-
公开(公告)号：KR100691560B1
公开(公告)日：2007-03-09
申请号：KR1020050073487
申请日：2005-08-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C04B35/46 , C04B35/472 , C04B35/48
Abstract: 본 발명은 900℃ 이하의 낮은 소결온도에서도 우수한 압전 특성을 보이는 압전 세라믹 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 압전 세라믹 조성물은 일반식 xPb(Zn
0.5 W
0.5 )O
3 -yPbZrO
3 -zPbTiO
3 로 표현되며, 여기서, 0.08≤x≤0.20이고, x+y+z=1이다. 또한 본 발명은 상기의 조성물에 Mn을 치환 또는 첨가하여 우수한 압전 상수를 유지하면서 동시에 기계적 품질계수를 향상시킨 조성물을 제공한다.
압전 세라믹 조성물, 압전 MEMS 소자, 적층형 모놀리식 압전체Abstract translation: 本发明涉及即使在900℃以下的低烧结温度下也表现出优异的压电特性的压电陶瓷组合物。 本发明的压电陶瓷组合物具有通式xPb（Zn
-
公开(公告)号：KR1020060025353A
公开(公告)日：2006-03-21
申请号：KR1020040074116
申请日：2004-09-16
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G01N29/022 , B82Y30/00 , B82Y35/00 , G01N29/036 , G01N29/326 , G01N2291/0215 , G01N2291/0255 , G01N2291/0256 , G01N2291/0258 , G01N2291/0426 , G01N2291/0427 , Y10T436/143333
Abstract: 본 발명은 온도 및 습도가 조절된 대기 또는 기상에서 단백질, 유전자 등과 같은 생체물질(bio-element)의 존재여부 및 존재량을 정밀하게 측정할 수 있는 생체물질 측정 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 생체물질 측정 방법은 복수개의 캔틸레버를 구비하는 캔틸레버 센서를 준비하는 단계와, 상기 복수개의 캔틸레버에 대한 기준 공진주파수를 측정하는 단계와, 생체물질이 포함된 시료에 상기 복수의 캔틸레버를 반응시키는 단계와, 외부 환경과 격리되고 온도 및 습도가 특정 상태로 조절된 닫힌 계(closed system)에서, 반응 후의 캔틸레버의 공진주파수를 측정하는 단계와, 상기 반응 전후의 캔틸레버의 공진주파수 변동값을 산출하여 시료 내에 포함되어 있는 생체물질의 정량 분석을 실시하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
캔틸레버, 생체물질, PSA, 공진주파수-
63.发明公开
公开(公告)号：KR1020050050425A
公开(公告)日：2005-05-31
申请号：KR1020030084160
申请日：2003-11-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N33/96
CPC classification number: G01N29/4436 , B01L2300/0663 , B01L2300/0816 , B01L2300/0867 , B01L2300/0887 , B01L2400/0487 , B82Y30/00 , B82Y35/00 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N33/54373 , G01N2291/0256 , G01N2291/0426 , G01N2291/0427
Abstract: 본 발명은 종래의 미세 물질을 감지하는 분석 시스템에 있어서, 반응물을 주입할 수 있는 유입구와, 상기 유입구와 반응 챔버를 연결하는 미소 유입 채널이 형성된 미소 유체 전달 시스템과; 일단이 기판에 고정된 캔틸레버와, 상기 캔틸레버의 상면 하면 중 적어도 어느 한 면에 적층되며 압전막과 상기 압전막의 하면에 형성된 하부 전극과 상기 압전막의 상면에 형성된 상부 전극으로 이루어진 구동막과, 상기 하부 전극과 상기 상부 전극에 전기를 가하는 전기 패드와, 상기 캔틸레버 및 상기 구동막 중 적어도 어느 한면의 상면에 형성되어 분석물과 반응하기 위한 분자 인식층을 포함하며 상기 반응 챔버에 설치된 캔틸레버 센서를; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서형 분석 시스템, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 극미세 물질 감지 방법을 제공함으로써, 별도의 외부 액튜에이터 없이 캔틸레버에 일정한 주파수의 진동을 가할 수 있으므로, 캔틸레버 센서의 크기를 현저히 줄여 미세 유체 전달시스템과 결합할 수 있어 극 소량의 반응물질을 측정할 수 있도록 한다.
-
公开(公告)号：KR100471653B1
公开(公告)日：2005-03-10
申请号：KR1020020046392
申请日：2002-08-06
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: A61B1/00
CPC classification number: A61B1/00147 , A61B1/00039 , A61B1/00048 , A61B1/00096 , A61B1/0055 , A61B1/05
Abstract: 본 발명은 내시경 시스템에 관한 것으로서, 일측에는 카메라장치가 장착된 헤드부가 설치되고, 타측에는 인체 외부의 외부장치와 연결되는 튜브와 연결되는 중공형의 실린더부와, 상기 헤드부와 연결되고 상기 실린더부의 외주에 설치되어 장기의 내벽에 고정 가능한 전방고정부와, 상기 실린더부의 외주면에 슬라이딩 가능하도록 상기 실린더부의 외주에 설치되어 장기의 내벽에 고정 가능한 후방고정부와, 상기 전방고정부 또는 후방고정부가 상기 헤드부를 장기의 내벽에 고정시킬 때, 상기 전방고정부와 후방고정부 사이에 연결 설치되어, 신장/수축에 의하여 상기 헤드부를 장기의 내부에서 이동시키는 이동부를 포함하는 몸체를 가지는 것을 특징으로 하는 내시경 시스템을 제공한다.
