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公开(公告)号：KR100820102B1
公开(公告)日：2008-04-10
申请号：KR1020050057421
申请日：2005-06-30
Applicant: 한국화학연구원 , 단국대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 반도체 나노소자에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 p 형 반도체 나노구조인 경우 일함수가 낮은 Al 등의 금속 나노입자나 유기물을 코팅하고, n 형 반도체 나노구조인 경우 일함수가 높은 Pd 금속 나노입자를 코팅하여 나노구조체의 감도를 향상시킬 수 있도록 한 반도체 나노소자에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 탄소 나노튜브, 반도체 나노와이어 및 각종 나노구조체를 이용한 트랜지스터 또는 소자에 있어서,
상기 트랜지스터들 또는 소자들 중 어느 하나의 채널에 일함수가 다른 금속 나노입자 또는 촉매역할을 하는 금속 나노입자가 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 나노소자를 제공한다.
탄소 나노튜브, 반도체 나노와이어, 나노구조체, 채널, 금속 나노입자, 일함수-
2.发明授权탄소나노튜브 트랜지스터 어레이에 미생물 유도형 마이크로플루이딕 채널이 접합된 미생물 검출센서, 그의 제조방법 및 이를 이용한 미생물 검출방법 有权使用与嵌入式MYCROFLICIC通道结合的碳纳米管阵列的微生物检测传感器及其检测微生物的方法
公开(公告)号：KR101093225B1
公开(公告)日：2011-12-13
申请号：KR1020090025166
申请日：2009-03-25
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본 발명은 탄소나노튜브 트랜지스터 어레이에 미생물 유도형 마이크로플루이딕 채널이 접합된 미생물 검출센서, 그의 제조방법 및 이를 이용한 미생물 검출방법에 관한 것이다.
본 발명의 미생물 검출센서는 미생물을 특이적으로 결합할 수 있는 인식물질이 고정화된 탄소나노튜브 트랜지스터 어레이에, 미생물 유도형 마이크로플루이딕 채널을 접합한 구조이며, 상기 채널 내부에 패턴화된 마이크로구조체에 의해 타겟 미생물이 탄소나노튜브 표면으로 배열되도록 유도하여, 검출 시간을 단축하고, 감도를 향상시킬 수 있다. 특히, 본 발명의 미생물 검출센서는 용액 속의 타겟 미생물의 수가 적을 경우, 미생물이 단순 확산에 의해 센서 표면에 도달하는데 걸리는 시간을 획기적으로 단축할 수 있다. 나아가, 본 발명의 검출방법을 통하여, 시료내의 대장균을 20분 이내에 간단하게 측정할 수 있으며, 측정과정에서 복잡한 실험장비, 시설 또는 배양에 필요한 조건 등이 전혀 필요하지 않으므로 수질, 식품, 환경 등의 응용분야에서 간단하게 미생물 검출수단으로 응용될 수 있다.
미생물, 탄소나노튜브, 나노 트랜지스터, 마이크로플루이딕 채널-
公开(公告)号：KR100748408B1
公开(公告)日：2007-08-10
申请号：KR1020050056195
申请日：2005-06-28
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: G01N33/5308 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , G01N27/4145 , G01N27/4146 , G01N33/551
Abstract: 본 발명은 압타머를 이용한 탄소 나노튜브 트랜지스터 바이오센서 및 이것을 이용한 타겟물질(단백질) 검출 방법을 제공하고자 한 것이다.
특히, 본 발명은 탄소나노튜브 트랜지스터의 채널영역을 구성하고 있는 탄소나노튜브 표면에 프로브 물질로서, 단백질에 높은 친화력을 가지는 DNA 핵산가닥인 압타머(Aptamer)를 흡착 고정시킴으로써, 이 압타머에 특정 타겟물질이 노출되었을 때 나타나는 탄소나노튜브의 전기적인 변화로 압타머와 특이적으로 결합하는 타겟(target)물질 즉, 특정분자(단백질, 펩티드, 아미노산, 유/무기화합물 등)의 검출이 가능한 압타머 및 탄소나노튜브 트랜지스터를 이용한 바이오센서 및 이것을 이용한 타겟물질 검출 방법을 제공하고자 한 것이다.
