公开(公告)号：EP2022085A4

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：EP07755161

申请日：2007-04-10

Applicant: IBM

Inventor： FANG SUNFEI ,  KNARR RANDOLPH F ,  KRISHNAN MAHADEVAIYER ,  LAVOIE CHRISTIAN ,  MO RENEE T ,  PRANATHARTHIHARAN BALASUBRAMANIAN ,  STRANE JAY W

IPC: H01L21/285 ,  H01L21/3213

CPC classification number: H01L21/28518 ,  C23F1/28 ,  C23F1/30 ,  C23F1/44

公开(公告)号：DE10330459A1

公开(公告)日：2004-02-26

申请号：DE10330459

申请日：2003-07-05

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG ,  IBM

Inventor： DZIOBKOWSKI CHESTER ,  GOEBEL THOMAS ,  HUGHES BRIAN ,  IGGULDEN ROY C ,  IWATAKE MICHAEL M ,  MIURA DONNA D ,  ROBL WERNER ,  SHAFER PADRAIC ,  WONG KWONG HON ,  STRANE JAY W

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L21/283