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公开(公告)号：CN104995557A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201480008162.8
申请日：2014-02-04
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B25/02 , C03B32/00 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , G02B5/0891 , G03F7/70316 , G03F7/70958
Abstract: 为了提供用于EUV-光刻中的镜面基材的由TiO2-SiO2玻璃构成的坯料，其中对于优化热膨胀系数分布和因此过零温度TZC分布的调适需求是小的，在920℃至970℃的假想温度Tf平均值下，所述TiO2-SiO2玻璃具有其过零温度TZC对于假想温度Tf的依赖性，其以微商dTzc/dTf表示小于0.3。
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公开(公告)号：CN104854047A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201380064885.5
申请日：2013-12-11
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/027 , C03B37/10 , C03C13/04 , G02B6/00
CPC classification number: C03C13/046 , C03B37/02727 , C03B2201/50 , C03B2205/55 , C03B2205/56 , C03C3/06 , C03C13/045 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/50 , C03C2203/54 , G02B6/02395 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种可制造具有优异耐氢性的低损耗碱金属掺杂光纤的方法。该光纤制造方法具有：拉伸步骤，其中在拉伸炉中拉伸光纤母材从而制造石英玻璃系光纤，该石英玻璃系光纤具有芯区域、以及包围该芯区域的包层区域，其中该芯区域包含平均浓度为至少0.5原子ppm的碱金属；以及在加热炉中加热所述光纤的加热步骤，其中，从所述拉伸炉拉伸出的光纤穿过所述加热炉。
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公开(公告)号：CN101959820A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106555.1
申请日：2009-02-26
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , C03B19/1415 , C03B2201/075 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/70 , C03B2207/81 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用EUV光辐照时的范围内，其线性热膨胀系数基本为零，并具有极高的表面平滑度。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的TiO2含量为7.5至12质量％，线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，并且条纹应力水平的标准偏差(σ)在至少一个面内的30mm×30mm的区域内为0.03MPa以下。
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公开(公告)号：CN101959817A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106333.X
申请日：2009-02-25
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/23 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54
Abstract: 本发明提供一种TiO2-SiO2玻璃，其在用作EUVL用曝光工具的光学部件时，当用高EUV能量光辐照时，所述玻璃的线性热膨胀系数基本上为零。本发明涉及含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1000℃以下，OH浓度为600ppm以上，线性温度系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，且在20至100℃温度范围内的平均线性热膨胀系数为50ppb/℃以下。
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公开(公告)号：CN101959812A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106891.6
申请日：2009-02-27
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F7/70958 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101891380A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN201010229123.4
申请日：2010-07-13
Applicant: 长飞光纤光缆有限公司
IPC: C03B37/018
CPC classification number: G02B6/0285 , C03B37/01211 , C03B37/014 , C03B37/0183 , C03B37/01892 , C03B37/02754 , C03B2201/02 , C03B2201/04 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/86 , C03B2203/23 , C03B2205/09 , C03B2205/14 , C03C13/045 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/31 , C03C2203/40 , G02B6/02395 , G02B6/0283 , G02B6/03633 , Y02P40/57
Abstract: 本发明涉及一种大尺寸光纤预制棒及其光纤的制造方法，以掺氟衬管作为基底管沉积各包层和芯层并熔缩成实心芯棒，然后将实心芯棒与套管组成预制棒，或者在实心芯棒表面再沉积外包层部分直接形成芯棒在拉丝塔上进行拉丝。也可以对预制棒或实心棒进行拉伸后再拉丝。拉丝过程中对光纤进行两层涂料的涂覆，得到高抗疲劳参数的弯曲不敏感的低水峰单模光纤。该制造方法的预制棒尺寸大，单根预制棒拉丝长度长，工艺较简单，成本较低，非常适合规模化生产。该方法制造的光纤具有低水峰的特性，同时具有极低的因弯曲而引起的光损耗，而且具有较高的抗疲劳参数，特别适合于光纤在小弯曲半径下的使用，如应用于光纤接入网(FTTx)或者小型化的光器件中。
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公开(公告)号：CN101426744A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200780013293.5
申请日：2007-09-04
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 , 信越石英株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03C4/20 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/3411 , C03C2201/3435 , C03C2203/10 , C03C2203/54
Abstract: 本发明始于用于半导体制造的已知石英玻璃元件，该元件至少在近表面区具有第一掺杂剂和第二氧化掺杂剂的共掺杂，所述第二掺杂剂含一种或多种浓度各为0.1～3wt％的稀土金属(以SiO2和掺杂剂的总质量为基准计算)。由此开始，为了提供用于在腐蚀作用环境中半导体制造的以高纯度和高耐干腐蚀著称并避免了由用氧化铝共掺杂所造成的已知缺点的石英玻璃元件，按照本发明建议：第一掺杂剂应是氮以及石英玻璃内亚稳定羟基的平均含量应小于30wtppm。
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公开(公告)号：CN101061075A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200680001203.6
申请日：2006-03-30
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/09 , C03B32/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03C15/00 , C03C19/00 , C03C23/0025 , C03C23/006 , C03C2201/11 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/32 , C03C2201/50 , C03C2203/54 , C30B25/12 , C30B31/14 , C30B35/00 , Y02P40/57
Abstract: 用于蚀刻作用环境中的晶片夹具用理想石英玻璃的特征在于高纯度和高抗干蚀刻性。为给出一种完全符合这些要求的石英玻璃，本发明提出该石英玻璃应至少在其近表面区域掺杂氮，且亚稳态羟基的平均含量小于30重量ppm，以及其假定温度低于1250℃和在1200℃的温度下粘度为至少1013dPas。一种制造这种石英玻璃的经济性方法包括以下步骤：熔融SiO2原料以获得石英玻璃坯，其中使所述SiO2原料或石英玻璃坯经受脱水处理，在含氨气氛中将所述SiO2原料或石英玻璃坯加热至1050℃至1850℃范围的氮化温度，进行温度处理藉此将石英玻璃坯的石英玻璃设定到1250℃或更低的假定温度，对石英玻璃坯进行表面处理，形成石英玻璃夹具。
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公开(公告)号：CN101053060A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200580037965.7
申请日：2005-09-08
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
CPC classification number: H01J65/044 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/11 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , H01J61/302
Abstract: 一种用于发射紫外线和/或真空紫外线辐射的无电极灯和过程包含由超纯和/或低缺陷石英材料形成的封壳以及设置在封壳内部区域中的紫外线和/或真空紫外线发射性材料。由超纯和/或无缺陷石英材料形成的无电极灯在使用期间使退化最小化。
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公开(公告)号：CN1521800A
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：CN200410001232.5
申请日：2004-01-02
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 福岛谦辅
CPC classification number: H01J61/86 , C03C3/06 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/32 , H01J61/302 , H01J61/822
Abstract: 本发明在于提供可以解决因放电容器变黑、变乳白而照度维持率降低的问题和放电容器出现裂纹的问题的超高压放电灯。本发明是在由石英玻璃构成的放电容器内相向地配置一对电极，在该放电容器内封入0.15mg/mm3以上的水银的超高压放电灯，其特征在于：上述石英玻璃的氢含量为重量的0.1～290ppm。
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