MEMS-Kontaktanordnung und Mikro-Relais

    公开(公告)号:EP1394825A1

    公开(公告)日:2004-03-03

    申请号:EP02405741.6

    申请日:2002-08-30

    Abstract: Die mikro-elektromechanische (MEMS-) Kontaktanordnung beinhaltet mindestens ein erstes Kontaktstück (1) und ein zweites Kontaktstück (2), wobei mindestens eines der beiden Kontaktstücke (1;2) antreibbar ist. Die MEMS-Kontaktanordnung ist mittels des antreibbaren Kontaktstücks (1;2) zwischen einem ersten Schaltzustand (A) und mindestens einem zweiten Schaltzustand (B) schaltbar, wobei die beiden Kontaktstücke (1,2) in dem ersten Schaltzustand (A) voneinander getrennt sind und in dem zweiten Schaltzustand (B) einander kontaktierend sind. Es ist dadurch gekennzeichnet, dass mindestens das erste Kontaktstück (1) mindestens ein flexibles Kontaktsegment (11) und einen Kontaktsegment-Träger (12) aufweist, sowie dadurch, dass das mindestens eine flexible Kontaktsegment (11) mittels mindestens des zweiten Kontaktstücks (2) bei dem Schaltvorgang elastisch verformbar ist. Die elastische Verformbarkeit des flexiblen Kontaktsegments (11) ergibt sich aufgrund der Dünnwandigkeit des flexiblen Kontaktsegments (11). Es kann eine sichere und gute Kontaktierung erreicht werden. Grosse Kontaktflächen (5), eine vorgebbare Mehrzahl von Kontaktpunkten (5) und selbstreinigende Kontakte durch Reibung zwischen den Kontaktstücken (1,2) sind realisierbar.

    Abstract translation: 微机电(MEMS)触点和微型继电器(1)可用于开关电气和电子设备。 它具有保持在其边缘的柔性膜(12)。 驱动执行器(4)在触点(B)和非接触(A)位置之间移动。 膜可以在一侧承载可接触固定触点(2,3)的柔性接触区域(11)。

    Carbon nanotube contact for MEMS
    2.
    发明公开
    Carbon nanotube contact for MEMS 审中-公开
    Kohlstoff Nanorohr KontaktfürMEMS

    公开(公告)号:EP1320111A1

    公开(公告)日:2003-06-18

    申请号:EP01811208.6

    申请日:2001-12-11

    CPC classification number: H01H1/0094 B82Y10/00 H01H1/06

    Abstract: A low voltage switch consisting of two contact elements has a contact material forming the contact surface and comprising nanotubes. The latter are arranged perpendicular to the substrate and are made of carbon, i.e. multiwalled carbon nanotubes are used preferentially. Upon closing of the switch, the nanotube layers of the two contact elements penetrate each other like two brushes, thereby forming many contact lines as opposed to the conventional contact points.

    Abstract translation: 由两个接触元件构成的低压开关具有形成接触表面并包含纳米管的接触材料。 后者垂直于衬底设置并由碳制成,即优先使用多壁碳纳米管。 在闭合开关时,两个接触元件的纳米管层像两个电刷相互穿透,从而形成与常规接触点相反的许多接触线。

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