Dummy-Strukturen und Verfahren
    3.
    发明专利

    公开(公告)号:DE102012103517A1

    公开(公告)日:2012-10-25

    申请号:DE102012103517

    申请日:2012-04-20

    Abstract: Es werden ein Halbleiterbauelement (200) und ein Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements (200) offenbart. Das Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements (200) weist auf: Ausbilden einer Materialschicht auf einem Substrat (230), Strukturieren eines ersten halbglobalen Gebiets (210) mit einem ersten Hauptmuster und Strukturieren eines zweiten halbglobalen Gebiets (220) mit einem zweiten Hauptmuster, wobei das erste Hauptmuster von dem zweiten Hauptmuster verschieden ist. Das Verfahren umfasst weiterhin: Einführen eines ersten Dummy-Musters in dem ersten halbglobalen Gebiet (210), so dass eine erste Seitenwandbereichsoberflächendichte des ersten Hauptmusters und des ersten Dummy-Musters in dem ersten halbglobalen Gebiet (210) und eine zweite Seitenwandbereichsoberflächendichte des zweiten Hauptmusters in dem zweiten halbglobalen Gebiet (220) im Wesentlichen eine gleiche Dichte aufweisen.

    BILDSENSOR UND VORRICHTUNG FÜR EINEN BILDSENSOR

    公开(公告)号:DE102021120714A1

    公开(公告)日:2022-02-17

    申请号:DE102021120714

    申请日:2021-08-10

    Abstract: Eine Vorrichtung für einen Bildsensor ist bereitgestellt. Die Vorrichtung umfasst ein Halbleiterbauelement mit einer photosensitiven Region und einem Metallisierungsstapel zum elektrischen Kontaktieren der photosensitiven Region. Die photosensitive Region ist ausgebildet, basierend auf einfallendem Licht ein elektrisches Signal zu erzeugen. Ferner umfasst die Vorrichtung einen optischen Stapel, der auf einer Oberfläche des Halbleiterbauelements gebildet ist, um das einfallende Licht in Richtung der photosensitiven Region zu lenken. Der optische Stapel umfasst eine Mehrzahl von aufeinander gestapelten Regionen. Die Mehrzahl von Regionen umfassen eine Filterregion, die ausgebildet ist, das einfallende Licht nur in einem Zielwellenlängenbereich selektiv durchzulassen.

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