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    접합 방법, 프로그램, 컴퓨터 기억 매체, 접합 장치 및 접합 시스템
    1.
    发明公开
    접합 방법, 프로그램, 컴퓨터 기억 매체, 접합 장치 및 접합 시스템 审中-实审
    加工方法，程序，计算机记录介质，接合装置和接合系统

    公开(公告)号：KR1020160062712A

    公开(公告)日：2016-06-02

    申请号：KR1020150164754

    申请日：2015-11-24

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 미무라유지 ,  스가카와겐지 ,  마츠모토슈헤이 ,  마스나가다카히로 ,  츠키시마마코토

    IPC: H01L21/18 ,  H01L21/66 ,  H01L21/683 ,  H01L21/677

    Abstract: 본발명의과제는기판의접합처리의상태를검사하여, 당해접합처리를적절히행하는것이다. 상부척의하면에보유지지된상부웨이퍼와하부척의상면에보유지지된하부웨이퍼를대향배치한다(공정 S11). 그후, 액추에이터부를하강시켜, 당해액추에이터부에의해상부웨이퍼의중심부와하부웨이퍼의중심부를가압하여접촉시킨다(공정 S12). 그후, 상부웨이퍼의중심부와하부웨이퍼의중심부가접촉한상태에서, 상부웨이퍼와하부웨이퍼사이의접합을중심부로부터외주부까지확산시킨다(공정 S13). 그후, 상부척에의한상부웨이퍼의외주부진공화를정지한다(공정 S14). 그후, 상부웨이퍼와하부웨이퍼가접합된다(공정 S15). 공정 S11 내지 S15에있어서, 제1 하부척 이동부의구동부의전류값을검출하여, 접합처리의상태를검사한다.

    Abstract translation: 本发明是为了测试板的接合处理的状态并适当地进行接合处理。 根据本发明的接合方法包括以下步骤：（步骤S11）使得保持并支撑在上卡盘的下表面上的上晶片被布置成面对下晶片，所述下晶片被保持并支撑在 下卡盘的上表面; （步骤S12）通过相关致动器对上晶片的中心和下晶片的中心进行加压，从而使致动器彼此接触; （步骤S13）在上晶片的中心与下晶片的中心接触的状态下，将上晶片和下晶片之间的接合从中心扩展到其外表面; （步骤S14）通过上夹盘停止上晶片的外表面的真空化; （步骤S15），并且允许上晶片和下晶片接合。 从步骤S11到步骤S15，通过检测第一下部检查传送单元的操作单元的当前值来测试编码处理的状态。

    기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 및 기판 처리 프로그램을 기억한 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체
    2.
    发明公开
    기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 및 기판 처리 프로그램을 기억한 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체 有权
    基板处理装置，基板处理方法以及具有基板处理程序的计算机可读存储介质

    公开(公告)号：KR1020130056177A

    公开(公告)日：2013-05-29

    申请号：KR1020120128711

    申请日：2012-11-14

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 마츠모토슈헤이 ,  이와나가슈지 ,  도미타히로시 ,  나카미조겐지 ,  모리타사토시

    IPC: H01L21/302 ,  H01L21/683 ,  H01L21/027

    CPC classification number: H01L21/67023 ,  G05D3/00 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/302 ,  H01L21/6835

    Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus, a substrate processing method, and a computer readable storage medium with a substrate processing program are provided to accurately determine the state of a substrate regardless of the materials and the surface state of the substrate. CONSTITUTION: A substrate maintaining unit(22) maintains a substrate(2). A substrate maintaining device(30) horizontally maintains the substrate loaded on a table(29). A rotating device(31) rotates the substrate which is horizontally maintained on the table. A photographing unit(25) is composed of a light(55) and a camera(54) attached to a casing(53) of a substrate processing chamber(14). A control unit(26) determines the state of the substrate maintained by the substrate maintaining unit based on an image photographed by the camera.

    Abstract translation: 目的：提供具有基板处理程序的基板处理装置，基板处理方法和计算机可读取存储介质，以准确地确定基板的状态，而与基板的材料和表面状态无关。 构成：衬底保持单元（22）保持衬底（2）。 基板保持装置（30）水平地维持载置在工作台（29）上的基板。 旋转装置（31）使水平地保持在桌子上的基板旋转。 拍摄单元（25）由安装在基板处理室（14）的壳体（53）上的光（55）和照相机（54）构成。 控制单元（26）基于由照相机拍摄的图像确定由基板保持单元维持的基板的状态。

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