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    MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VARIABLE CAPACITOR APPARATUSES AND RELATED METHODS
    72.
    发明公开
    MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) VARIABLE CAPACITOR APPARATUSES AND RELATED METHODS 审中-公开
    可变的KONDENSATORVORRICHTUNGEN MIT EINEM MIKROELEKTROMECHANISCHEN系统（MEMS）UND ENTSPRECHENDES VERFAHREN

    公开(公告)号：EP2898519A1

    公开(公告)日：2015-07-29

    申请号：EP13839408.5

    申请日：2013-09-20

    Applicant: Wispry, Inc.

    Inventor： MORRIS, Arthur, S. ,  DEREUS, Dana ,  BAYTAN, Norito

    IPC: H01G5/16

    CPC classification number: H01G5/16 ,  B81B3/0008 ,  B81B3/0016 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0221 ,  B81C1/00166 ,  B81C1/00476 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/013 ,  H01G5/18 ,  H01G7/00

    Abstract: Systems, devices, and methods for micro-electro-mechanical system (MEMS) tunable capacitors can include a fixed actuation electrode attached to a substrate, a fixed capacitive electrode attached to the substrate, and a movable component positioned above the substrate and movable with respect to the fixed actuation electrode and the fixed capacitive electrode. The movable component can include a movable actuation electrode positioned above the fixed actuation electrode and a movable capacitive electrode positioned above the fixed capacitive electrode. At least a portion of the movable capacitive electrode can be spaced apart from the fixed capacitive electrode by a first gap, and the movable actuation electrode can be spaced apart from the fixed actuation electrode by a second gap that is larger than the first gap.

    Abstract translation: 用于微机电系统（MEMS）可调电容器的系统，装置和方法可以包括附接到基板的固定致动电极，附接到基板的固定电容电极和位于基板上方的可移动部件， 固定的致动电极和固定的电容电极。 可移动部件可以包括位于固定致动电极上方的可动致动电极和位于固定电容电极上方的可动电容电极。 可移动电容电极的至少一部分可以通过第一间隙与固定电容电极间隔开，并且可移动致动电极可以通过比第一间隙大的第二间隙与固定的致动电极间隔开。

    Integrated structure with bidirectional vertical actuation
    73.
    发明公开
    Integrated structure with bidirectional vertical actuation 有权
    一体化结构与垂直驱动bidirectionalem

    公开(公告)号：EP2778118A3

    公开(公告)日：2014-10-29

    申请号：EP14250072.7

    申请日：2014-04-09

    Applicant: InvenSense, Inc.

    Inventor： Daneman, Michael Julian ,  Lim, Martin ,  Hung, Li-Wen ,  Lloyd, Stephen

    IPC: B81B3/00

    CPC classification number: H01L27/1203 ,  B81B3/0056 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2203/053

    Abstract: A Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) device includes a first substrate with a first surface and a second surface, the first substrate including a base layer, a moveable beam disposed on the base layer, at least one metal layer, and one or more standoffs disposed on the base layer such that one or more metal layers are situated on the top surface of the one or more standoffs. The MEMS device further includes a second substrate including one or more metal layers bonded to the one or more standoffs resulting in an electrical connection between at least a portion of the one or more metal layers of the second substrate and one or more of the at least one electrode on the bottom surface and the at least one electrode on the top surface.

    可変容量デバイスおよびその製造方法
    75.
    发明申请
    可変容量デバイスおよびその製造方法 审中-公开
    可变电容器件及其生产方法

    公开(公告)号：WO2015151786A1

    公开(公告)日：2015-10-08

    申请号：PCT/JP2015/057814

    申请日：2015-03-17

    Applicant: 株式会社村田製作所

    Inventor： 中磯俊幸 ,  坂井宣夫

    IPC: H01L21/822 ,  H01L27/04

    CPC classification number: H01L27/0248 ,  B81B7/0022 ,  B81B2201/0221 ,  H01G4/33 ,  H01G7/06 ,  H01L27/0805 ,  H01L28/55 ,  H01L29/93

