화학 기상 증착 장치
    81.
    发明授权
    화학 기상 증착 장치 有权
    化学蒸气沉积装置

    公开(公告)号:KR101700273B1

    公开(公告)日:2017-01-26

    申请号:KR1020150113404

    申请日:2015-08-11

    Abstract: 본발명에서는화학기상증착장치를제안한다. 본발명의일 실시예에따른화학기상증착장치는공정이진행되는챔버; 상기챔버에내부에위치하고, 상부면에기판이배치되는스테이지부; 상기챔버의내부에위치하여, 상기챔버내부의온도를제어하기위한히터블럭; 상기챔버내부의압력을조절하기위한압력조절라인; 상기스테이지부방향으로가스를공급하는가스분배부; 상기가스분배부에가스를공급하는적어도하나이상의가스공급라인; 및상기가스분배부의온도를제어하기위한가스분배부히터를포함하되, 상기가스분배부는상기스테이지부로부터멀어지는방향으로소정의간격을가지고나란하게배치되는복수의가스분배판을포함하되, 상기가스분배판에는상기스테이지부의폭방향으로서로일정거리이격되고, 서로직경이상이한복수의가스홀이천공된다

    이종 적층 구조체 및 그 제조방법, 및 상기 이종 적층 구조체를 구비하는 전기소자
    83.
    发明公开
    이종 적층 구조체 및 그 제조방법, 및 상기 이종 적층 구조체를 구비하는 전기소자 无效
    不均匀层状结构,制备异质层状结构的方法,以及包含异质层状结构的电气装置

    公开(公告)号:KR1020150130256A

    公开(公告)日:2015-11-23

    申请号:KR1020150153256

    申请日:2015-11-02

    Abstract: 육방정계질화붕소시트(h-BN) 및그래핀시트의이종적층구조체, 이를채용한전기소자, 및이의제조방법이개시된다. 상기이종적층구조체는, 금속기판상에기상법으로대면적의 h-BN 시트를성장시킨후 순차적으로그래핀시트를기상법으로형성함으로써, 그래핀시트와 h-BN 시트사이에불순물이거의남아있지않는고품질의계면상태를가질수 있다. 이러한고품질의계면상태및 대면적을갖는 h-BN 및그래핀의이종적층구조체는 FET를포함하는다양한전기소자에활용할수 있다.

    Abstract translation: 公开了石墨烯片和h-BN片的异质堆叠结构,采用其的电子装置及其制造方法。 通过在金属上形成大面积的h-BN片材之后,通过气相沉积法连续地形成石墨烯片,通过除去石墨烯片和h-BN片之间的杂质,具有高质量的界面状态 基板采用气相沉积法。 在包括FET的各种电气设备中使用具有大面积的石墨烯和h-BN的高质量的界面状态的异质堆叠结构。

    복합 투명 전극을 포함하는 그래핀 기반 포토 디텍터와 그 제조방법 및 포토 디텍터를 포함하는 장치
    85.
    发明公开
    복합 투명 전극을 포함하는 그래핀 기반 포토 디텍터와 그 제조방법 및 포토 디텍터를 포함하는 장치 有权
    包含复合透明电极的基于石墨的光电转换器,其制造方法和包括其的装置

    公开(公告)号:KR1020130056011A

    公开(公告)日:2013-05-29

    申请号:KR1020110121729

    申请日:2011-11-21

    CPC classification number: B82Y30/00 G01J1/42

    Abstract: 복합투명전극을포함하는그래핀기반포토디텍터와그 제조방법및 포토디텍터를포함하는장치에관해개시되어있아. 일실시예에의한그래핀기반포토디텍터는기판과, 기판상에구비된그래핀층과, 상기그래핀층상에형성되고, 서로이격된제1 및제2 전극을포함하고, 상기제1 및제2 전극은복합투명전극을포함한다. 이러한포토디텍터에서, 상기제1 및제2 전극의복합투명전극은다른구성을가질수 있다.

