公开(公告)号：KR1020110058344A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：KR1020090115095

申请日：2009-11-26

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 김종문 ,  오현석 ,  김현택 ,  전정우 ,  정성일

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/20 ,  B65G49/06 ,  C23C14/00

CPC classification number: H01L21/67173 ,  B65G49/065 ,  H01L21/6723 ,  H01L21/67709 ,  H01L21/67784

Abstract: PURPOSE: A horizontal contactless deposition apparatus is provided to be easily loaded on a base by a roller of a load lock chamber, thereby increasing the efficiency of a deposition process. CONSTITUTION: A deposition chamber(8) performs a deposition process. A conveyor(9) conveys a substrate in the deposition chamber. A base(10) is formed on the bottom of the deposition chamber. A first support unit is made of a permanent magnet(60) and a magnetic plate(50). A second support unit is formed between the base and the conveyor.

Abstract translation: 目的：提供一种水平非接触式沉积装置，通过负载锁定室的辊容易地装载在基座上，从而提高沉积工艺的效率。 构成：沉积室（8）执行沉积工艺。 输送机（9）在沉积室中输送基板。 基底（10）形成在沉积室的底部。 第一支撑单元由永磁体（60）和磁性板（50）制成。 第二支撑单元形成在基座和输送机之间。

公开(公告)号：KR100977466B1

公开(公告)日：2010-08-23

申请号：KR1020080065102

申请日：2008-07-04

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 전정우 ,  오현석 ,  정성일 ,  이동연 ,  정연호 ,  강도현 ,  니키포로프 ,  미티카카라이아니

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/02

CPC classification number: G03F7/70825 ,  G03F7/24 ,  G03F7/703 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70791 ,  G03F7/70816 ,  G03F7/70841 ,  G03F7/70858 ,  H02K7/09 ,  H02K16/00 ,  H02K21/12 ,  H02K41/031 ,  H02K2201/15 ,  H02K2201/18 ,  H02N15/00

Abstract: 본 발명은 반도체 칩의 소형화와 대용량화 추세로 인한 회로 패턴의 미세화로 고정밀도의 노광장치가 요구됨에 따라 종래의 평면형 스테이지를 대신하여 대면적의 반도체 기판이나 디스플레이 패널의 기판상에 다양한 임의 형상의 미세 크기의 패턴을 생성하기 위하여 원통형 기판을 사용하는 경우에 있어서, 원통형 기판과 상기 원통형 기판에 결합된 제1영구자석 배열과 제1코일 배열의 조합 그리고 제2영구자석 배열과 제2코일 배열의 조합을 포함하도록 구성하여 상기 코일 배열들에 전류를 인가함에 따라 발생한 자기장이 대응하는 상기 영구자석 배열들의 자기장과의 상호작용에 의하여 발생하는 자기력을 제어하여 미세하게 상기 원통형 기판의 부상과 이송 그리고 회전을 가능하도록 하는 원통형 자기부상 스테이지를 제공한다.
또한, 상기 코일 배열에 열이 발생하는 것을 해소하기 위하여 상기 코일 배열이 조립된 고정자에 냉각핀으로 접촉하고, 상기 고정자의 내부에 형성된 냉각관로를 포함하는 냉매 순환 루프를 포함하는 원통형 자기부상 스테이지용 냉각장치를 제공한다.
원통형 기판, 자기부상, 자기부상 스테이지, 노광 장치

公开(公告)号：KR100924656B1

公开(公告)日：2009-11-03

申请号：KR1020070117809

申请日：2007-11-19

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 정성일 ,  오현석 ,  전정우 ,  이동연 ,  정순녕 ,  강도현

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 원통형 기판을 회전시키면서 발생하는 원심력으로 얇고 균일한 두께의 코팅막을 표면에 형성하는 원통형 기판용 스핀 코터 및 이를 이용한 코팅방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서,
제어부에 의해 회전속도가 조절되는 모터의 모터축과 연결되는 회전판; 상기 회전판의 길이방향 가장자리에 마련되는 복수의 고정대와 이 고정대로부터 일정 간격 이격된 회전판의 내측에 구성되는 복수의 수평이동대; 상기 고정대와 수평이동대에 설치되어 원통형 기판의 중심축에 연결되는 지지축;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터를 제공한다.
그리고, 상기 고정대는 높이조절을 위한 높이조절장치가 더 포함되어 설치된다.
원통, 기판, 모터, 회전, 원심력, 중력, 기어, 감광제

公开(公告)号：KR1020090051429A

公开(公告)日：2009-05-22

申请号：KR1020070117818

申请日：2007-11-19

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 정성일 ,  니키포로프 ,  오현석 ,  전정우 ,  이동연 ,  강도현

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C23C16/509 ,  H01J37/3211

Abstract: 본 발명은 RF 안테나를 이루는 도체와 절연 진공관 사이에 절연 공간을 두고 용량성 결합 전극을 나선형으로 구성하여 내장형 안테나를 구성하며, 용량성 결합 전극(Capacitive Coupling Electrode)의 일단이 접지되면 패러데이 쉴드(FS, Faraday shield)로 작동할 수 있는 유도성 결합 플라즈마의 내장형 RF 안테나 및 이를 장착한 플라즈마 챔버에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은, 접지와 연결되고 도체로 이루어진 외벽으로 구성되는 공정 챔버; 상기 공정 챔버로부터 절연되어 그 내부에 장착되는 가공물 지지대; 상기 가공물 지지대와 연결되는 전원공급부; 상기 공정 챔버의 밀봉 장치를 통해 밀봉되어 내장되는 한 개 이상의 RF 안테나; 상기 RF 안테나는 내부에 안테나 도체가 구성되고, 이 안테나 도체와 같은 축에서 절연 공간에 의해 분리되어 안테나 도체의 외부를 나선형으로 감싸는 용량성 결합 전극이 구성되고, 상기 안테나 도체와 용량성 결합 전극을 둘러싸는 절연 진공관이 동일한 축으로 구성되며;
상기 안테나 도체의 양단에 매칭 네트워크를 통해 연결되며, 접지와도 연결되는 RF 전원공급장치; 상기 용량성 결합 전극과 연결된 스위치를 통해 연결 구성되는 CCE 전원공급장치와 접지;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버를 제공한다.
안테나, 내장형, 플라즈마, 유도성 결합, 용량형 결합, 용량형 결합 전극, 증착용 재료, 패러데이 쉴드