혼합 용매 및 혼합 블록공중합체를 이용한 블록공중합체 패터닝 방법 및 이에 의한 나노구조체 제조방법
    52.
    发明公开
    혼합 용매 및 혼합 블록공중합체를 이용한 블록공중합체 패터닝 방법 및 이에 의한 나노구조체 제조방법 有权
    使用混合溶剂和混合嵌段共聚物制备嵌段共聚物的方法和使用其制备纳米结构的方法

    公开(公告)号:KR1020160031386A

    公开(公告)日:2016-03-22

    申请号:KR1020150018185

    申请日:2015-02-05

    CPC classification number: G03F7/0002 C08J3/00

    Abstract: 제 1 이종(di) 블록공중합체와제 2 이종(di) 블록공중합체를혼합하여기판에도포하는단계; 및상기혼합된제 1 이종(di) 블록공중합체와제 2 이종(di) 블록공중합체에제 1 용매및 제 2 용매가혼합된혼합용매로용매어닐링하는단계;를포함하며, 상기제 1 용매에의하여상기제 1 이종(di) 블록공중합체의구성중합체블록이팽창하며, 이로써구성중합체블록에의하여정의되는육각판상구조가형성되는것을특징으로하는, 블록공중합체패터닝방법이제공된다.

    Abstract translation: 提供嵌段共聚物图案化方法,其包括以下步骤:将第一二嵌段共聚物和第二二嵌段共聚物混合,然后将混合物铺展在基材上; 并用与第一溶剂和第二溶剂混合的混合溶剂对第一和第二二嵌段共聚物的混合物进行溶剂退火。 第一二嵌段共聚物的构成聚合物嵌段由第一溶剂膨胀,形成由构成聚合物嵌段描述的六角形板状结构。

    혼합 블록공중합체를 이용한 링 형태 전자소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 링 형태 전자소자
    53.
    发明公开
    혼합 블록공중합체를 이용한 링 형태 전자소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 링 형태 전자소자 无效
    使用混合溶剂和混合嵌段共聚物制备嵌段共聚物的方法和使用其制备纳米结构的方法

    公开(公告)号:KR1020160031385A

    公开(公告)日:2016-03-22

    申请号:KR1020150018178

    申请日:2015-02-05

    CPC classification number: H01L27/11507 C09J153/005 H01L21/0332

    Abstract: 혼합블록공중합체를이용한상변화메모리소자제조방법로서, 기판상에하부전극-발열층-상변화층을순차적으로적층하는단계; 실린더중심에점이형성된블록공중합체주형을, 상기상변화층상에형성하는단계; 상기홀과점 사이의영역에의하여정의되는상부전극링을제조하는단계; 상기상부전극링이형성된영역을제외한영역에서상기하부전극-발열층-상변화층을에칭하는단계를포함하는것을특징으로하는, 혼합블록공중합체를이용한상변화메모리소자제조방법이제공된다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种使用混合嵌段共聚物制造相变随机存取存储器的方法,包括以下步骤:在基板上依次层叠下电极,发热层和相变层; 形成在相变层上的圆筒的中心具有点的嵌段共聚物模具; 制造由孔和斑点之间的区域限定的上电极环; 并且在除了形成上电极环的区域之外的区域中蚀刻下电极,发热层和相变层。

    기판 제조방법 및 기판
    54.
    发明公开
    기판 제조방법 및 기판 有权
    制造基板和基板的方法

    公开(公告)号:KR1020150125291A

    公开(公告)日:2015-11-09

    申请号:KR1020140052377

    申请日:2014-04-30

    CPC classification number: G02B1/11 B05D5/06 C03C17/30 C09D1/00 C09D5/00

    Abstract: 본발명은기판을준비하는단계; 및상기기판에서로다른 2 이상의블록공중합체를차례로코팅및 산화시키는단계를포함하고, 상기코팅및 산화된블록공중합체의굴절률은먼저코팅및 산화된것이나중에코팅및 산화된것보다크고, 상기블록공중합체는서로다른 2 이상의블록을포함하며, 상기블록중 어느하나는실리콘을포함하는기판제조방법및 기판을제공한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种基板及其制造方法,包括:准备基板的步骤; 依次在基材上涂布和氧化两种或更多种不同的嵌段共聚物的步骤,其中预先涂覆和氧化的嵌段共聚物具有比后来涂覆和氧化的嵌段共聚物更高的经涂覆和氧化的嵌段共聚物的折射率 ,并且嵌段共聚物包含两个或更多个不同的嵌段,并且嵌段中的一个嵌段含有硅。

    환원 방식의 실리콘 나노구조체 제조방법, 실리콘 옥시카바이드 나노구조체 제조방법, 이에 의하여 제조된 실리콘 나노구조체 및 이를 포함하는 리튬 이차전지
    55.
    发明公开
    환원 방식의 실리콘 나노구조체 제조방법, 실리콘 옥시카바이드 나노구조체 제조방법, 이에 의하여 제조된 실리콘 나노구조체 및 이를 포함하는 리튬 이차전지 有权
    用于制造硅纳米结构的硅氧烷纳米结构的制备方法,由其构成的硅纳米结构和包含硅纳米结构的锂二次电池

    公开(公告)号:KR1020130039555A

    公开(公告)日:2013-04-22

    申请号:KR1020110104191

    申请日:2011-10-12

    Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a silicon nanostructure is provided to obtain nanostructures with desired size by using a self-assembly method and magnesium reduction method. CONSTITUTION: A manufacturing method of a silicon nanostructure comprises a step of self-assembling the silicon-containing block copolymers; a step of manufacturing a block copolymer pattern oxidized by silica; and a step of reducing silica with the block copolymer pattern and obtaining a silicon nanostructure with a pattern corresponding to the self-assembled block copolymer pattern. The reduction is conducted by contact of magnesium gas and the silica. [Reference numerals] (AA) Self-assembling silicon-containing block copolymers; (BB) Oxidizing silicon -> silica; (CC) Reducing silica into silicon; (DD) Manufacturing a silicon nanostructure;

    Abstract translation: 目的:提供硅纳米结构的制造方法,通过使用自组装方法和镁还原法获得具有所需尺寸的纳米结构。 构成:硅纳米结构的制造方法包括自组装含硅嵌段共聚物的步骤; 制造由二氧化硅氧化的嵌段共聚物图案的步骤; 以及使用嵌段共聚物图案还原二氧化硅并获得具有对应于自组装嵌段共聚物图案的图案的硅纳米结构的步骤。 还原通过镁气与二氧化硅的接触进行。 (AA)自组装含硅嵌段共聚物; (BB)氧化硅 - >二氧化硅; (CC)将二氧化硅还原成硅; (DD)制造硅纳米结构;

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