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    一种基于转动的土壤成分含量检测装置
    41.
    发明公开
    一种基于转动的土壤成分含量检测装置 无效

    公开(公告)号：CN106483093A

    公开(公告)日：2017-03-08

    申请号：CN201611006115.7

    申请日：2016-11-16

    Applicant: 江苏智石科技有限公司

    Inventor： 范磊

    IPC: G01N21/3563 ,  G01N21/01

    CPC classification number: G01N21/3563 ,  G01N21/01 ,  G01N2201/103

    Abstract: 本发明公开了一种基于转动的土壤成分含量检测装置，包括：光源、光电探测器、前置放大器、触发开关、控制器、显示器、电机驱动器、旋转电机、传动组件及样品承载台，其中样品承载台用于承载待测土壤样品，及样品承载台的底部通过传动组件与旋转电机的转子连接；所述光源用于生成和发射光束；所述控制器，用于控制旋转电机的电子转动通过传动组件带动样品承载台旋转；还用于根据放大后的电信号处理获得土壤成分含量，及控制显示器将所得土壤成分含量显示。本发明采用全方位照射地方式便于土壤表面将光束反射，提高装置的精准度，更加便于装置用于土壤成分探测过程。

    표면 검사 방법 및 이를 이용한 포토 마스크의 검사 방법
    44.
    发明公开
    표면 검사 방법 및 이를 이용한 포토 마스크의 검사 방법 审中-实审
    用于检查表面的方法和使用其进行光掩模检查的方法

    公开(公告)号：KR1020160142655A

    公开(公告)日：2016-12-13

    申请号：KR1020150078666

    申请日：2015-06-03

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 나지훈 ,  이동근 ,  김병국 ,  이래원

    IPC: H01L21/66

    CPC classification number: G01N21/956 ,  G01B11/00 ,  G01N2021/95676 ,  G01N2201/103 ,  G03F1/84

    Abstract: 본발명의기술적사상에따른표면검사방법은, 빔어레이를형성하는멀티빔검사장치의스테이지에검사대상을로딩하는단계; 상기빔 어레이에포함된복수의빔들각각은복수의빔들간의피치(pitch)에의해정의되는커버영역을가지고, 상기복수의빔들각각의시역(Field Of View; FOV)은상기커버영역보다작도록설정하는단계; 및상기빔 어레이를이용하여상기시역에대응하는상기검사대상의복수의검사지점(point)들을스캔하는단계;를포함할수 있다. 또한, 본발명의기술적사상에따른표면검사방법은, 빔어레이를가지는멀티빔검사장치의스테이지에검사대상을로딩하는단계; 상기검사대상은상기빔 어레이와대응하는복수의단위영역들을포함하고, 상기검사대상을지지하는상기스테이지가이동하는동안상기빔 어레이는상기어느하나의단위영역의검사지점들을스캔하는단계; 및상기어느하나의단위영역의검사지점들로부터다른단위영역의검사지점들로상기빔 어레이가편향되는단계;를포함할수 있다.

    Abstract translation: 一种检查表面的方法包括将检查对象加载在被配置为产生光束阵列的多光束检查装置的台上，并且与所述光束阵列同时扫描所述检查对象的多个检查区域，其中， 第一检查区域小于由连接梁阵列的相应的四个相邻梁的各个中心的四边形形成的区域，并且一个第一检查区域的相邻区域不被光束阵列扫描。

    기판 검사 장치
    46.
    发明授权
    기판 검사 장치 有权
    用于检查基板的装置

    公开(公告)号：KR100492159B1

    公开(公告)日：2005-06-02

    申请号：KR1020020066613

    申请日：2002-10-30

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 전충삼 ,  최선용 ,  김광수 ,  김주우 ,  최정현 ,  박동진

    IPC: H01L21/66

    CPC classification number: H01L21/67253 ,  G01N21/9503 ,  G01N21/95607 ,  G01N2021/0162 ,  G01N2021/0187 ,  G01N2021/1736 ,  G01N2021/1772 ,  G01N2021/8411 ,  G01N2021/8896 ,  G01N2021/95615 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/1087

    Abstract: 기판의 EBR/EEW 검사, 패턴의 결함 검사 및 레티클 에러 검사를 모두 수행할 수 있는 자동화된 통합 기판 검사 장치가 개시되어 있다. 제1이미지 획득부는 기판의 가장자리의 제1이미지를 획득하며, 제2이미지 획득부는 기판의 패턴에 대한 제2이미지를 획득한다. 제1이미지는 제1스테이지에 지지된 기판으로부터 획득되며, 제2이미지는 제2스테이지에 지지된 기판으로부터 획득된다. 이송 로봇은 제1스테이지로부터 제2스테이지로 기판을 이송한다. 이미지 처리부는 제1이미지로부터 기판의 EBR/EEW 검사를 수행하며, 제2이미지로부터 패턴의 결함 검사 및 레티클 에러 검사를 수행한다. 다양한 기판의 검사 공정을 통합 기판 검사 장치를 통해 수행하므로 기판 검사 공정의 효율이 향상되고, 다양한 기판 검사 공정의 신뢰도가 향상된다.