-
公开(公告)号：KR100450261B1
公开(公告)日：2004-09-30
申请号：KR1020010047463
申请日：2001-08-07
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B81B7/02
Abstract: PURPOSE: A high sensitivity micro cantilever sensor and a method for manufacturing the same are provided to reduce the size of a system by sensing an electric signal, speed up response rate by executing driving and sensing at the same time, and improve sensing property. CONSTITUTION: A high sensitivity micro cantilever sensor includes a cantilever, an upper substrate formed of one or two piezoelectric cells including a piezoelectric film(36) at the lower surface of the cantilever and electrodes(35,37) formed at the upper and lower surfaces of the piezoelectric film, a lower substrate(32) having a cavity(34) in regular depth, wherein the piezoelectric cell lower surface of the upper substrate is adhered to the surface of the lower substrate in which the cavity is formed.
Abstract translation: 目的：提供一种高灵敏度微悬臂梁传感器及其制造方法，以通过感测电信号来减小系统的尺寸，通过同时执行驱动和感测来加快响应速度，并且改善感测特性。 一种高灵敏度微悬臂梁传感器，包括悬臂，由一个或两个压电单元形成的上基板，该单元包括位于悬臂下表面的压电薄膜（36）和形成在上下表面的电极（35,37） 具有规则深度的空腔（34）的下基板（32），其中上基板的压电单元下表面粘附到其中形成空腔的下基板的表面。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020030013130A
公开(公告)日：2003-02-14
申请号：KR1020010047464
申请日：2001-08-07
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81B7/02 , B81B3/0021 , B81B2201/014 , B81B2201/02 , B81B2203/0118 , B81C1/00134 , H01L41/22
Abstract: PURPOSE: A high sensitivity micro cantilever sensor and a method for manufacturing the same are provided to reduce the size of a system by sensing an electric signal and obtain prompt response to sensing. CONSTITUTION: A high sensitivity micro cantilever sensor includes a cantilever, an upper substrate formed of one piezoelectric cell at the upper surface of the cantilever and the other piezoelectric cell at the lower surface of the cantilever, wherein the piezoelectric cells include a piezoelectric film(62) and electrodes(61,63) formed at the upper and lower surfaces of the piezoelectric film, a lower substrate(32) having a cavity(34) in regular depth, wherein the piezoelectric cell lower surface of the upper substrate is adhered to the surface of the lower substrate in which the cavity is formed.
Abstract translation: 目的：提供高灵敏度微悬臂传感器及其制造方法，以通过感测电信号并获得对感测的迅速响应来减小系统的尺寸。 构成：高灵敏度微悬臂传感器包括悬臂，在悬臂的上表面由一个压电单元形成的上基板和在悬臂的下表面处的另一个压电单元，其中压电单元包括压电薄膜（62 ）和形成在压电膜的上表面和下表面的电极（61,63），具有规则深度的空腔（34）的下基板（32），其中上基板的压电单元下表面粘附到 形成空腔的下基板的表面。
-
公开(公告)号：KR1020030013129A
公开(公告)日：2003-02-14
申请号：KR1020010047463
申请日：2001-08-07
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81B7/02 , B81B3/0021 , B81B2201/014 , B81B2201/02 , B81B2203/0118 , B81C1/00134 , H01L41/22
Abstract: PURPOSE: A high sensitivity micro cantilever sensor and a method for manufacturing the same are provided to reduce the size of a system by sensing an electric signal, speed up response rate by executing driving and sensing at the same time, and improve sensing property. CONSTITUTION: A high sensitivity micro cantilever sensor includes a cantilever, an upper substrate formed of one or two piezoelectric cells including a piezoelectric film(36) at the lower surface of the cantilever and electrodes(35,37) formed at the upper and lower surfaces of the piezoelectric film, a lower substrate(32) having a cavity(34) in regular depth, wherein the piezoelectric cell lower surface of the upper substrate is adhered to the surface of the lower substrate in which the cavity is formed.