    Abstract translation: 目的:提供一种基于石墨烯的光电检测器,其包括复合透明电极及其制造方法,以及包括该透明电极的制造方法和装置,通过使用柔性基板来灵活地实现光电检测器。 构成:在基板上形成石墨烯层(34)。 衬底包括依次层压的硅层(30)和氧化硅层(32)。 第一电极和第二电极分别形成在石墨烯层上。 第一电极包括依次层压的第一底电极(36)和第一顶电极(38)。 第二电极包括依次层压的第二底部电极(46)和第二顶部电极(48)。

    그라펜 층수 제어방법
    86.
    发明公开
    그라펜 층수 제어방법 无效
    石墨层的控制方法

    公开(公告)号:KR1020120000338A

    公开(公告)日:2012-01-02

    申请号:KR1020100060659

    申请日:2010-06-25

    Abstract: PURPOSE: A method for controlling graphene layers is provided to obtain a single layered or dual layered graphene in a uniform structure by eliminating non-uniform structure such as grains. CONSTITUTION: A method for controlling graphene layers includes the following: A graphene is formed on one side of a first substrate. A second substrate is formed on another side of the first substrate. Light is irradiated to the graphene in order to induce Fresnel interference. Multilayered or non-uniform graphene on the graphene is eliminated through the Fresnel interference. The light is laser light. The first substrate is an organic substrate or a metal oxide substrate.

    Abstract translation: 目的:提供一种控制石墨烯层的方法,通过消除诸如晶粒的不均匀结构,获得均匀结构的单层或双层石墨烯。 构成:用于控制石墨烯层的方法包括以下:在第一衬底的一侧上形成石墨烯。 第二基板形成在第一基板的另一侧上。 光照射到石墨烯上以引起菲涅尔干涉。 通过菲涅尔干涉消除石墨烯上的多层或不均匀的石墨烯。 光是激光。 第一衬底是有机衬底或金属氧化物衬底。

    그라펜 시트로부터 탄소화 촉매를 제거하는 방법 및 그라펜시트의 전사 방법
    87.
    发明公开
    그라펜 시트로부터 탄소화 촉매를 제거하는 방법 및 그라펜시트의 전사 방법 有权
    从石墨片上除去碳化催化剂的方法和转印石墨片的方法

    公开(公告)号:KR1020100046633A

    公开(公告)日:2010-05-07

    申请号:KR1020080105556

    申请日:2008-10-27

    Abstract: PURPOSE: A method for removing a carbonization catalyst from a graphene sheet and a transfer method of the graphene sheet using the same are provided to restrict or prevent damages of the graphene sheet when the carbonization catalyst is removed from the graphene sheet. CONSTITUTION: A method for removing a carbonization catalyst from a graphene sheet includes a step for removing the carbonization catalyst by suing a salt solution used as an oxidizer to oxidize the carbonization catalyst. The salt solution is a neutral or a basic salt solution. The salt solution is FeCl3, KMnO4, KClO3, KMnO3, K2CrO4 or K2Cr2O7. The carbonization catalyst is Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V or Zr.

    Abstract translation: 目的:提供从石墨烯片除去碳化催化剂的方法和使用其的石墨烯片的转移方法,以限制或防止当碳化催化剂从石墨烯片上除去时石墨烯片的损伤。 构成:从石墨烯片除去碳化催化剂的方法包括通过起作用作氧化剂的盐溶液来氧化碳化催化剂来除去碳化催化剂的步骤。 盐溶液是中性或碱性盐溶液。 盐溶液为FeCl3,KMnO4,KClO3,KMnO3,K2CrO4或K2Cr2O7。 碳化催化剂为Ni,Co,Fe,Pt,Au,Al,Cr,Cu,Mg,Mn,Mo,Rh,Si,Ta,Ti,W,U,V或Zr。

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