    다중-스폿 표면 스캐닝 검사 시스템을 위한 큰 미립자 검출
    47.
    发明公开
    다중-스폿 표면 스캐닝 검사 시스템을 위한 큰 미립자 검출 审中-实审
    用于多点表面扫描检测系统的大颗粒检测

    公开(公告)号：KR1020140061452A

    公开(公告)日：2014-05-21

    申请号：KR1020147006949

    申请日：2012-08-03

    Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

    Inventor： 라이히위르겐 ,  암스덴챨스 ,  장쟈야오 ,  월터스크리스챤

    IPC: H01L21/66

    CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/94 ,  G01N2021/555 ,  G01N2021/8835 ,  G01N2021/8845 ,  G01N2201/103 ,  H01L22/12

    Abstract: 다중-스폿 검사 시스템의 조명 전력 밀도는 주 조명 스폿들의 어레이의 검사 경로에서 큰 미립자를 검출하는 것에 응답하여 조정된다. 적어도 하나의 낮은 전력의 보조 조명 스폿은 비교적 높은 전력 주 조명 스폿들의 어레이의 검사 경로에 위치된다. 보조 조명 스폿으로부터 산란된 광은 집광되고, 미립자를 과열시키고 웨이퍼를 손상시킴 없이 하나 이상의 검출기들 상에 이미징된다. 다양한 실시예들 및 방법들은 보조 조명 스폿들로부터 산란된 광을 구분하도록 제시된다. 주 조명 스폿의 검사 경로에서 큰 미립자의 존재를 결정하는 것에 응답하며, 주 조명 스폿이 큰 미립자에 도달하기 이전에 주 조명 스폿의 조명 전력 밀도를 안전한 레벨로 감소시키도록 명령어가 조명 전력 밀도 감쇄기에 전송된다.

    METHOD FOR DETECTING MICRO-COLONIES GROWING ON A MEMBRANE OR AN AGAROSE MEDIUM OF A SAMPLE AND A STERILITY TESTING APPARATUS
    50.
    发明申请
    METHOD FOR DETECTING MICRO-COLONIES GROWING ON A MEMBRANE OR AN AGAROSE MEDIUM OF A SAMPLE AND A STERILITY TESTING APPARATUS 审中-公开
    用于检测在样品的膜或琼脂糖介质上生长的微克隆的方法以及不稳定性测试设备

    公开(公告)号：WO2015161914A3

    公开(公告)日：2016-03-10

    申请号：PCT/EP2015000679

    申请日：2015-03-30

    Applicant: MERCK PATENT GMBH

    Inventor： FELDEN LUC ,  BOUTHILLON MARINE ,  OLIVIER STÉPHANE ,  WOEHL PIERRE ,  GUEDON PIERRE ,  ALLARD FLORIAN

    IPC: G06K9/00 ,  G01N21/17 ,  G01N21/25 ,  G01N21/47 ,  G06T7/00

    CPC classification number: C12Q1/04 ,  C12Q1/22 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/1765 ,  G01N2021/4704 ,  G01N2021/4709 ,  G01N2021/4711 ,  G01N2201/103 ,  G06K9/00134 ,  G06T7/0012 ,  G06T2207/10012 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/30024

    Abstract: The present invention is directed to a method and an apparatus for detecting micro-colonies growing on a membrane (1) or an agarose medium of a sample (5) in a closed device (3). According to the invention the sample (5) is irradiated with a light incident at an angle (β) with respect to the normal to the membrane (1) or the surface of the agarose medium from outside the device (3). An incident area (7) of the light on the membrane (1) or the surface of the agarose medium is imaged by means of a light receiving element (9) using an imaging angle (α) different from angle (β) with respect to the normal to the membrane (1) or the surface of the agarose medium from outside the device (3). The light reflected, scattered and/ or diffused from the membrane or the surface of the agarose medium and/or the micro-colonies on the membrane and/or the micro-colonies on the agarose medium is detected.

    Abstract translation: 本发明涉及用于检测在封闭装置（3）中样品（5）的膜（1）或琼脂糖培养基上生长的微菌落的方法和设备。 根据本发明，用来自装置（3）外部的相对于膜（1）的法线或琼脂糖介质的表面以角度（β）入射的光照射样品（5）。 使用与角度（β）不同的成像角度（α）相对于光接收元件（9）利用光接收元件（9）成像膜（1）上的光或琼脂糖介质表面的入射区域（7） 膜（1）的法线或来自装置（3）外部的琼脂糖介质的表面。 检测从膜或琼脂糖培养基表面和/或膜上的微菌落和/或琼脂糖培养基上的微菌落反射，散射和/或扩散的光。

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