3.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE10244570B4

    公开(公告)日:2007-08-16

    申请号:DE10244570

    申请日:2002-09-25

    Abstract: The method of filling a damascene structure with liner and tungsten involves coating damascene structure by liner providing poor step coverage, depositing tungsten by chemical vapor deposition, and performing metal isolation process. The resulting damascene structure has improved resistance, resistance spread and favorable adhesion.

    Verfahren zur Herstellung einer Halbleiter-Struktur

    公开(公告)号:DE102011053926B4

    公开(公告)日:2018-07-12

    申请号:DE102011053926

    申请日:2011-09-26

    Abstract: Verfahren zum Ausbilden einer Halbleiter-Struktur, wobei das Verfahren Folgendes umfasst:Bereitstellen eines Werkstücks (210), das eine Öffnung (310') mit Seitenwandoberflächen (310S) und einer unteren Oberfläche (310B) aufweist;Ausbilden einer Sperrschicht (410) über dem Werkstück (210);Ausbilden einer Keimschicht (420) über der Sperrschicht (410);Ausbilden einer Hemmschicht (430) über der Keimschicht (420) derart, dass die Hemmschicht (430) die Seitenwandoberflächen (310S) und die untere Oberfläche (310B) der Öffnung (310') bedeckt;Entfernen eines Abschnitts der Hemmschicht (430) von den Seitenwandoberflächen (310S) und der unteren Oberfläche (310B) der Öffnung (310'), um einen Abschnitt der Keimschicht (420) freizulegen; undselektives Ablagern einer Füllschicht (510) auf der freiliegenden Keimschicht (420),wobei das Entfernen des Abschnitts der Hemmschicht (430) Laser-Ablation umfasst.

    Spin-Bauelement
    9.
    发明专利

    公开(公告)号:DE102010000904B4

    公开(公告)日:2017-04-20

    申请号:DE102010000904

    申请日:2010-01-14

    Abstract: Spin-Bauelement (100; 100'; 100''), das folgende Merkmale aufweist: eine Zwischenhalbleiterregion (120), die zwischen einem ersten Anschluss (130) und einem zweiten Anschluss (140) angeordnet ist, wobei der erste Anschluss angepasst ist, um einen Strom mit einem ersten Grad einer Spin-Polarisation an die Zwischenhalbleiterregion zu liefern, wobei der zweite Anschluss angepasst ist, um den Strom nach Durchlaufen der Zwischenhalbleiterregion mit einem zweiten Grad einer Spin-Polarisation auszugeben; eine spinselektive Streustruktur (170), die an die Zwischenhalbleiterregion (120) angrenzt, wobei die spinselektive Streustruktur derart angepasst ist, dass der erste Grad einer Spin-Polarisation zu dem zweiten Grad einer Spin-Polarisation verändert wird; und eine Steuerelektrode (190), die elektrisch von der Zwischenhalbleiterregion (120) isoliert und angepasst ist, um ein elektrisches Feld an die Zwischenhalbleiterregion (120) anzulegen, um einen Betrag des Stroms zu steuern, wobei das elektrische Feld eine Hauptfeldkomponente senkrecht zu einer Richtung des Stroms durch die Zwischenhalbleiterregion aufweist; wobei die spinselektive Streustruktur (170) eine ferromagnetische Schicht und eine isolierende Schicht aufweist, wobei die ferromagnetische Schicht auf der isolierenden Schicht gebildet ist, wobei die isolierende Schicht an die Zwischenhalbleiterregion (120) angrenzend gebildet ist; wobei die isolierende Schicht eine keilförmige Dicke aufweist.

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