公开(公告)号：CN104094373B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380008021.1

申请日：2013-02-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南祐介 ,  大岛卓 ,  伊藤博之 ,  佐藤贡 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/0451 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。

公开(公告)号：CN103069536B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201180028500.0

申请日：2011-03-31

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 ,  以色列实用材料有限公司

Inventor： R.尼佩尔迈耶

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0437 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817

Abstract: 一种带电粒子探测系统，其包含多个探测元件和接近探测元件的多孔径板。带电粒子小波束可穿过多孔径板的孔径，以入射到探测元件上。可提供多于一个的多孔径板，以形成接近探测器的多孔径板的板组。提供给多孔径板的合适电势可具有对于穿过板的孔径的多个带电粒子小波束的能量过滤特性。

公开(公告)号：CN105247660A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201480027405.2

申请日：2014-03-17

Applicant: 格伦·莱恩家族有限责任有限合伙企业

Inventor： G·E·莱恩

IPC: H01L21/265 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3007 ,  C23C14/48 ,  C23C14/54 ,  H01J37/08 ,  H01J37/09 ,  H01J37/3171 ,  H01J49/062 ,  H01J49/26 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明的实施例涉及质量分辨孔，其可用于离子注入系统中，该离子注入系统基于电荷质量比(和/或质量电荷比)选择性排除在离子束组件中不希望用于注入的离子种类。本发明的实施例涉及被分段、可调节和/或向将撞击孔的迎面而来的离子种类呈现弯曲表面的质量分辨孔。本发明的实施例还涉及通过封闭的等离子体通道(“CPC”)超导体或玻色子能量传输系统的带电粒子流的过滤。

公开(公告)号：CN103257529B

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201310051135.6

申请日：2013-02-16

Applicant: 纽富来科技股份有限公司

Inventor： 东矢高尚 ,  中山贵仁

IPC: G03F7/20

CPC classification number: H01J37/3007 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/31776

Abstract: 本发明涉及电子束描绘装置以及电子束描绘方法。电子束描绘装置（100）具备承载试样（216）的XY工作台（105）、配置有射出电子束（200）的电子枪（201）和具备在电子束（200）的轴向上排列的电极的电磁透镜（202、204、207、210）的电子镜筒（102）。在XY工作台（105）与电子镜筒（102）之间，设有遮挡电子束（200）向试样（216）照射而产生的反射电子或者2次电子的屏蔽板（211）。在屏蔽板（211）的正上方，配置有改变电子束（200）的焦点位置的静电透镜（210），对静电透镜（210）始终从电压供给单元（135）施加负的电压。

公开(公告)号：CN103824744A

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN201410083952.4

申请日：2011-03-17

Applicant: 汉辰科技股份有限公司

Inventor： 万志民 ,  约翰·D·波拉克 ,  唐·贝瑞安 ,  任克川

IPC: H01J37/317

CPC classification number: C23C14/48 ,  H01J37/09 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/24542 ,  H01J2237/31711

Abstract: 本发明提供一种在一衬底上利用一离子束以及一可变孔隙来进行离子注入的方法，用以先改变离子束形状，特别是在衬底附近改变离子束的最终形状，然后再以成形后离子束来对衬底进行离子注入。因此，衬底的不同部分或是不同的衬底，可在不使用公知通过多个固定孔隙或是每次都要重新调整离子束等方法的情况下，分别通过不同的成形后离子束来进行离子注入。换句话说，不需要高成本与复杂的操作步骤，即可达成分别通过特制离子束来进行不同离子注入的目的。另外，相较于现有技术，由于可变孔隙的调整可通过机械操作而易于达成，故能加速离子束调整过程，以获得进行离子注入的一特定离子束的离子束调整过程。

公开(公告)号：CN103257528A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310047452.0

申请日：2013-02-06

Applicant: 纽富来科技股份有限公司

Inventor： 东矢高尚 ,  中山贵仁

IPC: G03F7/20 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00

CPC classification number: G21K5/08 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/3174

Abstract: 一种电子束描绘装置及电子束描绘方法，该电子束描绘装置（100）具有：XY载物台（105），载放试样（216）；以及电子镜筒（102），配置有出射电子束（200）的电子枪（201）和具备排列在电子束（200）的轴向上的电极的透镜（202、204、207、210）。在XY载物台（105）和电子镜筒（102）之间设置有屏蔽板（211），该屏蔽板（211）屏蔽电子束（200）向试样（216）照射而产生的反射电子或二次电子。在屏蔽板（211）的正上方配置有改变电子束（200）的焦点位置的静电透镜（210），始终从电压供给单元（135）对静电透镜（210）施加正电压。

公开(公告)号：CN103238202A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201180057076.2

申请日：2011-09-23

Applicant: 以色列实用材料有限公司 ,  卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  T.凯曼 ,  P.安格 ,  A.卡萨里斯 ,  C.里德赛尔

IPC: H01J37/09

CPC classification number: H01J37/09 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/1205

Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器（350），构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。

公开(公告)号：CN103094031A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210438995.0

申请日：2012-11-06

Applicant: FEI公司

Inventor： N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特 ,  D.塔格尔 ,  J.格雷厄姆

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J9/00

CPC classification number: G21K1/00 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/0453

Abstract: 实现一种改进的限束孔阑结构及制作的方法。在位于支撑衬底中的空腔上方的薄的导电膜中制作孔阑开口，其中孔阑的尺寸和形状由导电膜中的开口确定，而不是由衬底确定。

公开(公告)号：CN102956422A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210296046.3

申请日：2012-08-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉武惟之 ,  安藤洋一

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/21 ,  H01J37/317 ,  G03F7/20

CPC classification number: G21K1/02 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J7/183 ,  H01J7/186 ,  H01J37/09 ,  H01J37/18 ,  H01J37/3177

Abstract: 本发明涉及一种带电粒子束形成带孔部件和带电粒子束曝光装置。形成带电粒子束的带孔部件在带孔部件的表面上包含不可蒸发吸气剂。不可蒸发吸气剂被设置在受带电粒子束照射的位置中。驱动带电粒子源时在带电粒子源周围的排气性能的劣化被抑制。

公开(公告)号：CN102741968A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201080062962.X

申请日：2010-12-17

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： J·佩斯特 ,  A·梅恩达勒 ,  A·J·M·希尔德林克

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/09 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0264 ,  H01J2237/202

Abstract: 本发明涉及设置有支撑和定位结构的带电粒子系统，所述支撑和定位结构用于将目标物支撑和定位在工作台上，所述支撑和定位结构包括第一构件和第二构件以及至少一个马达，以相对于所述第二构件移动所述第一构件，其中，设置有屏蔽件来屏蔽至少一束带电粒子束使其免受由所述至少一个马达产生的电磁场的影响，所述支撑和定位结构还包括弹簧，其机械地将所述第一构件连接到所述第二构件，以至少部分承载所述第一构件、工作台和目标物的重量。