    Abstract: 　半導体基板（１０）と、その主面に設けられた再配線層（５０）と、再配線層（５０）の実装面に設けられ、第１入出力端子、第２入出力端子、グランド端子および制御電圧印加端子を含む複数の端子電極（ＰＥ）と、を有し、再配線層（５０）に、第１入出力端子および第２入出力端子にそれぞれ接続された一対のキャパシタ電極と、一対のキャパシタ電極間に配置された強誘電体薄膜とで構成される強誘電体薄膜型の可変容量素子部（ＶＣ）が形成されており、半導体基板（１０）の主面に、第１入出力端子または第２入出力端子とグランド端子との間に接続されたＥＳＤ保護素子（ＥＳＤＰ１，ＥＳＤＰ２）が形成されている。

    Abstract translation: 该可变静电电容器具有：半导体衬底（10）; 设置在其主表面上的再布线层（50）; 以及设置在再布线层（50）的安装面上的包括第一输入输出端子，第二输入输出端子，接地端子和控制电压施加端子的多个端子电极（PE）。 在再布线层（50）中形成的铁电薄膜型的可变电容元件部（VC）由分别与第一输入输出端子和第二输入输出端子连接的一对电容电极构成 端子和设置在该对电容器电极之间的铁电薄膜。 在半导体基板（10）主表面上形成有连接在接地端子与第一输入/输出端子或第二输入/输出端子之间的ESD保护元件（ESDP1，ESDP2）。

    可変容量コンデンサ
    76.
    发明申请
    可変容量コンデンサ 审中-公开
    可变电容电容器

    公开(公告)号：WO2014058004A1

    公开(公告)日：2014-04-17

    申请号：PCT/JP2013/077562

    申请日：2013-10-10

    Applicant: アルプス電気株式会社

    Inventor： 大川　尚信 ,  村田　眞司 ,  矢澤　久幸 ,  宮武　亨

    IPC: H01G5/16 ,  H01G5/01 ,  H01G5/011

    CPC classification number: H01G5/16 ,  B81B3/0056 ,  B81B2201/0221

    Abstract: 【課題】可変容量範囲を大きくするとともに、外部から加えられる加速度の影響による容量変動を抑制することが可能な可変容量コンデンサを提供することを目的とする。 【解決手段】本発明の可変容量コンデンサにおいて、可動容量電極部３０と可動駆動電極部３１とは、支点部６１ｃが設けられたリンク部５１、５２によって連結されており、リンク部５１、５２は支点部６１ｃを支点として回転動作可能に設けられており、支点部６１ｃを支点として、可動容量電極部３０に連結された側のリンク部５１、５２の回転半径が、可動駆動電極部３１に連結された側のリンク部５１、５２の回転半径よりも大きくなるように、支点部６１ｃが設けられているとともに、可動容量電極部３０の単位面積あたりの質量が、可動駆動電極部３１の単位面積あたりの質量よりも小さくなるように、可動容量電極部３０及び可動駆動電極部３１が形成されていることを特徴とする

    Abstract translation: 发明内容本发明的目的是提供一种可变电容电容器，其被配置为可以增加可变电容的范围，并且可以抑制由于从外部施加的加速度的影响引起的电容波动。 在该可变电容电容器中，可动电容电极部30和可动驱动电极部31通过设置有支点部61c的连接部51和52连接。 连接部51和52可以支点部61c可旋转地设置为支点; 支点部61c被设置为使作为支点的支点部61c的与可动电容电极部30连接的连结部51和52的旋转半径大于旋转半径 连接到可动驱动电极部分的连接部分（51）和（52）之间; 形成可动电容电极部30和可动驱动电极部31，使可动电容电极部30的每单位面积的质量比可动驱动电极部31的质量小。

    静電アクチュエーター、可変容量コンデンサーおよび電気スイッチ
    77.
    发明申请
    静電アクチュエーター、可変容量コンデンサーおよび電気スイッチ 审中-公开
    静电执行器，变压器和电动开关

    公开(公告)号：WO2013076755A1

    公开(公告)日：2013-05-30

    申请号：PCT/JP2011/006483

    申请日：2011-11-22

    Applicant: パイオニア株式会社 ,  パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社 ,  埴原 甲二

