公开(公告)号：CN113169017B

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN201980064424.5

申请日：2019-09-30

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  C.里德塞尔 ,  A.索马 ,  G.梅塔利迪斯 ,  J.雅各比 ,  S.舒伯特 ,  R.伦克 ,  U.比尔 ,  Y.萨罗夫 ,  G.库里杰

IPC: H01J37/317

Abstract: 披露了一种用于操作多束式粒子束系统的方法，该方法包括：生成多个粒子束，使得它们各自穿过完好的或有缺陷的多极元件；将这些粒子束聚焦在预定平面中；确定用于这些多极元件的偏转元件的激励；使用所确定的激励来激励完好的这些多极元件的偏转元件；以及对于有缺陷的多极元件的偏转元件修改所确定的激励，并且使用经修改的激励来激励这些有缺陷的多极元件的偏转元件；其中，该修改包括向所确定的激励添加校正激励，其中，这些校正激励对于该有缺陷的多极元件的所有偏转元件是相同的。

公开(公告)号：CN114503237A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202080054165.0

申请日：2020-05-23

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： S.舒伯特 ,  D.蔡德勒 ,  G.梅塔利迪斯 ,  H.弗里茨 ,  R.伦克

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统，特别是一种多束粒子显微镜，其中可在不改变结构的情况下灵活并在较大数值范围内设定单独粒子束的电流强度。在此，根据本发明的粒子束系统包括聚光透镜系统、具有特定前反电极和前多孔径板的前多透镜阵列以及多透镜阵列。该系统包括控制器，其设置成向聚光透镜系统和前反电极提供可调节的激发，使得带电粒子能够以远心方式入射在前多孔径板上。

公开(公告)号：CN113169017A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201980064424.5

申请日：2019-09-30

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  C.里德塞尔 ,  A.索马 ,  G.梅塔利迪斯 ,  J.雅各比 ,  S.舒伯特 ,  R.伦克 ,  U.比尔 ,  Y.萨罗夫 ,  G.库里杰

IPC: H01J37/317

Abstract: 披露了一种用于操作多束式粒子束系统的方法，该方法包括：生成多个粒子束，使得它们各自穿过完好的或有缺陷的多极元件；将这些粒子束聚焦在预定平面中；确定用于这些多极元件的偏转元件的激励；使用所确定的激励来激励完好的这些多极元件的偏转元件；以及对于有缺陷的多极元件的偏转元件修改所确定的激励，并且使用经修改的激励来激励这些有缺陷的多极元件的偏转元件；其中，该修改包括向所确定的激励添加校正激励，其中，这些校正激励对于该有缺陷的多极元件的所有偏转元件是相同的。