탄소나노튜브 트랜지스터, 압타머, 바이오센서, 단백질, 피렌, 전기전도도 변화-
公开(公告)号：KR1020070002111A
公开(公告)日：2007-01-05
申请号：KR1020050057421
申请日：2005-06-30
Applicant: 한국화학연구원 , 단국대학교 산학협력단
CPC classification number: H01L29/0665 , B82B3/00 , B82Y10/00 , H01L21/02601 , H01L21/02606 , H01L29/0669 , H01L51/0048
Abstract: A semiconductor nano device is provided to improve sensitivity of a gas sensor and to reduce sensor size by coating metal nano particles on a surface of a carbon nanotube transistor. An alignment marker is formed on a SiO2/Si substrate(10). A pattern of liquid catalyst is manufactured using a PMMA(polymethylmethacrylate) layer on the SiO2/Si substrate that is insulated by a SiO2 layer. The PMMA layer is removed by an acetone solution. A single walled carbon nanotube(14) is grown at CH4 and H2 atmosphere during 10 minutes in a furnace of 900 ‹C. An electrode(12) is formed by performing photolithography and thermal evaporation on the carbon nanotube, thereby configuring a carbon nanotube transistor. A metal nano particle(16) is coated on a surface of the carbon nanotube transistor.
Abstract translation: 提供半导体纳米器件以提高气体传感器的灵敏度，并通过在碳纳米管晶体管的表面上涂覆金属纳米颗粒来减小传感器尺寸。 在SiO 2 / Si衬底（10）上形成取向标记。 使用由SiO 2层绝缘的SiO 2 / Si衬底上的PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）层制造液体催化剂的图案。 通过丙酮溶液除去PMMA层。 在900℃的炉中，在CH 4和H 2气氛下10分钟内生长单壁碳纳米管（14）。 通过在碳纳米管上进行光刻和热蒸发形成电极（12），从而构成碳纳米管晶体管。 金属纳米颗粒（16）涂覆在碳纳米管晶体管的表面上。
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公开(公告)号：KR1020050019969A
公开(公告)日：2005-03-04
申请号：KR1020030057136
申请日：2003-08-19
Abstract: PURPOSE: An array-type molecular electronic device and a method for fabricating the same are provided to achieve the structural stability by inserting a molecular layer into each nano-via hole. CONSTITUTION: An array-type molecular electronic device comprises a substrate, a plurality of lower electrodes, a molecular layer, a dielectric film and a plurality of upper electrodes. A plurality of lower electrodes(23) are formed on the substrate(21). A plurality of via holes are formed on the dielectric film(22) for exposing the lower electrode. The molecular layer is inserted into the respective via holes. The plurality of upper electrodes(27) are formed on the dielectric film including the molecular layer.
Abstract translation: 目的：提供阵列型分子电子器件及其制造方法，以通过将分子层插入每个纳米通孔中来实现结构稳定性。 构成：阵列型分子电子器件包括衬底，多个下电极，分子层，电介质膜和多个上电极。 在基板（21）上形成有多个下电极（23）。 在电介质膜（22）上形成多个通孔，用于暴露下电极。 将分子层插入相应的通孔中。 多个上电极（27）形成在包含分子层的电介质膜上。
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Patent Agency Ranking6.发明公开탄소나노튜브 트랜지스터 어레이에 미생물 유도형 마이크로플루이딕 채널이 접합된 미생물 검출센서, 그의 제조방법 및 이를 이용한 미생물 검출방법 有权使用与嵌入式MYCROFLICIC通道结合的碳纳米管阵列的微生物检测传感器及其检测微生物的方法
公开(公告)号：KR1020100107087A
公开(公告)日：2010-10-05
申请号：KR1020090025166
申请日：2009-03-25
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: PURPOSE: A microorganism detection sensor is provided to induce arrangement of target microorganism to the surface of carbon nanotube and to improve sensitivity. CONSTITUTION: A microorganism detection sensor comprises: a gate formed on a silicon substrate(1); a metal source electrode(3) at one side of the gate; a metal drain electrode(3') at the opposite side of the gate; a carbon nanotube transistor array(10); a recognizing material which specifically binds to microorganism on the surface of the carbon nanotube; and microfluidic channel(5). A method for manufacturing microorganism detection sensor comprises: a step of forming a carbon nanotube transistor array comprising the metal source electrode, metal drain electrode, and gate; a step of fixing the fixing material on the surface of the carbon nanotube; a step of attaching the recognizing material which specifically binds to the microorganism; and a step of conjugating the microfluidic channel to the carbon nanotube transistor array.
