리튬 이온 이차전지용 실리콘/알루미늄 적층 다층 음극 박막 및 그 제조방법
    45.
    发明授权
    리튬 이온 이차전지용 실리콘/알루미늄 적층 다층 음극 박막 및 그 제조방법 有权
    用于可再充电锂离子电池的Si / Al多层薄膜阳极及其制备方法

    公开(公告)号:KR101509533B1

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:KR1020130025052

    申请日:2013-03-08

    Abstract: 본발명은리튬이온이차전지용실리콘/알루미늄적층다층음극박막및 그제조방법에관한것으로, 보다상세하게는기판상에실리콘을증착시키는실리콘층증착단계; 및상기실리콘층상에알루미늄을증착시키는알루미늄층증착단계;를포함하되, 상기실리콘층증착단계및 알루미늄증착단계가교대로일회이상반복되는구성을가짐으로써, 제조되는리튬이온이차전지의높은방전용량과우수한충·방전특성을동시에실현하고또한, 장수명화를달성한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于锂离子二次电池的Si-Al多层阴极薄膜及其制造方法,更具体地说,涉及:在基板上沉积硅的硅层沉积步骤; 以及用于在硅层上沉积铝的铝层沉积步骤。 通过将硅层沉积步骤和铝层沉积步骤交替进行多次,锂离子二次电池具有高放电容量,优异的充电放电性能和长寿命。

    전극막 제조 방법 및 이를 이용한 커패시터의 제조 방법

    公开(公告)号:KR1020210002833A

    公开(公告)日:2021-01-11

    申请号:KR1020190078603

    申请日:2019-07-01

    Abstract: 전극막의제조방법및 이를이용하는커패시터의제조방법을제공한다. 전극막제조방법은, 기판상에주석전구체및 산소소스를순차적으로제공하는제1 서브사이클(first sub-cycle)을수행하고, 제1 서브사이클을수행한기판상으로주석전구체, 탄탈륨전구체, 및산소소스를순차적으로제공하는제2 서브사이클을수행하고, 제1 서브사이클및 제2 서브사이클이하나의사이클(cycle)을구성하며, 사이클을반복수행하여, 기판상에탄탈륨이도핑된주석산화막을형성하는것을포함한다. 탄탈륨이도핑된주석산화막내 탄탈륨농도는제2 서브사이클에서제공되는주석전구체에의해결정된다.

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