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公开(公告)号:DE102004010703A1
公开(公告)日:2005-09-22
申请号:DE102004010703
申请日:2004-03-04
Applicant: EPCOS AG
Inventor: PAHL WOLFGANG
IPC: H01L23/31 , H01L23/498 , H01L23/538 , H05K1/18 , H05K3/00 , H05K3/40 , H05K3/46 , H01L23/02 , H01L21/50 , H01L21/60
Abstract: An electrical component includes a substrate that includes one or more terminal contacts for one or more electrical component structures on a surface of the substrate. The electrical component also includes a cover having a first surface and a second surface. The cover includes one or more terminal pads on the first surface, one or more terminal contacts on the second surface, and electrical throughplatings electrically connecting the terminal pads and the contacts. The cover is on the surface of the substrate. The electrical component also includes a conductive adhesive is in one or more cavities between the substrate and the cover.
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公开(公告)号:DE10351428A1
公开(公告)日:2005-06-16
申请号:DE10351428
申请日:2003-11-04
Applicant: EPCOS AG
Inventor: STELZL ALOIS , PAHL WOLFGANG , FUERBACHER BRUNO , KRUEGER HANS
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公开(公告)号:CA2399417A1
公开(公告)日:2001-08-16
申请号:CA2399417
申请日:2001-02-02
Applicant: EPCOS AG
Inventor: FISCHER WALTER , PAHL WOLFGANG
Abstract: Sensitive component structures (2) can be encapsulated by enclosing them wit h a frame structure (6) consisting of a light-sensitive reaction resin and covering the latter with another, structured layer of reaction resin after applying an auxiliary film (7). Top structures (10) which fit over the frame structures (6) can be produced e.g., by structured imprinting or photostructuring. The residual parts of the exposed auxiliary film are remov ed by dissolving or etching.
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44.
公开(公告)号:CA2399122A1
公开(公告)日:2001-08-16
申请号:CA2399122
申请日:2001-02-02
Applicant: EPCOS AG
Inventor: PAHL WOLFGANG , TRAUSCH GUNTER
IPC: H01L41/09 , H01L41/04 , H01L41/18 , H01L41/22 , H03H3/08 , H03H9/02 , H03H9/25 , H01L41/08 , G03F7/09
Abstract: The aim of the invention is to increase resistance to breaking and to preven t optical reflections during structuring for producing components on piezoelectric substrates. To this end, an absorber layer (2) which has high optical absorption, binds particles and seals cracks is provided on the rear side of the substrate (1). The absorber layer (2) is advantageously also electroconductive in order to be able to divert pyroelectric charges.
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公开(公告)号:DE19933548C2
公开(公告)日:2001-07-26
申请号:DE19933548
申请日:1999-07-16
Applicant: EPCOS AG
Inventor: ROTTMANN MATTHIAS , PAHL WOLFGANG
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公开(公告)号:DE102016124057A1
公开(公告)日:2018-06-14
申请号:DE102016124057
申请日:2016-12-12
Applicant: EPCOS AG
Inventor: EDER FLORIAN , PIHALE SVEN , ÜBLER MATTHIAS , PAHL WOLFGANG
Abstract: Es wird ein MEMS-Mikrofon mit guten akustischen Eigenschaften und verringerter Ausfallwahrscheinlichkeit durch defekte elektrische Verbindungen angegeben. Dazu hat das Mikrofon einen Kanal, der eine Schallöffnung mit einem MEMS-Chip verbindet. Der Kanal hat ein heterogenes Material aus zwei unterschiedlichen Komponenten, die unterschiedliche thermische Eigenschaften aufweisen.