    Inventor： 埴原　甲二

    IPC: H02N13/00

    CPC classification number: B81B3/0008 ,  B81B2201/0221 ,  H01G5/16

    Abstract: 　簡単な構成で、スティクションを防止することができる。　下部駆動電極２１および上部駆動電極２２にそれぞれ配設されると共に、空隙を介して相互に対面し、静電吸引力を生じさせる一対の低抵抗層２１ａ、２２ａと、下部駆動電極２１および上部駆動電極２２に配設され、近接時に相互に接触して、下部駆動電極２１および上部駆動電極２２上に一対の低抵抗層２１ａ、２２ａを介した電荷の導通路Ａを形成する一対の接触部と、上部駆動電極２２に配設されると共に、導通路Ａに介設され、所定の駆動電圧を印加したときに一対の低抵抗層２１ａ、２２ａに静電吸引力を付与するための電位差を生じさせる高抵抗層２２ａと、を備えた。

    Abstract translation: 在本发明中可以使用简单的结构来防止静电。 提供：一对低电阻层（21a，22a），用于产生分别设置在下驱动电极（21）和上驱动电极（22）上的静电吸引力，并且设置成相对于间隙 ; 一对接触部，用于当通过下驱动电极（21）和上驱动电极（22）上的一对低电阻层（21a，22a）形成用于充电的通电路径（A）时， ），分别设置在下驱动电极（21）和上驱动电极（22）上的一对接触部分。 以及用于产生设置在所述上​​驱动电极（22）上并沿着连接路径（A）设置的电位差的高电阻层（22a），所述高电阻层适于对所述一对低电阻施加静电引力 当施加指定的驱动电压时，层（21a，22a）。

    METHOD OF USING A PLURALITY OF SMALLER MEMS DEVICES TO REPLACE A LARGER MEMS DEVICE
    78.
    发明申请
    METHOD OF USING A PLURALITY OF SMALLER MEMS DEVICES TO REPLACE A LARGER MEMS DEVICE 审中-公开
    使用多个小型MEMS器件来替代大型MEMS器件的方法

    公开(公告)号：WO2010054244A2

    公开(公告)日：2010-05-14

    申请号：PCT/US2009/063616

    申请日：2009-11-06

    Applicant: CAVENDISH KINETICS, INC. ,  SMITH, Charles Gordon ,  KNIPE, Richard L. ,  JOSHI, Vikram ,  GADDI, Roberto ,  UNAMUNO, Anartz ,  VAN KAMPEN, Robertus Petrus

    Inventor： SMITH, Charles Gordon ,  KNIPE, Richard L. ,  JOSHI, Vikram ,  GADDI, Roberto ,  UNAMUNO, Anartz ,  VAN KAMPEN, Robertus Petrus

    IPC: B81C1/00

    CPC classification number: B81B7/04 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2207/053 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/135 ,  H01G5/18 ,  H01G5/40

    Abstract: Embodiments disclosed herein generally include using a large number of small MEMS devices to replace the function of an individual larger MEMS device or digital variable capacitor. The large number of smaller MEMS devices perform the same function as the larger device, but because of the smaller size, they can be encapsulated in a cavity using complementary metal oxide semiconductor (CMOS) compatible processes. Signal averaging over a large number of the smaller devices allows the accuracy of the array of smaller devices to be equivalent to the larger device. The process is exemplified by considering the use of a MEMS based accelerometer switch array with an integrated analog to digital conversion of the inertial response. The process is also exemplified by considering the use of a MEMS based device structure where the MEMS devices operate in parallel as a digital variable capacitor.

    Abstract translation: 本文公开的实施例通常包括使用大量的小MEMS器件来代替单个更大的MEMS器件或数字可变电容器的功能。 大量较小的MEMS器件具有与较大器件相同的功能，但是由于尺寸较小，因此可以使用互补金属氧化物半导体（CMOS）兼容工艺封装在腔中。 通过大量较小器件的信号平均，允许较小器件阵列的精度等同于较大的器件。 通过考虑使用具有惯性响应的集成模数转换的基于MEMS的加速度计开关阵列来举例说明该过程。 还通过考虑使用MEMS器件结构（其中MEMS器件并行地作为数字可变电容器）来使用该过程。

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