Abstract translation: 目的：提供高灵敏度微悬臂传感器及其制造方法，以通过感测电信号来减小系统的尺寸，同时通过执行驱动和感测来加快响应速度，并提高感测特性。 构成：高灵敏度微悬臂传感器包括悬臂，由一个或两个压电单元形成的上基板，包括在悬臂的下表面处的压电膜（36）和形成在上表面和下表面的电极（35,37） ，具有规则深度的空腔（34）的下基板（32），其中上基板的压电单元下表面粘附到形成有空腔的下基板的表面。
-
公开(公告)号：KR1020010017335A
公开(公告)日：2001-03-05
申请号：KR1019990032788
申请日：1999-08-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/407
Abstract: PURPOSE: A gas sensor is provided to improve the sensing characteristic by offering an excellent detecting film. CONSTITUTION: A gas sensor comprises an electrode(2) on a substrate(1); a solid solution thin/thick film type detecting film(3) of a WO 3 and a p-type semi-conductive material on the substrate; a heater(4) under the substrate; and an insulating material(5) under the substrate. The gas sensor detects detectable gases such as ammonia and so on. The detecting film increases the sintering property by adding the p type semi-conductive material in the WO 3 . The detecting film increases the reactivity with a NOx by controlling an amount of conductive carriers inside the film. The detecting film comprises a solid solution containing more than one p-type semi-conductive material groups of CuO, NiO, CoO, Cr 2 O 3 , Cu 2 O, MoO 3 , Bo 2 O 3 , MnO 2 and Pr 2 O 3 .
Abstract translation: 目的：提供气体传感器，通过提供优异的检测膜来提高感测特性。 构成：气体传感器包括在基底（1）上的电极（2）; 在基板上的固体溶液薄/厚膜型检测膜（3）和p型半导体材料; 在基底下方的加热器（4）; 和衬底下方的绝缘材料（5）。 气体传感器检测可检测的气体，如氨等。 检测膜通过在WO
3 中添加p型半导体材料来增加烧结性能。 检测膜通过控制膜内的导电载体的量来增加与NOx的反应性。 检测膜包括含有多于一种p型半导电材料组的CuO，NiO，CoO，Cr 2 O 3的固溶体 ，Cu 2 O，MoO 3 ，Bo 2 O 3 ，MnO 2 和Pr 2 O 3 。 -
公开(公告)号：KR100275782B1
公开(公告)日：2000-12-15
申请号：KR1019950011460
申请日：1995-05-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/20
CPC classification number: C23C14/088 , C23C14/024
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a ferroelectric thin film is provided to restrict a fine crack by using a sputtering method or a laser ablation method. CONSTITUTION: A ferroelectric thin film(120) of Pb(Zr1-xTix)O3 is formed by using one method selected from a pure sol-gel method such as a spin coating and a dip coating, MOCVD, LSCVD, and MOD. A buffering layer(110,130) including a component of Pb is inserted in the process for manufacturing the ferroelectric thin film(120). The buffering layer(110,130) has a thickness of 10-100nm. The buffering layer(110,130) is formed with one of Pb(Zr1-xTix))3, PbO, and PbTiO3 including Pb.
Abstract translation: 目的：提供一种制造铁电薄膜的方法，通过使用溅射法或激光烧蚀法来限制微细裂纹。 构成：通过使用选自旋涂法，浸涂法，MOCVD法，LSCVD法和MOD法等纯溶胶 - 凝胶法的一种方法形成Pb（Zr1-xTix）O3的铁电薄膜（120）。 在制造铁电薄膜（120）的过程中插入包括Pb成分的缓冲层（110,130）。 缓冲层（110,130）的厚度为10-100nm。 缓冲层（110,130）由包含Pb的Pb（Zr1-xTix）3，PbO和PbTiO3中的一种形成。
-
公开(公告)号：KR100242792B1
公开(公告)日：2000-03-02
申请号：KR1019970023758
申请日：1997-06-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/14
Abstract: 본 발명은, 히터의 노출에 따른 에너지 낭비를 막고 측정 부위의 가스 흐름이나 외부 조건에 의존하여 감지막에 전달되는 온도를 일정하게 조절하여 센싱 특성을 안정화시킨 반도체식 가스 센서를 제공하기 위하여, 박막증착용 알루미나 기판 앞면에 소정의 패턴으로 형성되는 백금 박막 전극과; 상기 전극이 형성된 기판의 앞면에 증착되는 NO
x 가스 감지용 산화텅스텐 박막과; 상기 알루미나 기판 뒷면에 형성되어 상기 감지막 부위의 온도를 일정하게 유지하기 위한 히터와; 상기 알루미나 기판의 뒷면에 형성되는, 상기 히터를 완전히 매몰시켜 상기 히터를 외부에 대하여 방열하기 위한, 알루미나, 뮬라이트, 코디에라이트, 마그네시아 및 지르코니아로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 재료로 만들어지는 쉬트;를 포함하는 센싱 특성이 안정화된 반도체식 판상 가스 센서 및 알루미나봉과; 상기 알루미나봉위에 형성되는 히터와; 상기 알루미나봉위에 감겨지는, 상기 히터를 완전히 매몰시켜 상기 히터를 외부에 대하여 방열하기 위한, 알루미나, 뮬라이트, 코디에라이트, 마그네시아 및 지르코니아로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 재료로 만들어지는 쉬트와; 상기 쉬트위에 소정의 패턴으로 형성되는 백금 박막 전극과; 상기 전극위에 증착되는 NO
x 가스 감지용 산화텅스텐 박막;을 포함하는 센싱 특성이 안정화된 반도체식 봉상 가스 센서 및 그의 제조방법을 제공한다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
138
records
(took 0.033 seconds)
