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公开(公告)号:DE102015118633A1
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:DE102015118633
申请日:2015-10-30
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HOHLFELD OLAF , BEER GOTTFRIED , HOEGERL JUERGEN , HOIER MAGDALENA
IPC: H01L23/538 , H01L21/50 , H01L23/10 , H01L25/07
Abstract: Ein Leistungshalbleitermodul umfassend ein Direct Copper Bonded (DCB) Substrat, umfassend ein Keramiksubstrat, eine erste an die erste Hauptoberfläche des Keramiksubstrats gebondete Kupfermetallisierung und eine zweite an die zweite Hauptoberfläche des Keramiksubstrats gegenüber der ersten Hauptoberfläche gebondete Kupfermetallisierung; Das Leistungshalbleitermodul umfasst weiterhin einen mit der ersten Kupfermetallisierung verbundenen Leistungshalbleiterchip, ein mit der ersten Kupfermetallisierung verbundenes passives Bauelement, eine erste Isolationsschicht, welche den Leistungshalbleiterchip und ein passives Bauelement einkapselt, eine erste strukturierte Metallisierungsschicht auf der ersten Isolationsschicht und eine erste Mehrzahl elektrischer Leiterbohrungen, die sich durch die erste Isolationsschicht aus der ersten Metallisierungsschicht zum Leistungshalbleiterchip und dem passiven Bauelement erstrecken. Ein integriertes Leistungsmodul und ein Verfahren zur Herstellung des integrierten Leistungsmoduls werden ebenfalls bereitgestellt.
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公开(公告)号:DE102015118633B8
公开(公告)日:2021-07-15
申请号:DE102015118633
申请日:2015-10-30
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HOHLFELD OLAF , BEER GOTTFRIED , HOEGERL JUERGEN , HOIER MAGDALENA , MEYER-BERG GEORG
IPC: H01L23/538 , H01L21/50 , H01L23/10 , H01L25/07
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公开(公告)号:DE102014116382A1
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:DE102014116382
申请日:2014-11-10
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HOHLFELD OLAF , HOEGERL JÜRGEN , BEER GOTTFRIED , HOIER MAGDALENA
Abstract: Ein Halbleitergehäuse umfasst einen Formkörper, der eine erste Hauptfläche, eine der ersten Hauptfläche entgegengesetzte zweite Hauptfläche und Seitenflächen aufweist, welche die erste und zweite Hauptfläche verbinden; ein erstes Halbleitermodul, das eine Vielzahl von ersten Halbleiterchips und eine erste Einkapselungsschicht umfasst, die über den ersten Halbleiterchips angeordnet ist; und ein zweites Halbleitermodul, das über dem ersten Halbleitermodul angeordnet ist. Das zweite Halbleitermodul umfasst eine Vielzahl von zweiten Halbleiterkanälen und eine zweite Einkapselungsschicht, die über den zweiten Halbleiterkanälen angeordnet ist. Das Halbleitergehäuse umfasst ferner eine Vielzahl von externen Verbindern, die sich durch eine oder mehrere der Seitenflächen des Formkörpers erstrecken.
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公开(公告)号:DE102014116383A1
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:DE102014116383
申请日:2014-11-10
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HOHLFELD OLAF , HÖGERL JÜRGEN , KESSLER ANGELA , HOIER MAGDALENA
Abstract: Ein Halbleitergehäuse umfasst ein erstes Halbleitermodul, das eine Vielzahl von Halbleiter-Transistorchips und eine erste Verkapselungsschicht oberhalb der Halbleiter-Transistorchips angeordnet umfasst, und ein zweites Halbleitermodul, das oberhalb des ersten Halbleitermoduls angeordnet ist. Das zweite Halbleitermodul umfasst eine Vielzahl von Halbleiter-Treiberkanälen und eine zweite Verkapselungsschicht, die oberhalb der Halbleiter-Treiberkanäle angeordnet ist. Die Halbleiter-Treiberkanäle sind ausgebildet, um die Halbleiter-Transistorchips anzusteuern.
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公开(公告)号:DE102014115937A1
公开(公告)日:2015-05-07
申请号:DE102014115937
申请日:2014-11-03
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HEINRICH ALEXANDER , SCHERL PETER , HOIER MAGDALENA , TIMME HANS-JOERG
Abstract: Ein Elektronikbauelement kann ein Halbleiterelement und einen Drahtbond, der das Halbleiterelement mit einem Substrat verbindet, umfassen. Das Verwenden eines gewebten oder gedrillten Bonddrahts kann die mechanischen und elektrischen Eigenschaften des Drahtbonds verbessern. Zudem kann es einen Kostenvorteil geben. Gewebte Bonddrähte können in einem beliebigen Elektronikbauelement verwendet werden, beispielsweise in Leistungsbauelementen oder integrierten Logikbauelementen.
