的用于扩展控制的多个控制命令被保存在丝网印刷数据库中。 丝网印刷管理模块将与搜索到的标准数据相对应的控制命令发送到丝网印刷机。
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公开(公告)号：KR101139178B1
公开(公告)日：2012-04-26
申请号：KR1020110100104
申请日：2011-09-30
Applicant: 디아이티 주식회사 , (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A 3-dimensional measurement apparatus using digital holography is provided to minimize the generation of optical noise and improve the precision of a product by simplifying structure and lowering manufacturing cost. CONSTITUTION: A 3-dimensional measurement apparatus(100) using digital holography comprises a first photographing unit(110), a second photographing unit(120), an optical source(101), a first beam splitter(121), a second beam splitter(122), a first band pass filter(131), a second band pass filter(132), and a controller. The first photographing unit and the second photographing unit obtain one shot digital hologram. The optical source emits the white light including the wavelength components in a range of ultraviolet-visible ray. The first beam splitter reflects composite light including reference light and measurement light toward an object(140). The second beam splitter transmits the composite light through the first photographing unit. The first band pass filter is placed on the optical path between the first photographing unit and the second beam splitter. The second band pass filter is placed on the optical path between the second beam splitter and the second photographing unit.
Abstract translation: 目的：提供使用数字全息术的三维测量装置，通过简化结构并降低制造成本，最大限度地减少光学噪声的产生并提高产品的精度。 构成：使用数字全息术的三维测量装置（100）包括第一拍摄单元（110），第二拍摄单元（120），光源（101），第一分束器（121），第二分束器 （122），第一带通滤波器（131），第二带通滤波器（132）和控制器。 第一拍摄单元和第二拍摄单元获得一次数字全息图。 光源发射包括紫外 - 可见光范围内的波长分量的白光。 第一分束器将包括参考光和测量光的复合光反射到物体（140）。 第二分束器通过第一拍摄单元传输复合光。 第一带通滤波器被放置在第一拍摄单元和第二分束器之间的光路上。 第二带通滤波器被放置在第二分束器和第二拍摄单元之间的光路上。
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