公开(公告)号：CN104685603B

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201380039786.1

申请日：2013-06-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  长久保康平

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602

Abstract: 本发明的目的在于提供一种电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置，其能在电子显微镜内容易且安全地营造气体或液体环境，以高分辨率观察其中的试样及其反应。在具备保持试样(23)的试样保持单元(6)的电子显微镜中，上述试样(23)配置于电子束能通过的毛细管(17)内部，在上述毛细管(17)内部具有向上述毛细管(17)内部供给气体或液体的供给装置、以及回收上述气体或液体的回收装置，一边使上述气体或液体流动一边获得上述试样的试样图像。

公开(公告)号：CN105474348A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201480045594.6

申请日：2014-09-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 水尾考志 ,  丹波裕介 ,  波多野治彦 ,  二村和孝

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/18 ,  F25B19/005 ,  F25B45/00 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002

Abstract: 本发明提供防污染阱以及真空应用装置，在现有构造中将双重的冷却罐之间真空隔热，通过与内侧容器连接的高导热率材料来对冷却部进行冷却。在这样的构造中，也有由于高导热率材料、针对冷却部的浸入热而造成的影响，但例如在制冷剂使用了液体氮的情况下，约需要30分钟到达－120℃。即使花费了时间的情况下，也就是－150℃前后的到达温度，远远不及液体氮温度的－196℃。因此，在本发明的防污染阱以及真空应用装置中，其特征在于，是在真空应用装置中冷却装置内冷却部(5)的构造，具有装有对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)的冷却罐(1)、和从上述冷却罐(1)到冷却部(5)附近的冷却管(7)，制冷剂(2)被供给到冷却部(5)前端。并且，其特征在于，将用于释放冷却管内气泡(10)的管(8)插入到冷却部(5)。

公开(公告)号：CN105143866A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201480022147.9

申请日：2014-02-18

Applicant: B-纳米股份有限公司

Inventor： 多夫·夏查尔 ,  拉菲·迪彼丘多

IPC: G01N23/04

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/24445 ,  H01J2237/2605

Abstract: 一种适用于非真空环境成像样品的扫描电子显微镜,所述扫描电子显微镜包括一位于维持在真空下的外壳里面之电子源,一设置在所述外壳开口的电子可穿透膜,所述电子可穿透膜隔开一在外壳里面维持在真空下的环境与一在外壳外面不是维持在真空下的环境,且所述电子可穿透膜没有电接地,以及至少一个没有接地的电极以操作为一个电子检测器。

公开(公告)号：CN104798173A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380060092.6

申请日：2013-11-21

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  许斐麻美 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/224 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/28

Abstract: 带电粒子线装置具备产生一次带电粒子线的带电粒子光学镜筒(2)、内部通过真空泵(4)真空排气的机箱(7)、构成机箱(7)的一部分并能够维持其内部空间的气密状态的第一隔膜(10)、配置于第一隔膜(10)与试样(6)之间的第二隔膜(50)，使在带电粒子光学镜筒(2)中产生的一次带电粒子线透过或通过第一隔膜(10)以及第二隔膜(50)，并照射到与第二隔膜(50)接触的状态的试样(6)上。

公开(公告)号：CN104685603A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201380039786.1

申请日：2013-06-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  长久保康平

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602

Abstract: 本发明的目的在于提供一种电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置，其能在电子显微镜内容易且安全地营造气体或液体环境，以高分辨率观察其中的试样及其反应。在具备保持试样(23)的试样保持单元(6)的电子显微镜中，上述试样(23)配置于电子束能通过的毛细管(17)内部，在上述毛细管(17)内部具有向上述毛细管(17)内部供给气体或液体的供给装置、以及回收上述气体或液体的回收装置，一边使上述气体或液体流动一边获得上述试样的试样图像。

公开(公告)号：CN101996839B

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201010510825.X

申请日：2010-07-26

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 德克·普雷克扎斯 ,  迈克尔·阿尔比兹

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/09 ,  H01J37/141

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J37/15 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及一种粒子束装置(1)，其具有光阑孔可调的第一光阑组件(8)。本发明还涉及一种用于粒子束装置(1)的光阑组件(8)。此外，本发明还涉及一种用于在粒子束装置(1)中调整束流的方法。粒子束装置(1)包括具有第一极靴(6a)和第二极靴(6b)的第一聚束透镜(6)。可以相对于第二光阑组件(9)相互独立地调整第一极靴(6a)与第二极靴(6b)两者。第二光阑组件(9)被设计为压力级光阑，其将具有第一压力的真空的第一区域与具有第二压力的真空的第二区域相互隔开。根据本发明的方法涉及调整该粒子束装置(1)中的束流。