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公开(公告)号:DE102013219780A1
公开(公告)日:2015-04-02
申请号:DE102013219780
申请日:2013-09-30
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: ARENS ANDRE , HÖGERL JÜRGEN , HOIER MAGDALENA
IPC: H01L23/055 , H01L21/60 , H01L23/48 , H01L25/16
Abstract: Ein Aspekt der Erfindung betrifft ein Leistungshalbleitermodul. Gemäß einem Beispiel der Erfindung weist das Leistungshalbleitermodul eine Platine auf mit einer ersten, auf einer Oberseite der Platine angeordneten strukturierten Metallisierung und mit mindestens einer zweiten Metallisierung, welche in vertikaler Richtung unter der ersten Metallisierung, parallel zu dieser angeordnet und von dieser isoliert ist. Auf der Oberseite der Platine ist mindestens ein gehäuseloser Halbleiterchip angeordnet, der mehrere Kontaktelektroden aufweist, welche wiederum über Bonddrähte mit korrespondierenden Kontakt-Pads der ersten Metallisierung auf der Oberseite der Platine verbunden sind. Ein erster Teil der Kontaktelektroden und der korrespondierenden Kontakt-Pads sind im Betrieb hochspannungsführend. Sämtliche hochspannungsführenden Kontakt-Pads sind über Durchkontaktierungen mit der zweiten Metallisierung leitend verbunden. Eine Isolationsschicht deckt den Chip und einen abgegrenzten Bereich der Platine um den Chip vollständig ab, wobei sämtliche hochspannungsführenden Kontakt-Pads und die Durchkontaktierungen von der Isolationsschicht vollständig bedeckt sind. Ein zweiter Teil der Kontaktelektroden und der korrespondierenden Kontakt-Pads stehen im Betrieb unter niedrigen Spannungen stehen.
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公开(公告)号:DE102014116382B4
公开(公告)日:2022-05-05
申请号:DE102014116382
申请日:2014-11-10
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HOHLFELD OLAF , HOEGERL JÜRGEN , BEER GOTTFRIED , HOIER MAGDALENA
Abstract: Halbleitergehäuse (100; 300), umfassend:einen Formkörper (1; 301), der eine erste Hauptfläche (1A; 301A), eine der ersten Hauptfläche entgegengesetzte zweite Hauptfläche (1B; 301B) und Seitenflächen (IC; 301C) umfasst, welche die erste und zweite Hauptfläche verbinden;ein erstes Halbleitermodul (10), das eine Vielzahl von ersten Halbleiter-Transistorchips (11) und eine erste Einkapselungsschicht (12) umfasst, die über den ersten Halbleiter-Transistorchips (11) angeordnet ist;ein zweites Halbleitermodul (20), das über dem ersten Halbleitermodul (10) angeordnet ist, wobei das zweite Halbleitermodul (20) wenigstens einen zweiten Halbleiterchip (21) und eine zweite Einkapselungsschicht (22) umfasst, die über dem wenigstens einen zweiten Halbleiterchip (21) angeordnet ist; undeine Vielzahl von externen Verbindern (30; 325, 326), die sich durch eine oder mehrere der Seitenflächen (1C; 301C) des Formkörpers (1; 301) erstrecken, wobei der Formkörper (1; 301) durch die zweite Einkapselungsschicht (22) gebildet wird;eine Vielzahl von Halbleiter-Diodenchips (14); undeine Metallisierungsschicht (16), welche auf der ersten Einkapselungsschicht (12) aufgebracht ist und eine Vielzahl von metallischen Bereichen (16A) aufweist, welche elektrische Verbindungen zwischen ausgewählten der Halbleiter-Transistorchips (11) und der Halbleiter-Diodenchips (14) bilden.
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公开(公告)号:DE102015118633B4
公开(公告)日:2021-05-06
申请号:DE102015118633
申请日:2015-10-30
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HOHLFELD OLAF , BEER GOTTFRIED , HOEGERL JUERGEN , HOIER MAGDALENA
IPC: H01L23/538 , H01L21/50 , H01L23/10 , H01L25/07
Abstract: Integriertes Leistungsmodul (100), aufweisend:ein Leistungshalbleitermodul (102), aufweisend:einen ersten, auf eine metallisierte Seite (108, 118) eines Isolationssubstrats (110) aufgebrachten Leistungshalbleiterchip (106);eine erste Isolationsschicht (112), welche den ersten Leistungshalbleiterchip (106) einkapselt; undeine erste strukturierte Metallisierungsschicht (114) auf der ersten Isolationsschicht (112) und durch mindestens eine erste Mehrzahl elektrischer Leiterbohrungen (116), die sich durch die erste Isolationsschicht (112) erstrecken, mit dem ersten Leistungshalbleiterchip (106) elektrisch verbunden;eine zweite Isolationsschicht (124) auf dem Leistungshalbleitermodul (102);eine zweite Mehrzahl elektrischer Leiterbohrungen (128), die sich durch die zweite Isolationsschicht (124) zur ersten strukturierten Metallisierungsschicht (114) erstrecken; undein erster, in der zweiten Isolationsschicht (124) oder in einer Isolationsschicht über der zweiten Isolationsschicht (124) eingekapselter Logik- oder passiver Halbleiterchip (130),wobei der erste Logik- oder passive Halbleiterchip (130) durch mindestens die erste strukturierte Metallisierungsschicht (114) und die erste Mehrzahl elektrischer Leiterbohrungen (116) mit dem ersten Leistungshalbleiterchip (106) oder mit einem anderen, im integrierten Leistungsmodul (100) angeordneten Halbleiterchip elektrisch verbunden ist,wobei der erste Logik- oder passive Halbleiterchip (130) ein erster Treiber-Halbleiterchip ist, der konfiguriert ist, ein Schalten des ersten Leistungshalbleiterchips (106) zu steuern.
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公开(公告)号:DE102014116956A1
公开(公告)日:2016-05-19
申请号:DE102014116956
申请日:2014-11-19
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: HOIER MAGDALENA , SCHERL PETER , SCHNEEGANS MANFRED
IPC: H01L21/60 , H01L23/485
Abstract: Verschiedene Ausführungsformen schaffen ein Verfahren zum Bilden eines Bondpads, wobei das Verfahren das Bereitstellen eines rohen Bondpads und das Bilden einer Aussparungsstruktur an einer Kontaktfläche des rohen Bondpads umfasst, wobei die Aussparungsstruktur Seitenwände umfasst, die in Bezug auf die Kontaktfläche geneigt sind.
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