다중 부성미분 전달전도 특성 소자 및 그 제조방법

    公开(公告)号:KR102223019B1

    公开(公告)日:2021-03-05

    申请号:KR1020190127835

    申请日:2019-10-15

    Abstract: 본발명에따른다중부성미분전달전도특성소자는기판전도부; 상기기판전도부상에적층되어형성된게이트절연층; 서로상이한문턱전압을가지며상기게이트절연층상에수평방향으로직렬로연결되어형성된제1, 제2, 제3 반도체; 및상기제1 반도체와상기제3 반도체양단에형성되는전극;을포함하여, 하나의소자내에서세 개이상의반도체물질의접합을형성하여여러개의피크및 밸리특성을가져, 칩을차지하는부성미분전달전도소자의면적이크게증가하지않으면서 4개이상의논리상태를표현할수 있는다진법논리회로를구현(예를들면, 1개의다중부성미분전달전도소자에 1개의트랜지스터를연결하면 4진법인버터혹은 4진법메모리를구현)하는데활용되어칩을저전력화, 소형화, 및고속화시키는효과가있다.

    반도체층 형성방법
    49.
    发明公开
    반도체층 형성방법 审中-实审
    半导体层形成方法

    公开(公告)号:KR1020170138185A

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:KR1020160070259

    申请日:2016-06-07

    Abstract: 본발명의일 실시예에따른반도체층형성방법은제 1 기판상에제 1 절연층을형성하고, 제 1 기판의일부를노출시키는시드영역을형성하는단계; 제 1 절연층상에 2차원물질로구성된박리층을형성하는단계; 박리층상에시드영역을통해노출된제1 기판과접하도록비정질반도체층을형성하는단계; 비정질반도체층을결정화하는단계; 및결정화된비정질반도체층을박리층으로부터분리시키는단계를포함한다.

    Abstract translation: 根据本发明实施例的形成半导体层的方法包括:在第一衬底上形成第一绝缘层;形成暴露第一衬底的一部分的籽晶区; 在第一绝缘层上形成由二维材料组成的释放层; 形成与通过剥离层上的剥离层暴露的第一基板接触的非晶半导体层; 结晶非晶半导体层; 并且将结晶的非晶半导体层与分层层分离。

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