Abstract translation: 目的：提供微生物检测传感器，以诱导目标微生物排列到碳纳米管表面，提高敏感性。 构成：微生物检测传感器包括：形成在硅衬底（1）上的栅极; 栅极一侧的金属源电极（3）; 在栅极的相对侧的金属漏电极（3'）; 碳纳米管晶体管阵列（10）; 与碳纳米管表面上的微生物特异性结合的识别材料; 和微流体通道（5）。 微生物检测传感器的制造方法包括：形成由金属源电极，金属漏电极和栅极构成的碳纳米管晶体管阵列的工序; 将固定材料固定在碳纳米管的表面上的步骤; 附着特异性结合微生物的识别材料的步骤; 以及将微流体通道与碳纳米管晶体管阵列共轭的步骤。
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公开(公告)号：KR100930997B1
公开(公告)日：2009-12-10
申请号：KR1020080006535
申请日：2008-01-22
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: H01L51/0048 , B82Y10/00 , H01L51/0545
Abstract: 본 발명의 탄소나노튜브 트랜지스터 제조 방법은 소스 전극과 드레인 전극 사이에 탄소나노튜브 채널이 형성되어 있으며, 상기 탄소나노튜브 채널 일측에 게이트 전극이 형성되어 있는 탄소나노튜브 트랜지스터를 제조하는 방법으로서, a) 기판상에 상기 탄소나노튜브 채널을 형성하는 단계; b) 상기 탄소나노튜브 채널의 양단에 상기 소스 전극 및 드레인 전극을 전기적으로 각각 연결하는 단계; 및 c) 상기 소스 전극 및 드레인 전극 사이에 스트레스 전압을 인가하여, 상기 탄소나노튜브 채널 내 금속성을 제거하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 탄소나노튜브 트랜지스터 제조 방법에 의하면, 트랜지스터 소자 내에서 채널로 이용되며, 금속성과 반도체성이 혼재되어 있는 탄소나노튜브에서 금속성 부분을 선택적으로 제거할 수 있다.
탄소나노튜브Abstract translation: 本发明涉及一种制造碳纳米管晶体管的方法，其中在源电极和漏电极之间形成碳纳米管沟道并且在碳纳米管沟道的一侧形成栅电极，所述方法包括以下步骤： ：（a）在基板上形成碳纳米管沟道; （b）将源电极和漏电极分别电连接到碳纳米管沟道的两端; 和（c）在所述源电极和所述漏电极之间施加应力电压以去除所述碳纳米管沟道的金属性。 根据本发明的制造碳纳米管晶体管的方法，可以从用作晶体管的沟道的碳纳米管中选择性地去除金属部分，并且具有彼此混合的金属特性和半导体特性。
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公开(公告)号：KR100869152B1
公开(公告)日：2008-11-19
申请号：KR1020070041154
申请日：2007-04-27
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본 발명의 탄소 나노튜브 반도체 소자 제조 방법은 기판상에 탄소 나노튜브가 형성될 위치에 탄소 나노튜브 성장을 촉진시키는 촉매를 도입하는 단계; 상기 촉매 처리된 상기 기판의 상기 위치에 상기 탄소 나노튜브를 형성하는 단계; 및 상기 탄소 나노튜브에 표면 개질제를 처리하여 상기 탄소 나노튜브에서 금속성을 제거하는 단계;를 포함 한다.
본 발명의 탄소 나노튜브 반도체 소자의 제조 방법을 이용하면, 성장되어 형성된 탄소 나노튜브에서 금속성을 제거하여 반도체성만을 가지게 함으로써 탄소 나노튜브를 반도체 소자의 채널로 적합하게 이용할 수 있다.
