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公开(公告)号：KR1020130070186A
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：KR1020110137392
申请日：2011-12-19
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: A61N5/022 , A61N5/1077 , A61N2005/1088
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a target for generating charged particle, a target structure, and a treatment apparatus using the same are provided to generate charged particle with high energy. CONSTITUTION: A manufacturing method of a target for generating charged particle comprises a step of forming a source layer(12) on a substrate(10); a step of forming balls(13) on the source layer; a step of forming a metal thin film(14) on the source layer; and a step of forming holes exposing the source layers form the metal thin film, by removing the balls. The target comprises a substrate; a source layer formed on the substrate; and a metal thin film having holes locally exposing the source layer.
Abstract translation: 目的：提供用于产生带电粒子的目标物的制造方法，靶结构体及使用其的处理装置，以产生高能量的带电粒子。 构成：用于产生带电粒子的靶的制造方法包括在衬底（10）上形成源极层（12）的步骤; 在所述源层上形成球（13）的步骤; 在所述源极层上形成金属薄膜（14）的步骤; 并且通过去除球形成露出源层的孔形成金属薄膜的步骤。 靶包括基底; 形成在所述基板上的源极层; 以及具有局部暴露源层的孔的金属薄膜。
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公开(公告)号：KR1020110020063A
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：KR1020090077760
申请日：2009-08-21
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/02
CPC classification number: G01J5/20
Abstract: PURPOSE: An infrared detection sensor and a manufacturing method thereof are provided to improve a thermal insulation property of a sensor structure by a narrow support arm with low conductivity, thereby increasing sensitivity of the infrared detection sensor. CONSTITUTION: A metal pad(220a) and a reflective film(220b) are formed on a substrate. A sensor structure(200a) is separated from the reflective film. The sensor structure comprises a sensing film(260), a lower protective film(240), and an upper protective film(270). An anchor(200b) has a fixed thickness on the metal pad. A support arm(200c) is expanded from the anchor to support the sensor structure.
Abstract translation: 目的：提供一种红外线检测传感器及其制造方法，以通过具有低导电性的窄支撑臂改善传感器结构的绝热性能，从而提高红外线检测传感器的灵敏度。 构成：在基板上形成金属焊盘（220a）和反射膜（220b）。 传感器结构（200a）与反射膜分离。 传感器结构包括感测膜（260），下保护膜（240）和上保护膜（270）。 锚（200b）在金属垫上具有固定的厚度。 支撑臂（200c）从锚固体扩展以支撑传感器结构。
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公开(公告)号：KR100930590B1
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：KR1020070130698
申请日：2007-12-14
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/09 , H01L31/101
CPC classification number: G01J5/20 , B81B3/007 , B81B2201/0207 , B81B2203/0118 , G01J5/02 , G01J5/023 , G01J5/024
Abstract: 본 발명은 지지팔 구조를 갖는 적외선 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 종래 기술에 따른 2차원 구조의 지지팔을 개량한 3차원 구조의 지지팔을 갖는 적외선 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 멤스형 적외선 센서 제조 방법은, 판독회로 및 흡수구조 형성을 위한 반사층을 포함하는 기판을 제공하는 단계와, 상기 기판상에 희생층을 형성하는 단계와, 상기 희생층에 요철단면을 갖는 지지팔 구조체를 형성하는 단계와, 상기 지지팔 구조체에 의해 상기 기판과 격리되는 센서부를 형성하는 단계와, 상기 희생층을 제거하는 단계를 포함한다.
멤스, 적외선 센서, 볼로미터Abstract translation: 本发明提供一种具有悬臂结构的微辐射热测量仪及其制造方法，更具体地，提供一种从传统的二维悬臂结构改进的具有三维悬臂结构的微辐射热测定仪及其制造方法。 该方法包括：提供包括用于形成吸收结构的读出集成电路和反射层的衬底，在衬底上形成牺牲层，在牺牲层中形成具有不平坦横截面的悬臂结构，形成传感器部分 通过悬臂结构与衬底隔离，并去除牺牲层。
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公开(公告)号：KR1020090059771A
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：KR1020070126806
申请日：2007-12-07
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: A fabrication method of MEMS structure is provided to block the diffusion of stress or crack generated in a part of MEMS structures. A fabrication method of MEMS structure comprises a step of preparing a substrate(10), a step of forming a sacrificial layer(11) on the top of the substrate, including empty regions, and a step of forming a device in the empty region of the sacrificial layer. Lattice grooves(20) are located between the empty regions of the sacrificial layer in at least one direction, where the width of the lattice groove is 0.5~2 times the thickness of the sacrificial layer.
Abstract translation: 提供MEMS结构的制造方法来阻止在MEMS结构的一部分中产生的应力或裂纹的扩散。 MEMS结构的制造方法包括制备衬底（10）的步骤，在衬底的顶部上形成牺牲层（11）的步骤，包括空白区域，以及在空白区域中形成器件的步骤 牺牲层。 晶格槽（20）在至少一个方向上位于牺牲层的空白区域之间，栅格槽的宽度为牺牲层厚度的0.5〜2倍。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100799566B1
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：KR1020060034653
申请日：2006-04-17
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 금속 나노입자 화학 센서 물질 및 그를 포함하는 화학 센서를 제공한다. 본 발명에 따른 금속 나노입자 화학 센서 물질은 금속 나노입자 및 상기 금속 나노입자 표면에 결합되어 상기 금속 나노입자를 둘러싸고 있는 소수성 및 상기 금속에 비하여 상대적으로 낮은 전도도를 갖는 한 종류 이상의 리간드 분자를 포함하고, 상기 리간드 분자는 선형 또는 분지형의 포화 또는 불포화의 지방족 또는 방향족 하이드로카본인 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 금속 나노입자 화학 센서 물질 및 화학 센서는 습기에 대한 감도는 적고 표적 가스 시료에 대한 감도는 우수하므로, 습기가 많은 환경에서도 낮은 농도의 표적 가스 시료를 용이하고 정확하게 검출할 수 있다. 구체적으로, 다량의 수분을 포함하는 인체 호흡 가스에 존재하는 특정 질병 가스를 유효하게 검출함으로써 상기 특정 질병의 진단에 이용될 수 있다.
