公开(公告)号：JP2001332553A

公开(公告)日：2001-11-30

申请号：JP2001098276

申请日：2001-03-30

Applicant: IBM

Inventor： JAMES W ADKINSON ,  BALLANTINE ARNE W ,  MATTHEW D GULAGER ,  PETER J GASE ,  GILBERT JEFFREY D ,  SHU-JEN JEN ,  DANA K JOHNSON ,  ROBB A JOHNSON ,  MILES GLEN L ,  PETERSON KIRK D ,  JAMES J TOOMEY ,  TINA WAGNER

IPC: C23C16/42 ,  H01L21/02 ,  H01L21/28 ,  H01L21/318 ,  H01L21/331 ,  H01L21/822 ,  H01L21/8238 ,  H01L27/04 ,  H01L27/092 ,  H01L29/73 ,  H01L29/737

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a nitride film that has characteristics being more superior than a conventional nitride film obtained by the conventional PECVD or LPCVD onto a semiconductor substrate. SOLUTION: In the manufacturing process of a semiconductor device, a method is indicated, where the method includes a step for exposing the surface of the substrate to a rapid thermochemical vapor deposition(RTCVD). The nitride film obtained by the method has an etching-resistant property and high conformality, and an excellent barrier layer can be provided without changing the structure and processes of a conventional semiconductor device.

公开(公告)号：DE102012221806A1

公开(公告)日：2013-06-06

申请号：DE102012221806

申请日：2012-11-28

Applicant: IBM

Inventor： BRACERAS GEORGE M ,  PETERSON KIRK D ,  PILO HAROLD

IPC: G11C11/413

Abstract: Offenbart wird ein Speicherarray, bei dem für Bitzeilen-Voraufladevorgänge dynamisch die niedrigere von zwei Versorgungsspannungen von zwei Stromversorgungen ausgewählt wird. Im Speicherarray vergleicht ein Spannungsvergleicher die erste Versorgungsspannung auf einer ersten Stromversorgungsschiene mit einer zweiten Versorgungsspannung auf einer zweiten Stromversorgungsschiene und gibt ein Spannungsdifferenzsignal aus. Wenn das Spannungsdifferenzsignal einen ersten Wert besitzt, der angibt, dass die erste Versorgungsspannung gleich oder kleiner als die zweite Versorgungsspannung ist, stellt eine Steuerschaltung sicher, dass die mit einer Speicherzelle verbundenen komplementären Bitzeilen auf die erste Versorgungsspannung voraufgeladen werden. Wenn das Spannungsdifferenzsignal einen zweiten Wert besitzt, der angibt, dass die erste Versorgungsspannung größer als die zweite Versorgungsspannung ist, stellt die Steuerschaltung sicher, dass die komplementären Bitzeilen auf die zweite Versorgungsspannung voraufgeladen werden. Ebenfalls offenbart wird ein zugehöriges Verfahren.