公开(公告)号：CN103843106A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201280044046.2

申请日：2012-09-07

Applicant: 独立行政法人科学技术振兴机构

Inventor： 针山孝彦 ,  高久康春 ,  铃木浩司 ,  村中祥悟 ,  太田勋 ,  下村政嗣 ,  石井大佑

IPC: H01J37/20 ,  G01N1/28 ,  G01N23/225 ,  H01J37/18 ,  G01N23/04

CPC classification number: G01N1/44 ,  G01N1/2853 ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  G01N23/2252 ,  G01N2223/612 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2004

Abstract: 本发明提供一种利用电子显微镜进行观察的方法、和用于该方法的真空下的蒸发抑制用组合物、扫描电子显微镜及透射电子显微镜，使用所述电子显微镜能够在存活的状态下观察生物试样，并且可以观察活动情况。本发明的利用电子显微镜观察试样的方法包括以下工序：在试样表面应用含有选自两亲性化合物、油脂类及离子液体中的至少1种的蒸发抑制用组合物形成薄膜，从而利用薄膜覆盖该试样的工序；和在显示装置上显示收容于真空下的试样室的用该薄膜覆盖的试样的电子显微镜图像的工序。

公开(公告)号：CN102914554A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201210274899.7

申请日：2012-08-03

Applicant: FEI公司

Inventor： S.J.P.科宁斯 ,  S.库贾瓦 ,  P.H.F.特龙佩纳尔斯

IPC: G01N23/04 ,  G01N1/28

CPC classification number: G01Q30/12 ,  B82Y35/00 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明涉及在环境透射电子显微镜（ETEM）中的活性气氛中研究样品的方法。这样的研究被用于研究样品与气体的反应（化学的或物理的）。特别所关心的是气体和催化剂的化学反应，以及例如源自在固体上生长的气相的晶须的生长的物理变化（相变）。现有技术研究涉及将所述样品引入到ETEM的样品室内的侧面进入样品支持器上、将所述样品加热到所需的温度、等待所述样品安定到无漂移位置并且随后将所述样品暴露于经加热的活性气体的例如10mbar的压力。因为所述样品支持器的温度分布随气体的温度和压力而变，当将所述样品支持器暴露于所述气体时，所述样品支持器之上的温度分布将轻微地改变，作为其结果，所述样品将漂移。为了避免所述漂移，或者至少最小化所述漂移，本发明涉及在将所述惰性气体交换为所述活性气体之前在所期望的温度下暴露到惰性气体。本发明也可应用于光学显微镜、X-射线显微镜或扫描探测显微镜。

公开(公告)号：CN101911251B

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN200880123434.3

申请日：2008-12-10

Applicant: 索绍股份有限公司

Inventor： 韩泳琪 ,  徐映水

IPC: H01L21/205

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/20235

Abstract: 本发明提供一种用于处理衬底的设备和方法。通过使用所述设备和方法，可在单个腔室中在衬底的边缘区和后部区中的每一者上个别执行等离子处理。所述设备包含：腔室，其提供反应空间；平台，其安装在所述腔室中；等离子屏蔽单元，其在所述腔室中是与所述平台相对地安装着；支撑单元，其用于在所述平台与所述等离子屏蔽单元之间支撑衬底；第一供应管，其提供于所述平台处以将反应气体或非反应气体供应到所述衬底的一个表面；以及第二和第三供应管，其提供于所述等离子屏蔽单元处，所述第二供应管将反应气体供应到所述衬底的另一表面，所述第三供应管将非反应气体供应到所述另一表面。

公开(公告)号：CN100495634C

公开(公告)日：2009-06-03

申请号：CN02819609.0

申请日：2002-10-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 元井泰子 ,  上野理惠

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2814 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供一种截面评估装置，其能够在样品温度被调节的状态下分析截面结构。本发明还公开了一种信息获取装置，其包括用于放置样品的平台、用于调节样品的温度的温度调节装置、用于使想要得到信息的样品的表面曝光的曝光装置、以及用于获取与由曝光装置曝光的表面有关的信息的信息获取装置。