나노입자, 화학 센서, 소수성, 센서, 하이드로카본, 습기-
公开(公告)号：KR1020070061042A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：KR1020060036355
申请日：2006-04-21
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: A sensor for detecting gas and electronic nose system having the same are provided to represent an accurate output in response to gas reaction of the sensor by automatically initializing an initial output of the sensor through a resistance matching block. A sensor for detecting gas includes a sensing part(111), a resistance matching part(112), a temperature controller(113), a resistance difference detecting part(114), and an amplifier(115). The sensing part includes sensing materials varying a resistance value thereof according to gas existence and concentration and measures a change of a sensing resistance value according to the gas existence and density. The resistance matching part includes a plurality of base resistors(1121) having another resistance and automatically set the base resistance value matched to an initial sensing resistance value of the sensing part by using the plurality of base resistors. The temperature controller uniformly maintains temperature of the sensing part. The resistance difference detecting part detects a difference of a sensing resistance value of the sensing part and the set value of the base resistor. The amplifier amplifies the resistance difference received from the resistance difference detecting part and transmits an amplified value to a multiplexer(15).
Abstract translation: 提供一种用于检测气体和电子鼻系统的传感器，以通过电阻匹配块自动初始化传感器的初始输出来响应于传感器的气体反应来表示准确的输出。 用于检测气体的传感器包括感测部分（111），电阻匹配部分（112），温度控制器（113），电阻差检测部分（114）和放大器（115）。 感测部件包括根据气体存在和浓度改变其电阻值的感测材料，并且根据气体存在和密度来测量感测电阻值的变化。 电阻匹配部包括具有另一电阻的多个基极电阻（1121），并且通过使用多个基极电阻自动设定与感测部的初始感测电阻值相匹配的基极电阻值。 温度控制器均匀地保持感测部件的温度。 电阻差检测部检测感测部的感测电阻值与基本电阻的设定值的差。 放大器放大从电阻差检测部分接收的电阻差，并将放大的值发送到多路复用器（15）。
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公开(公告)号：KR1020050059364A
公开(公告)日：2005-06-20
申请号：KR1020030091014
申请日：2003-12-13
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 카본 나노튜브를 이용한 가스센서용 가스 흡착 및 탈착 장치에 관한 것으로, 가열층 역할을 하는 전극, 상기 전극 위에 선택적으로 성장되며 흡착제로 작용하는 카본 나노튜브, 그리고 이들을 수용하는 구조체 등으로 구성된다. 본 발명의 흡착 및 탈착 장치는 일반적인 반도체 제조 공정으로 제작이 가능하며, 가스센서 등과 일체형으로 집적할 수 있어 소형화가 용이하다. 또한, 카본 나노튜브의 뛰어난 열전도 특성으로 인해 탈착시에 효율적인 가열이 이루어지므로 저전력으로 동작된다.
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公开(公告)号：KR1020040036410A
公开(公告)日：2004-04-30
申请号：KR1020020065430
申请日：2002-10-25
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: An infrared detecting pixel is provided to facilitate fabrication of the structure of a detection part and maximize an effective detecting area by separating the detection part from a substrate having a read-out integrated circuit by a gap and by electrically connecting electrodes of the detection part and the read-out integrated circuit by a pillar. CONSTITUTION: A semiconductor substrate(100) includes the read-out integrated circuit. The detection part detects infrared rays, located over the semiconductor substrate and spatially separated from the substrate. A plurality of support units have a dual cylinder structure made of outer insulation pillars(104a,104b) and inner conductive bridges(106a,106b), connecting the semiconductor substrate with the detection part. A signal detected by the detection part is delivered to the read-out integrated circuit of the semiconductor substrate through the conductive bridge.
Abstract translation: 目的：提供一种红外线检测像素，以便于制造检测部件的结构，并通过将检测部分与具有读出集成电路的基板间隔开来并通过电连接检测电极而使检测部分分离，从而使检测部分最大化 部分和读出的集成电路由一个支柱。 构成：半导体衬底（100）包括读出的集成电路。 检测部分检测位于半导体衬底上并与衬底空间分离的红外线。 多个支撑单元具有由外绝缘柱（104a，104b）和内导电桥（106a，106b）制成的双圆筒结构，其将半导体衬底与检测部分连接。 由检测部检测的信号通过导电桥传送到半导体基板的读出集成电路。
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公开(公告)号：KR102215307B1
公开(公告)日：2021-02-16
申请号：KR1020150013420
申请日：2015-01-28
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02F1/153
Abstract: 본발명에따른전기변색소자는제1 전극상에서, 제1 포어를갖는제1 나노구조체및 상기제1 나노구조체상에제공된제1 전기변색분자들을포함하는제1 전기변색층,; 상기제1 전기변색층의상면상에배치되고, 상기제1 전기변색층의제1 함몰부로연장되는전해질; 및상기전해질상에배치되는제2 나노구조체를포함할수 있다. 상기제1 나노구조체는그 상면상에제1 함몰부를가질수 있다. 상기제2 나노구조체는그 내부에제2 포어및 그하면상에제2 함몰부를가질수 있다.
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