铜合金溅射靶及其制造方法

    公开(公告)号:CN107109633B

    公开(公告)日:2020-08-11

    申请号:CN201680004589.X

    申请日:2016-05-16

    Abstract: 一种铜合金溅射靶,其特征在于,通过带电粒子活化分析而测定的、氧含量为0.6重量ppm以下、或者、氧含量为2重量ppm以下且碳含量为0.6重量ppm以下。另外,一种铜合金溅射靶的制造方法,其特征在于,对铜原料在真空或惰性气体气氛中进行熔炼,然后向熔炼中的气氛中加入还原气体,接着,向熔融金属中添加合金元素而进行合金化,并将所得到的锭加工为靶形状。本发明的课题是提供一种溅射时粉粒的产生少的铜合金溅射靶及其制造方法。

    IZO烧结体溅射靶及其制造方法

    公开(公告)号:CN107614741B

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201680023954.1

    申请日:2016-10-11

    Abstract: 一种IZO烧结体溅射靶,其为氧化铟‑氧化锌类氧化物(IZO)烧结体靶,其特征在于,构成靶的氧化物为In2O3和ZnkIn2Ok+3(k=3、4、5)复合氧化物,靶的相对密度为98.4%以上。本发明的课题在于,实现IZO烧结体的高密度化,并减少残留在晶粒间的微小的孔(微孔),由此提高成膜的品质。

    Cu-Ni-Si系铜合金条及其制造方法

    公开(公告)号:CN110446796A

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201880022125.0

    申请日:2018-03-23

    Inventor: 中妻宗彦

    Abstract: 本发明提供使强度提高且适度抑制污物的产生、与树脂的密合性优异的Cu-Ni-Si系铜合金条及其制造方法。本发明的Cu-Ni-Si系铜合金条,其含有Ni:1.5~4.5质量%、Si:0.4~1.1质量%,且余量由Cu和不可避免的杂质组成,导电率为30%IACS以上,拉伸强度为800MPa以上,使其在室温下在40wt%硝酸水溶液中浸渍10秒后,JIS-Z8781:2013所规定的L*a*b*表色系中的亮度L*为50~75。

    磁性材料溅射靶及其制造方法

    公开(公告)号:CN109844167A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201780063272.8

    申请日:2017-12-07

    Inventor: 古谷祐树

    Abstract: 一种磁性材料溅射靶,其含有熔点为500℃以下的氧化物,其特征在于,在该溅射靶的溅射面中,粒径为10μm以上的氧化物的平均个数密度为5个/mm2以下。本发明的课题在于提供一种溅射靶及其制造方法,所述溅射靶能够有效地减少由溅射靶中的氧化物、特别是粗大生长的氧化物引起的异常放电、粉粒的产生。

    将防腐蚀性金属与Mo或Mo合金扩散接合而得到的背衬板、以及具备该背衬板的溅射靶-背衬板组件

    公开(公告)号:CN106536787B

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201580038825.5

    申请日:2015-07-16

    Inventor: 高村博 铃木了

    Abstract: 本发明提供一种背衬板,其为将防腐蚀性的金属与Mo或Mo合金接合而得到的背衬板,其中,在该Mo或Mo合金制背衬板的将要冷却的一侧(冷却面侧)的表面具备具有背衬板的总厚度的1/40~1/8的厚度的、通过接合选自Cu、Al或Ti中的一种以上金属或它们的合金而得到的包含防腐蚀性金属的层。本发明还提供将该Mo或Mo合金制背衬板与包含低热膨胀材料的靶接合而得到的溅射靶‑背衬板组件。特别是,在半导体用途中,推进微细化,溅射时的粉粒的控制变得非常严格。本申请发明的课题在于,解决在包含低热膨胀材料的溅射靶的翘曲和Mo或Mo合金制背衬板的耐腐蚀性方面产生的问题。

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