公开(公告)号：KR1019940006202A

公开(公告)日：1994-03-23

申请号：KR1019930006453

申请日：1993-04-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 시라이시히로후미 ,  혼다요시유키

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명의 스핀 드라이어는 복수의 웨이퍼를 둘러쌓인 케이싱체와, 케이싱체 중에서 복수의 웨이퍼를 유지하여 모우터에 의하여 회전되는 로터와, 로터의 회전축에 대하여 웨이퍼면이 실질적으로 직교하도록 또한 면 대 면의 자세로 되도록 웨이퍼의 각각을 유지하는 상하클램프바를 가진다. 하클램프바는 회전축부재의 각각에 연결고정 되어있고, 기판세트시에 기판하부를 유지하는 것이며, 상크램프는 한편의 회전축부재에 대하여 기도가능하게 축고정된 그 기초부와, 전도상태인때에 다른쪽의 회전축 부재에 계합로크 되도록한 선단부를 가진다. 상크램프바를 미끄럼운퐁 시키는 미끄럼 운동기구와, 상 크램프바의 선단부를 다른쪽의 회전축 부재에 계합하는 로크기구와, 상클램프바의 선단부를 다른쪽의 회전축 부재로부터 해제하는 언로크기구를 가진다.

公开(公告)号：KR100248564B1

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019930005826

申请日：1993-04-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 시라이시히로후미 ,  혼다요시유키

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67034 ,  F26B5/08

Abstract: 본 발명인 스핀 드라이어는 여러 개의 웨이퍼를 둘러싸는 광체와, 광체 가운데 여러 개의 웨이퍼를 회전시키는 모터와, 회전수단인 회전축에 대하여 웨이퍼의 면이 실질적으로 직교하여 서로 마주보는 자세가 되도록 웨이퍼 각각을 유지하는 상하 클램프바와, 광체 내에 청정공기 기류를 발생시키는 가스 도입기구 및 가스 배기기구를 갖는다. 광체는 가스도입 기구 및 가스 배기기구가스에 의해 발생되는 가스기류의 흐름방향에 직교하는 광체의 단면적이 가스 기류의 하류측에 가도록 점점 작아지게 형성되어 있다.

公开(公告)号：KR100170421B1

公开(公告)日：1999-03-30

申请号：KR1019930006453

申请日：1993-04-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 시라이시히로후미 ,  혼다요시유키

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명의 스핀 드라이어는 복수의 웨이퍼를 둘러 쌓인 케이싱체와, 케이싱체 중에서 복수의 웨이퍼를 유지하여 모우터에 의하여 회전되는 로터와, 로터의 회전축에 대하여 웨이퍼면이 실질적으로 직교하도록 또한 면 대 면의 자세로 되도록 웨이퍼의 각각을 유지하는 상하클램프바를 가진다. 하클램프바는 회전축부재의 각각에 연결고정 되어 있고, 기판세트시에 기판하부를 유지하는 것이며, 상클램프는 한편의 회전축부재에 대하여 기도가능하게 축고정된 그 기초부와, 전도상태인 때에 다른 쪽의 회전축 부재에 계합로크 되도록 한 선단부를 가진다. 상클램프바를 미끄럼운동 시키는 미끄럼 운동기구와, 상 클램프바의 선단부를 다른쪽의 회전축부재에 계합하는 로크기구와, 상클램프바의 선단부를 다른쪽의 회전축 부재로부터 해제하는 언로크기구를 가진다.

公开(公告)号：KR100175072B1

公开(公告)日：1999-04-01

申请号：KR1019920007937

申请日：1992-05-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 무라카미신야 ,  가키카와유우지 ,  이즈미신이치이로 ,  아나이노리유키 ,  사토오다카미 ,  시라이시히로후미 ,  하라다코지 ,  도모에다다카유키 ,  다나카히로시

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정장치는, 피처리체를 반출 및 반입하기 위한 개구부를 가지고, 처리액에 의하여 피처리체를 세정하기 위한 세정처리실과, 상기 개구부를 개폐하기 위한 개폐기구와, 상기 개구기구를 세정하기 위한 세정노즐과를 갖추고 있다. 또, 세정처리액이 저유되고 피처리체를 세정처리액에 의하여 세정하는 세정처리 용기를 갖추고 있으며, 이 용기로부터 세정액이 배출되어서 피처리체의 적어도 일부가 노출하였을 때에, 피처리체에 세정액을 공급하는 노즐을 갖추고 있다.

公开(公告)号：KR1019920022412A

公开(公告)日：1992-12-19

申请号：KR1019920007937

申请日：1992-05-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 무라카미신야 ,  가키카와유우지 ,  이즈미신이치이로 ,  아나이노리유키 ,  사토오다카미 ,  시라이시히로후미 ,  하라다코지 ,  도모에다다카유키 ,  다나카히로시

IPC: H01L21/304

Abstract: 내용 없음.

公开(公告)号：KR1019930024108A

公开(公告)日：1993-12-21

申请号：KR1019920007845

申请日：1992-05-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 무라카미신야 ,  가키카와유우지 ,  이즈미신이치이로 ,  이나이노리유키 ,  사토오다카미 ,  시라이시히로후미 ,  하라다코지 ,  도모에다다카유키 ,  다나카히로시

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정장치는, 피처리체를 반출 및 반입하기 위한 개구부를 가지고, 처리액에 의하여 피처리체를 세정하기 위한 세정처리실과, 상기 개구부를 개폐하기 위한 개폐기구와, 상기 개구기구를 세정하기 위한 세정노즐과를 갖추고 있다. 또, 세정처리액이 저유되고 피처리체를 세정처리액에 의하여 세정하는 용기를 갖추고 있으며, 이 용기로부터 세정액이 배출되어서 피처리체의 적어도 일부가 노출하였을때에, 피처리체에 세정액을 공급하는 노즐을 갖추고 있다.