탄소 나노 튜브-
公开(公告)号：KR100858325B1
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：KR1020070023706
申请日：2007-03-09
Abstract: 본 발명은 금속 소스전극, 금속 드레인전극, 게이트 및 탄소나노튜브로 이루어진 채널영역을 포함하는 탄소나노튜브 트랜지스터 어레이, 상기 탄소나노튜브 트랜지스터 어레이의 채널영역을 구성하고 있는 탄소나노튜브의 표면에 흡착 개질되어 미생물과 특이적으로 결합하는 압타머(aptamer), 및 상기 압타머를 상기 탄소나노튜브에 고정시키는 고정물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 트랜지스터 어레이를 이용한 미생물 검출센서에 관한 것이다.
이를 통해 시료의 대장균 유무 및 농도를 20분내에 간단하게 추정할 수 있다. 이 과정은 복잡한 실험장비나 시설 또는 배양에 필요한 조건등이 전혀 필요하지 않으므로 수질, 식품, 환경등의 응용에서 간단하게 미생물을 찾아내는 수단으로 이용될 수 있다.
미생물, 탄소 나노튜브, 나노 트랜지스터-
10.发明公开
公开(公告)号：KR1020070000667A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：KR1020050056195
申请日：2005-06-28
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: G01N33/5308 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , G01N27/4145 , G01N27/4146 , G01N33/551 , G01N33/54373
Abstract: Carbon nanotube transistor biosensors using aptamers as molecular recognition elements and a method for sensing a target material in blood by using the same biosensors are provided to inexpensively detect the target protein by measuring electrical change of the carbon nanotube when the aptamers on the carbon nanotube is exposed to the target protein, and enhance detection sensitivity and selectivity by using carbon nanotube and DNA aptamers. The carbon nanotube transistor biosensor comprises (i) a carbon nanotube transistor containing source, drain and gate, where the channel region is composed of carbon nanotube, (ii) DNA aptamers bound to the surface of the carbon nanotube, and (iii) a fixing material for fixing the aptamers to the carbon nanotube, wherein the channel is composed of single wall or multiple wall nanotubes, and metal oxide nanowire and semiconductor nanowire showing transistor properties; the nanowire has diameter of 50 nm or less and uses the aptamers as recognition materials; the single wall nanotube has diameter of 2 nm and the multiple wall nanotube has diameter of 50 nm or less; and the aptamer-fixing material is pyrene or other molecules having affinity to the carbon nanotube. The method for sensing a target material in blood comprises the steps of: manufacturing the carbon nanotube transistor containing the carbon nanotube with aptamers; measuring the electrical conductivity change of the carbon nanotube when the aptamers are exposed to the target material; and detecting the target material based on the data on the electrical conductivity change, wherein the target material is protein, peptide, amino acid, nucleotide, drug, vitamin or organic/inorganic compound.
Abstract translation: 提供了使用适配体作为分子识别元件的碳纳米管晶体管生物传感器和通过使用相同的生物传感器来感测血液中的靶物质的方法，通过在碳纳米管上的适体暴露时测量碳纳米管的电变化来廉价地检测靶蛋白 并通过使用碳纳米管和DNA适配体增强检测灵敏度和选择性。 碳纳米管晶体管生物传感器包括（i）含有源极，漏极和栅极的碳纳米管晶体管，其中沟道区域由碳纳米管组成，（ii）与碳纳米管表面结合的DNA适体，和（iii）固定 用于将适体固定到碳纳米管的材料，其中所述通道由单壁或多壁纳米管构成，并且金属氧化物纳米线和显示晶体管性质的半导体纳米线; 纳米线的直径为50nm以下，使用适配体作为识别材料; 单壁纳米管的直径为2nm，多壁纳米管的直径为50nm以下， 适体固定材料是对碳纳米管具有亲和性的芘或其他分子。 用于感测血液中的目标材料的方法包括以下步骤：用适体制造含有碳纳米管的碳纳米管晶体管; 当适配体暴露于目标材料时测量碳纳米管的电导率变化; 并且基于电导率变化的数据检测目标材料，其中目标材料是蛋白质，肽，氨基酸，核苷酸，药物，维生素或有机/无机化合物。
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