公开(公告)号：WO2012176948A1

公开(公告)日：2012-12-27

申请号：PCT/KR2011/004639

申请日：2011-06-24

Applicant: 한국표준과학연구원 ,  박병천 ,  이주엽 ,  송운 ,  최진호 ,  안상정 ,  유준 ,  송원영 ,  홍재완 ,  백승헌

Inventor： 박병천 ,  이주엽 ,  송운 ,  최진호 ,  안상정 ,  유준 ,  송원영 ,  홍재완 ,  백승헌

IPC: G01Q60/24 ,  H01J37/26

CPC classification number: G01Q30/02 ,  B82Y35/00 ,  H01J37/28

Abstract: 본 발명은 계측의 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있는 융합계측장치를 개시한다. 그의 장치는 기판 표면을 원자레벨 수준으로 계측하는 원자현미경과, 상기 원자현미경 및 상기 기판을 계측하는 전자현미경과, 상기 전자현미경으로 상기 원자현미경 및 상기 기판을 모니터링 할 때, 원자현미경의 캔틸레버에 가려지는 기판 상의 이차전자의 경로를 왜곡하여 전자현미경의 전자 검출기로 진행시키는 적어도 하나의 전극을 포함한다.

Abstract translation: 提供了一种增加或最大化测量可靠性的融合测量装置。 该融合测量装置包括：用于以原子级测量衬底表面的原子显微镜; 用于测量原子显微镜和基底的电子显微镜; 以及至少一个电极，其使由原子显微镜的悬臂覆盖的基板上的二次电子的路径变形，使得二次电子进入电子显微镜的电子检测器。

公开(公告)号：KR1020110100052A

公开(公告)日：2011-09-09

申请号：KR1020100019129

申请日：2010-03-03

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박병천 ,  이주엽 ,  송운 ,  최진호 ,  안상정 ,  유준 ,  송원영 ,  홍재완 ,  백승헌

IPC: G01Q60/02 ,  G01Q80/00 ,  H01J37/26 ,  G01B21/30

CPC classification number: G01Q60/08 ,  G01B21/30 ,  G01Q80/00 ,  G01R1/06727 ,  H01J37/285

Abstract: 본 발명은 계측의 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있는 융합계측장치를 개시한다. 그의 장치는 기판 표면을 원자레벨 수준으로 계측하는 원자현미경과, 상기 원자현미경 및 상기 기판을 계측하는 전자현미경과, 상기 전자현미경으로 상기 원자현미경 및 상기 기판을 모니터링 할 때, 원자현미경의 캔틸레버에 가려지는 기판 상의 이차전자의 경로를 왜곡하여 전자현미경의 전자 검출기로 진행시키는 적어도 하나의 전극을 포함한다.

公开(公告)号：KR101158284B1

公开(公告)日：2012-06-19

申请号：KR1020100019129

申请日：2010-03-03

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박병천 ,  이주엽 ,  송운 ,  최진호 ,  안상정 ,  유준 ,  송원영 ,  홍재완 ,  백승헌

IPC: G01Q60/02 ,  G01Q80/00 ,  H01J37/26 ,  G01B21/30

Abstract: 본 발명은 계측의 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있는 융합계측장치를 개시한다. 그의 장치는 기판 표면을 원자레벨 수준으로 계측하는 원자현미경과, 상기 원자현미경 및 상기 기판을 계측하는 전자현미경과, 상기 전자현미경으로 상기 원자현미경 및 상기 기판을 모니터링 할 때, 원자현미경의 캔틸레버에 가려지는 기판 상의 이차전자의 경로를 왜곡하여 전자현미경의 전자 검출기로 진행시키는 적어도 하나의 전극을 포함한다.