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公开(公告)号：CN105742144A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610106183.4
申请日：2016-02-26
Applicant: 镇江乐华电子科技有限公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/265
Abstract: 本发明公开了一种监控透射电子显微镜的预警系统，属于电子显微镜的技术领域。系统包括：监控计算机以及向监控计算机发送检测数据的压力传感器组、电流传感器组、光栅编码器、步进电机编码器，监控计算机在电子显微镜关键参数以及主要附件参数中至少一项数据超出该数据自身阈值范围时向电镜计算机发送超出阈值范围的数据并向报警器发送启动指令，报警器发出声光报警，大大提高设备利用率，能够及时发现、及时解决电子显微镜设备出现的问题，避免因为问题的延误发现造成对设备本身的更大程度上的损害或者是对科研实验结果的误导，同时降低设备成本核算。
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公开(公告)号：CN104137219B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201380011581.2
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。
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公开(公告)号：CN105143864A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480008838.3
申请日：2014-02-14
CPC classification number: H01J37/265 , G01N23/04 , G01N2223/0565 , G01N2223/612 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J2237/063 , H01J2237/1534 , H01J2237/2602 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明描述了一种用于进行柔软物质目标(17)的高分辨率电子显微术的方法。所述方法包括利用具有球面像差校正(10)的电子显微镜(1)照射柔软物质目标，所述球面像差校正在散射在柔软物质目标上的热漫散射电子的频带内具有基本上恒定的传递函数。所述方法包括检测在所述柔软物质上散射的热漫散射(TDS)电子，然后利用所检测的热漫散射电子获得所述柔软物质目标的图像。
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公开(公告)号：CN104990773A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510298187.2
申请日：2011-03-30
Applicant: FEI公司
Inventor： R.坦纳
CPC classification number: H01J37/3005 , G01N1/286 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J37/30 , H01J37/3045 , H01J37/3056 , H01J2237/2611 , H01J2237/28 , H01J2237/2803 , H01J2237/2814 , H01J2237/30472 , H01J2237/3174 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。
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公开(公告)号：CN102680507B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201210134252.4
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G03B42/00
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法。在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：(1)当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；(3)由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：(1)从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。(2)能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。(3)伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102759540B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210135414.6
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G03B42/00
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN102759539B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210135356.7
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G03B42/00
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN104364877A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029956.8
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20285 , H01J2237/22 , H01J2237/2801 , H01J2237/2809 , H01J37/244 , H01J2237/24495
Abstract: 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。
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公开(公告)号：CN104137219A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380011581.2
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。
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公开(公告)号：CN103824798A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201310566530.8
申请日：2013-11-14
Applicant: FEI公司
Inventor： J.阿加瓦奇
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J2237/20292 , H01J2237/31749
Abstract: 在此披露了一种用于对放置在真空室内的样品进行对准从而使得样品被定向成与聚焦离子束垂直的方法。使用聚焦例程确定样品表面上不同斑点的位置。不同斑点的位置用于创建确定所需要的准确校准的影像线或影像平面。然后，该影像线或影像平面用于对样品台进行校准，从而使得样品被对准成基本上与聚焦离子束垂直。
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