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公开(公告)号：KR101188506B1
公开(公告)日：2012-10-08
申请号：KR1020110018142
申请日：2011-02-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/3065
Abstract: 본 발명은 식각 방법에 관한 것이다. 상기 식각 방법은 2 이상의 박막의 적층구조를 포함하는 피식각물의 식각 방법에 있어서, 플라즈마 식각을 이용하는 건식 식각 단계; 중성빔 식각을 이용하는 중성빔 식각 단계; 및 중성빔 원자층 식각을 이용하는 중성빔 원자층 식각 단계 중에서 선택되는 2 이상의 식각 단계의 조합에 의해 수행할 수 있다. 본 발명에 따르면, 피식각물에 전기적 및 물리적 손상을 최소화할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100948951B1
公开(公告)日：2010-03-23
申请号：KR1020070071274
申请日：2007-07-16
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 확장형 파워전극을 구비한 대기압 플라즈마 발생장치에 관한 것으로, 가스 유입구를 구비한 챔버와; 챔버의 중앙에 설치되는 중앙 그라운드 전극과; 챔버 내에 중앙 그라운드 전극의 양측으로 이격되어 상기 중앙 그라운드 전극과 대향하도록 설치되며, 하부 그라운드 전극에 대향하여 챔버의 중심방향에서 측면방향으로 연장된 형상의 하부면을 구비하는 제1 및 제2 측면 파워전극과; 상기 중앙 그라운드 전극과 제1 및 제2 측면 파워전극의 하측에, 발생된 플라즈마를 챔버의 외부로 분사하는 플라즈마 분사구가 형성된 하부 그라운드 전극을 구비하여, 챔버 내에 가스공급과 함께 전원이 인가됨에 따라, 상기 제1, 2 측면 파워전극과 중앙 그라운드 전극 및 하부 그라운드 전극 사이의 공간에 발생된 플라즈마가 하부 그라운드 전극의 플라즈마 분사구를 통해 외부로 분사되도록 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같은 구성을 구비함으로써, 소량의 식각가스를 이용하여 대기압 상태에서 대면적 플라즈마를 높은 밀도로 균일하게 발생시킬 수 있으며, 플라즈마 분사길이가 향상된 대기압 플라즈마 발생장치를 제공할 수 있게 된다.
대기압 플라즈마, 고밀도 플라즈마, 리사이클 시스템, 하부 그라운드 전극, 플라즈마 분사구-
公开(公告)号：KR1020090008001A
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：KR1020070071274
申请日：2007-07-16
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/32009 , H01J37/3244 , H01J37/32458 , H01J37/32541 , H01J37/32559 , H01J37/32568 , H01J37/32577 , H01J37/32834
Abstract: An atmospheric pressure plasma system with an extended power electrode is provided to prevent a surface damage of an object due to minute streamer and arcing under an atmosphere pressure and generate plasma with a large area and high density by using an amount of etching gas. A chamber(40) includes an gas inlet(401) for the inflow of a reactive gas or an atmosphere gas by being connected to an external gas supply unit. A central ground electrode(100) is installed in the center of the chamber(400) as both sides electrode. A first side surface power electrode(201) and a second side power electrode(202) are installed in both sides of the central ground electrode with the predetermined interval to face each other. A plasma spray(301) is connected to a ground terminal of the chamber and is installed in a direction perpendicular to the first side power electrode, the second side power electrode, and the central ground electrode in the bottom of the chamber. The plasma spray sprays the plasma to the outside of the chamber. The lower ground electrode(300) is installed at the bottom side of the chamber.
Abstract translation: 提供具有扩展电源电极的大气压等离子体系统，以防止在大气压下由于微小拖缆和电弧引起的物体的表面损伤，并且通过使用一定量的蚀刻气体产生具有大面积和高密度的等离子体。 室（40）包括用于通过连接到外部气体供应单元来流入反应气体或气氛气体的气体入口（401）。 中心接地电极（100）作为两侧电极安装在腔室（400）的中心。 第一侧面电力电极（201）和第二侧面电力电极（202）以预定间隔安装在中心接地电极的两侧以彼此面对。 等离子体喷雾（301）连接到腔室的接地端子，并且安装在与腔室底部的第一侧面电源电极，第二侧面电源电极和中心接地电极垂直的方向上。 等离子体喷雾将等离子体喷射到室的外部。 下接地电极（300）安装在室的底侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020120122698A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020110041022
申请日：2011-04-29
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H05H1/34 , H05H1/46 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32568 , H01J37/32073 , H01J37/32348 , H01J37/32541 , H05H1/2406 , H05H1/46 , H05H2001/2418
Abstract: PURPOSE: An atmospheric pressure plasma generator with a double discharge system is provided to apply a bias by connecting power sources having different frequencies to an upper electrode and a lower electrode. CONSTITUTION: A second electrode part(200) is arranged to be adjacent to a first electrode part(100). A third electrode part(300) is arranged to be adjacent to the second electrode part. The third electrode part faces the first electrode part around the second electrode part. A fourth electrode part(400) is arranged to be separated from the lower part of the first to third electrode parts. The first electrode part and the third electrode part are connected to a first power source(500). The second electrode part is connected to a ground(800). The fourth electrode part is connected to a second power source(600).