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公开(公告)号:DE112015002947A5
公开(公告)日:2017-03-16
申请号:DE112015002947
申请日:2015-06-22
Applicant: EPCOS AG
Inventor: PAHL WOLFGANG
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公开(公告)号:DE102005053765B4
公开(公告)日:2016-04-14
申请号:DE102005053765
申请日:2005-11-10
Applicant: EPCOS AG
Inventor: STELZL ALOIS DR , LEIDL ANTON DR , SEITZ STEFAN DR , KRÜGER HANS , PAHL WOLFGANG
Abstract: MEMS-Package, mit – einem Trägersubstrat (TS), – einem auf dessen Oberseite montierten MEMS-Chip (MC), – zumindest einem auf oder über der Oberseite des Trägersubstrat angeordneten oder in das Trägersubstrat eingebetteten Chip-Bauelement (CB), – einer dünnen metallischen Schirmungsschicht (SL), die den MEMS-Chip und das Chip-Bauelement überdeckt und mit der Oberseite des Trägersubstrats abschließt, wobei – MEMS-Chip und Chip-Bauelement elektrisch untereinander oder mit Außenkontakten auf einer Oberfläche des Trägersubstrats verbunden sind, – zwischen Schirmungsschicht (SL) und MEMS-Chip (MC) eine Abdeckung (AB, DL) angeordnet ist, – die Abdeckung (AB, DL) auf dem MEMS-Chip (MC) aufliegt, deckelförmig ausgebildet ist und – die Abdeckung (AB, DL) eine zum MEMS-Chip (MC) weisende Ausnehmung aufweist und damit über dem MEMS-Chip einen Hohlraum (HR) einschließt.
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公开(公告)号:DE102010022204B4
公开(公告)日:2016-03-31
申请号:DE102010022204
申请日:2010-05-20
Applicant: EPCOS AG
Inventor: PAHL WOLFGANG
IPC: B81B7/02 , B81C3/00 , H01L23/492 , H04R19/04
Abstract: Elektrisches Bauelement (EB) mit flacher Bauform, umfassend – einen Träger (TR) mit einer Ausnehmung (AU) und einer weiteren Ausnehmung, einen ersten Chip (CH1) und einen weiteren Chip (AC) und eine externe Kontaktfläche (EK), wobei – die Ausnehmung (AU) den Träger (TR) vollständig durchdringt, – die weitere Ausnehmung den Träger (TR) nicht durchdringt, – der erste Chip (CH1) so in der Ausnehmung (AU) angeordnet ist, dass seine Unterseite bündig mit der Unterseite des Trägers abschließt, – der weitere Chip (AC) in der weiteren Ausnehmung auf dem Träger (TR) angeordnet ist, – die externe Kontaktfläche (EK) für eine Verschaltung des ersten Chips (CH1) und des weiteren Chips (AC) mit einer externen Schaltungsumgebung vorgesehen ist, – der Träger (TR) einen mehrschichtigen Aufbau mit zumindest zwei dielektrischen Schichten und einer dazwischen angeordneten strukturierten Leiterbahn umfasst.
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公开(公告)号:DE102012101505B4
公开(公告)日:2016-03-03
申请号:DE102012101505
申请日:2012-02-24
Applicant: EPCOS AG
Inventor: PAHL WOLFGANG , LEIDL ANTON , PORTMANN JÜRGEN , EICHINGER ROBERT , SIEGEL CHRISTIAN , NICOLAUS KARL , WASSNER THOMAS , SEDLMEIER THOMAS
Abstract: Verfahren zur Herstellung eines Sensors (SEN), aufweisend die Schritte: – Anordnen eines Sensorelements (SE) auf einem Träger (TR), – Anordnen einer Abdeckung (AF) auf dem Sensorelement (SE), wobei das Sensorelement (SE) zwischen der Abdeckung (AF) und dem Träger (TR) eingeschlossen wird, – Aufkleben einer Trägerfolie (TF) auf die Abdeckung (AF), – Erzeugen einer Öffnung (SO) in der Trägerfolie (TF) und der Abdeckung (AF), wobei die Öffnungen (SO) in der Trägerfolie (TF) und der Abdeckung (AF) zumindest teilweise überlappen, wobei die Öffnung in der Abdeckung dazu vorgesehen ist, dem Sensorelement ein Kommunizieren mit der Umgebung zu ermöglichen, – Entfernen der Trägerfolie (TF) samt darin erzeugter Öffnung, und – Durchführen eines Funktionstests des Sensors (SEN) nach dem Erzeugen der Öffnung (SO) in der Trägerfolie (TF) und vor dem Entfernen der Trägerfolie (TF).
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