Abstract:
The copolymer, useful for a heat-resistant positive resist image, of N-t-butoxycarbonyl maleimide and styrene deriv. is produced by radical polycondensing an N-t-butoxycarbonyl maleimide monomer and a styrene deriv. with a radical initiator. The styrene deriv. is pref. styrene, p-acetoxystyrene, p-methylstyrene, p-t-butoxycarbonyloxystyrene, p-trimethylsillylstyrene or p- chlorinated styrene. The resist image is formed by spin-coating a soln. obtd. by dissolving the copolymer and an onium salt in a chlorobenzene on the silicon wafer, prebaking, ultra-violet exposing and postbaking the coated wafer, and developing it with a developing liquor i.e. trimethylammonium hydroxy soln., anisole, toluene, methylisobutyl ketone or chloroform.
Abstract:
The N-tert-butoxymaleimide/styrene copolymer is produced by radical- copolymerizing N-tert-butoxymaleimide monomer and styrene derivative in the presence of a radical copolymerization initiator i.e. benzoyl peroxide or azobis (isobutylonitrile). The styrene derivative is pref. styrene, p-acetoxy styrene, p-methyl styrene, p-chloro styrene, m-chloromethyl styrene, p-tert- butoxycarbonyloxy styrene or p-trimethylsilyl styrene. The copolymer is used as a microlithographic resist having a high radiation-sensibility, resolution and heat resistance.
Abstract:
본 발명의 항균성 이미다졸륨 화합물, 광경화성 코팅 조성물 및 항균성 코팅막은 하기 화학식 1로 표시되는 화합물 또는 이의 유도체를 포함한다. [화학식 1]
상기 화학식 1에서, 상기 X - , R 1 및 R 2 에 대한 설명은 발명의 상세한 설명에 기재된 것과 같다. 상기 항균성 이미다졸륨 화합물은 여러 가지 균주에 대한 항균성이 뛰어난 특성이 있고, 광경화성 코팅 조성물에 포함되어 간단한 방식으로 항균성 코팅막을 제공할 수 있다. 또한, 항균성 코팅막은 상기 항균성 이미다졸륨 화합물이 단량체로 포함되어 고분자 쇄(chain)에 화학적으로 결합되어 존재하므로 항균 성능이 오래 유지되고, 광조사라는 방식으로 티올 엔 결합을 유도하여 제조공정이 간단하며, 유독한 유기용제의 사용이 불필요해 친환경적인 항균성 코팅막을 제공할 수 있다.
Abstract:
Injectable thermosensitive pluronic hydrogels coupled with bioactive materials for tissue regeneration and a preparation method thereof are provided to improve cell-affinity of the pluronic hydrogels while their thermosensitivity is maintained, so that they are useful for tissue regeneration. The injectable thermosensitive pluronic hydrogels coupled with bioactive materials through meta-acryloxyethyl trimellitic acid for tissue regeneration, represented by the formula(1) is provided, wherein R is a physiologically activating material; the metacryloxyethyl trimellitic acid is 4-metacryloxyethyl trimellitic acid or 2-methacryloxyethyl trimellitic acid; and the physiologically activating material is a cell-affinity ligand peptide or growth factor. The method for preparing the injectable thermosensitive pluronic hydrogels coupled with bioactive materials through meta-acryloxyethyl trimellitic acid for tissue regeneration comprises the steps of: (1) reacting the thermosensitive pluronic polymer with metacryloxyethyl trimellitic acid anhydride at room temperature to prepare the metacryloxyethyl trimellitic acid-fluronic polymer; and (2) coupling the metacryloxyethyl trimellitic acid-fluronic polymer with a cell-affinity ligand peptide or growth factor.
Abstract:
본 발명은 반도체 제조에서 미세 패턴 가공 시 노광된 빛의 난반사 억제를 위하여 사용될 수 있으며, 193nm 파장의 원자외선 영역에서 높은 광흡수도를 갖는 N -하이드록시페닐말레이미드 반복 단위 함유 유기 고분자, 이를 포함하는 반사 방지막용 조성물 및 이들의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기 고분자를 포함하는 바닥 반사 방지막은 기가 비트급 디램(Giga-bit DRAM)의 고집적 반도체 소자 제조에 사용되어 회로의 층간 난반사 및 정재파 현상을 대폭 억제할 수 있으므로, 70nm - 120nm 급의 초고해상도 미세회로를 안정적으로 형성하여 반도체 제품의 생산 수율을 증대시킬 수 있다.