Abstract translation: 目的：提供具有双重放电系统的大气压等离子体发生器，通过将具有不同频率的电源连接到上电极和下电极来施加偏压。 构成：第二电极部件（200）布置成与第一电极部件（100）相邻。 第三电极部件（300）布置成与第二电极部件相邻。 第三电极部分面对围绕第二电极部分的第一电极部分。 第四电极部件（400）布置成与第一至第三电极部件的下部分离。 第一电极部分和第三电极部分连接到第一电源（500）。 第二电极部分连接到地面（800）。 第四电极部分连接到第二电源（600）。
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公开(公告)号：KR101151277B1
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：KR1020090117590
申请日：2009-12-01
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/3065 , C23C16/04
Abstract: 대기압 플라즈마를 이용한 기판의 이중 패터닝 방법이 개시(disclose)된다. 보다 구체적으로 본 개시는 기판을 제1 전극 및 제2 전극을 구비하는 대기압 플라즈마 장치에 제공하는 과정, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에서 대기압 플라즈마를 방전하여 상기 기판이 소수성 패턴을 가지도록 대기압 플라즈마 표면처리를 하는 과정, 상기 기판을 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에서 소정거리만큼 이송하여 위치하게 하는 과정 및 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에서 대기압 플라즈마를 방전하여 상기 기판이 친수성 패턴을 가지도록 대기압 플라즈마 친수성 표면처리를 하는 과정을 포함하여 상기 기판이 소수성 패턴과 친수성 패턴을 동시에 가지도록 하는 대기압 플라즈마를 이용한 기판의 이중 패터닝 방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020110098694A
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：KR1020110018142
申请日：2011-02-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/31116 , H01L21/31122
Abstract: 본 발명은 식각 방법에 관한 것이다. 상기 식각 방법은 2 이상의 박막의 적층구조를 포함하는 피식각물의 식각 방법에 있어서, 플라즈마 식각을 이용하는 건식 식각 단계; 중성빔 식각을 이용하는 중성빔 식각 단계; 및 중성빔 원자층 식각을 이용하는 중성빔 원자층 식각 단계 중에서 선택되는 2 이상의 식각 단계의 조합에 의해 수행할 수 있다. 본 발명에 따르면, 피식각물에 전기적 및 물리적 손상을 최소화할 수 있다.
Abstract translation: 蚀刻方法技术领域本发明涉及蚀刻方法。 所述蚀刻方法可以包括：使用等离子体蚀刻的干法蚀刻步骤，所述蚀刻方法包括：使用等离子体蚀刻的干法蚀刻步骤; 使用中性束蚀刻的中性束蚀刻步骤; 以及使用中性束原子层蚀刻的中性束原子层蚀刻步骤。 根据本发明，可以使坩埚的电和物理损坏最小化。
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公开(公告)号：KR1020110061062A
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：KR1020090117590
申请日：2009-12-01
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/3065 , C23C16/04
CPC classification number: H01L21/306
Abstract: PURPOSE: A dual patterning method of a substrate using atmospheric pressure plasma is provided to simultaneously form a hydrophobic pattern and a hydrophilic pattern on the substrate below several micro meters by selectively discharging atmospheric plasma. CONSTITUTION: A substrate is provided to an atmospheric pressure plasma device including a first electrode and a second electrode(S100). A hydrophobic pattern is formed on the substrate by discharging the atmospheric pressure plasma between the first electrode and the second electrode(S110). The substrate is transferred between the first electrode and the second electrode(S120). A hydrophilic pattern is formed on the substrate by discharging atmospheric pressure plasma between the first electrode and the second electrode(S130).
Abstract translation: 目的：提供使用大气压等离子体的基板的双重图案化方法，通过选择性地排放大气等离子体，同时在几微米以下的基板上形成疏水图案和亲水图案。 构成：向包括第一电极和第二电极的大气压等离子体装置提供衬底（S100）。 通过在第一电极和第二电极之间排出大气压等离子体，在衬底上形成疏水性图案（S110）。 衬底在第一电极和第二电极之间转移（S120）。 通过在第一电极和第二电极之间排放大气压等离子体，在衬底上形成亲水图案（S130）。
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公开(公告)号：KR100860039B1
公开(公告)日：2008-09-25
申请号：KR1020070070128
申请日：2007-07-12
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32825 , H01J37/32568 , H01J37/32844
Abstract: An atmospheric pressure plasma system is provided to generate large area plasma with high density without arching or streamer by causing plasma discharge between a lower side of a power electrode and a lower ground electrode. A chamber(400) is connected to a gas supply unit and includes a gas inlet for receiving reaction gas or atmospheric gas. A power electrode(100) is connected to a power supply unit and is composed of a both-sided electrode. The power electrode is installed in a center of the chamber. A first and second lateral ground electrodes(201,202) are connected to a ground terminal of the chamber. The first and second lateral ground electrodes are installed opposite to the power electrode. A lower ground electrode(300) is connected to a ground terminal of the chamber and is installed at a lower side of the outside of the chamber. A plasma discharge process is performed in a space between the first and second lateral ground electrodes and the lower ground electrode by supplying gas into the chamber and applying the power from the power supply unit to the power electrode.
Abstract translation: 提供大气压等离子体系统，通过在电源电极的下侧和下接地电极之间引起等离子体放电，产生高密度的大面积等离子体，无拱形或流光。 室（400）连接到气体供应单元，并且包括用于接收反应气体或大气气体的气体入口。 电源电极（100）连接到电源单元并由双面电极组成。 电源电极安装在腔室的中心。 第一和第二横向接地电极（201,202）连接到腔室的接地端子。 第一和第二横向接地电极安装在与电源电极相对的位置。 下接地电极（300）连接到室的接地端子并且安装在室的外侧的下侧。 在第一和第二横向接地电极和下部接地电极之间的空间中通过向室内供应气体并将电力从电源单元施加到电力电极来进行等离子体放电过程。
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