公开(公告)号：KR1019960012295A

公开(公告)日：1996-04-20

申请号：KR1019950029784

申请日：1995-09-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 미조사키겐고

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67778

Abstract: 본발명은, 피처리체에대하여도포, 현상처리를행하기위한처리장치에관한것으로, 여러개의판형상의피처리체를상하방향으로간격을가지고거의수평으로수납하고, 피처리체의받아넘기는입구를이루는앞면과, 측면부는빛의투과부를가지는측면을가지는적어도 1개의캐리어를얹어놓기위한캐리어얹어놓는부와, 상기캐리어내의피처리체를순차적으로꺼내어서처리유니트에받아넘기기위해서, 적어도진퇴가자유롭고상기캐리어얹어놓는부에대하여상대적으로승강이자유롭게구성된피처리체유지부재를구비한반송기구와, 이반송기구에, 상기피처리체의일부를수평방향으로사이에끼워서대향하도록설치되고, 상기캐리어얹어놓는부 위의캐리어내의각 단에서의피처리체의유무를검출하기위한한 쌍의광학적검출수단으로이루어진것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种处理装置，用于处理目标进行涂敷，显影处理，以具有在若干物体片的距离板状在垂直方向上，并且基本上容纳在水平，前成型工件的接收入口通 和侧部出来的对象到副淋上载体内处理用于与具有已经通过光单元，其中发送的一侧上的至少一个载波放置突破：载波顺序招架到处理单元，至少来回顶层独特的自由和载体 且具有相对于所述子铺设，伊万变速机构相对保持翼梁自由地配置的处理目标构件的输送机构，被设置成由所述对象的一部分之间夹着相对在水平方向和在副顶部将载体放置待处理淋上载体 以及一对光学检测装置，用于检测在光学系统的每个端部处有待处理的物体的存在或不存在。

公开(公告)号：KR100186043B1

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019930009372

申请日：1993-05-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다노우에고오이치 ,  기타무라신지 ,  아라이노리유키 ,  사토다카미 ,  도모에다다카유키 ,  이와사키다쓰야 ,  미조사키겐고

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판세정장치는, LCD용 유리기판의 양면을 브러시 세정하기 위한 상하 브러시 부재를 가지는 브러시 세정기구와, 상하 브러시 부재의 각각을 회전시키는 회전기구와, 상하 브러시 부재의 각각에 순수한 물을 공급하는 세정액 공급기구와, 기판을 상하 브러시 부재 상호간에 반송하며, 상하 브러시 부재의 상호간 위치로서 기판을 반송방향으로 왕복 운동시키는 반송기구와, 상기 반송수단의 동작을 제어하는 콘트롤러를 가진다.

公开(公告)号：KR100332713B1

公开(公告)日：2002-12-18

申请号：KR1019970003738

申请日：1997-02-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미조사키겐고 ,  요시다마사아키

IPC: G02F1/13

Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
처리장치 및 처리방법
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
오존을 유효하게 이용하여 피처리체에 부착한 유기오염물을 제거하는 처리장치 및 처리방법을 제공함
3. 발명의 해결방법의 요지
피처리체를 유치하는 피처리체 유지수단과, 피처리체 및 피처리체 유지수단을 수용하는 처리실과, 피처리체에 대하여 자외선을 조사하는 자외선 조사수단과, 자외선 조사수단을 수용하는 자외선 조사수단실과, 처리실과 자외선 조사수단실을 연이어 통하는 개구를 개폐하는 개폐수단과, 자외선 조사수단의 자외선 조사에 의하여 생성되고, 처리실 내에 존재하는 오존을 배기하는 제 1 의 배기수단과, 자외선 조사 수단실에 발생하는 오존을 배기하는 제 2 의 배기수단을 가진 처리장치 및 이것을 사용하는 처리방법.
4. 발명의 중요한 용도
LCD기판 등의 피처리체를 도포처리하기 전공정에 사용됨.

公开(公告)号：KR100280080B1

公开(公告)日：2001-03-02

申请号：KR1019950029784

申请日：1995-09-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 미조사키겐고

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은, 피처리체에 대하여 도포, 현상처리를 행하기 위한 처리장치에 관한 것으로, 여러개의 판형상의 피처리체를 상하방향으로 간격을 가지고 거의 수평으로 수납하고, 피처리체의 받아넘기는 입구를 이루는 앞면과, 측면부는 빛의 투과부를 가지는 측면을 가지는 적어도 1개의 캐리어를 얹어놓기 위한 캐리어 얹어놓는 부와, 상기 캐리어 내의 피처리체를 순차적으로 꺼내어서 처리 유니트에 받아넘기기 위해서, 적어도 진퇴가 자유롭고 상기 캐리어 얹어놓는 부에 대하여 상대적으로 승강이 자유롭게 구성된 피처리체 유지부재를 구비한 반송기구와, 이 반송기구에, 상기 피처리체의 일부를 수평방향으로 사이에 끼워서 대향하도록 설치되고, 상기 캐리어 얹어놓는 부 위의 캐리어 내의 각 단에서의 피처리체의 유무를 검출하기 위한 한 쌍의 광� �적 검출수단으로 이루어진 것이다.

公开(公告)号：KR1019970062748A

公开(公告)日：1997-09-12

申请号：KR1019970003738

申请日：1997-02-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미조사키겐고 ,  요시다마사아키

IPC: G02F1/13

Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
처리장치 및 처리방법.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
오존을 유효하게 이용하여 피처리체에 부착한 유기오염물을 제거하는 처리장치 및 처리방법을 제공함.
3. 발명의 해결방법의 요지
피처리체를 유지하는 피처리체 유지수단과, 피처리체 및 피처리체 유지수단을 수용하는 처리실과, 피처리체에 대하여 자외선을 조사하는 자외선 조사수단과, 자외선 조사수단을 수용하는 자외선 조사수단실과, 처리실과 자외선 조사수단실을 연이어 통하는 개구를 개폐하는 개폐수단과, 자외선 조사수단의 자외선 조사에 의하여 생성되고, 처리실 내에 존재하는 오존을 배기하는 제1의 배기수단과, 자외선 조사 수단실에 발생하는 오존을 배기하는 제2의 배기수단을 가진 처리장치 및 이것을 사용는 처리방법.
4. 발명의 중요한 용도
LCD기판 등의 피처리체를 도포처리하기 전공정에 사용됨.