夹具及研磨抛光设备
    1.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220699229U

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202322390167.0

    申请日:2023-09-04

    Abstract: 本实用新型涉及研磨设备技术领域,提供了一种夹具及研磨抛光设备。其中,固定盘的中部的通孔被隔板分隔为绕其轴线分布的若干子空间,子空间的周侧壁至少包括一面通孔的内周壁;夹持组件设置于子空间内,第一夹持件的运动方向与通孔的轴线垂直;固定盘设置有两个,两个固定盘沿其轴线分布,且两个固定盘能够沿轴线相互靠近或远离,晶体能够被两个固定盘的夹持组件固定且晶体的待处理端面暴露于固定盘的端面外。通过两个固定盘沿轴向分别为晶体提供两个支撑点,使得晶体在研磨过程中能够减少摆动幅度,提高研磨作用质量,且固定盘能够同时固定多个晶体,使得研磨抛光设备能够同批次对多个晶体进行研磨作业,保障了研磨的一致性。

    晶体生长装置
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221028761U

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202322799079.6

    申请日:2023-10-18

    Abstract: 本申请公开了一种晶体生长装置,涉及晶体生长技术领域。晶体生长装置包括炉体、支撑组件、升降驱动机构和冷却环。炉体形成炉腔,炉体的内侧设置有加热组件。支撑组件包括载物台与支撑轴,载物台位于炉腔内,用于放置坩埚。升降驱动机构用于驱动炉体和/或支撑组件,以使炉体相对于支撑组件升降。冷却环设置于炉腔内,冷却环内部形成供冷媒流动的冷却通道,冷却环通过第一管路和第二管路与炉体的外部连通。本申请的晶体生长装置,通过冷却环能够有效地对炉腔内温度场进行控制,为晶体生长提供合适的温度梯度,保证晶体生长质量。因此,本申请提供的晶体生长装置有利于制备大尺寸晶体。

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