Reduzierung von Querströmen in einem Halbleiterkörper

    公开(公告)号:DE102009029644A1

    公开(公告)日:2010-07-01

    申请号:DE102009029644

    申请日:2009-09-21

    Abstract: Beschrieben wird eine Halbleiterbauelementanordnung, die aufweist: einen Halbleiterkörper (100) mit einer ersten und einer zweiten Halbleiterschicht (110, 120); in der zweiten Halbleiterschicht (120): eine erste Bauelementzone (11), eine zweite Bauelementzone (13) und eine Sammelzone (12) eines zu dem ersten Leitungstyp komplementären zweiten Leitungstyps; eine erste Kontaktzone (21), die zwischen der ersten Bauelementzone (11) und der Sammelzone (12) angeordnet ist, die an einen Anschluss für ein definiertes Vorspannungspotential angeschlossen ist und die bis in die erste Halbleiterschicht (110) reicht; eine zweite Kontaktzone (22), die zwischen der ersten Bauelementzone (11) und der zweiten Bauelementzone (13) angeordnet ist, die elektrisch leitend an die Sammelzone (12) angeschlossen ist und die bis in die erste Halbleiterschicht (110) reicht; wenigstens eine dritte Kontaktzone (31), die elektrisch leitend an die Sammelzone (12) angeschlossen ist, die weiter zu der ersten Bauelementzone (11) beabstandet ist als die zweite Kontaktzone (22) und die bis in die erste Halbleiterschicht (110) reicht.

    6.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE102005047058A1

    公开(公告)日:2007-04-12

    申请号:DE102005047058

    申请日:2005-09-30

    Abstract: In a method for producing a trench transistor, a substrate of a first conduction type is provided and a trench in the substrate and a gate dielectric in the trench are formed. A first conductive filling in the trench as a gate electrode on the gate dielectric and first source and drain regions are formed. An etched-back first conductive filling is produced by etching back the first conductive filling down to a depth below the first source and drain regions and second source and drain regions are formed. The second source and drain regions adjoin the first source and drain regions and extend to a depth at least as far as the etched-back first conductive filling. An insulation spacer above the etched-back first conductive filling is formed in the trench and a second conductive filling is provided in the trench as an upper part of the gate electrode.

    Halbleiterbauelementanordnung zur Reduzierung von Querströmen in einem Halbleiterkörper

    公开(公告)号:DE102009029644B4

    公开(公告)日:2013-12-24

    申请号:DE102009029644

    申请日:2009-09-21

    Abstract: Beschrieben wird eine Halbleiterbauelementanordnung, die aufweist: einen Halbleiterkorper (100) mit einer ersten und einer zweiten Halbleiterschicht (110, 120); in der zweiten Halbleiterschicht (120): eine erste Bauelementzone (11), eine zweite Bauelementzone (13) und eine Sammelzone (12) eines zu dem ersten Leitungstyp komplementären zweiten Leitungstyps; eine erste Kontaktzone (21), die zwischen der ersten Bauelementzone (11) und der Sammelzone (12) angeordnet ist, die an einen Anschluss fur ein definiertes Vorspannungspotential angeschlossen ist und die bis in die erste Halbleiterschicht (110) reicht; eine zweite Kontaktzone (22), die zwischen der ersten Bauelementzone (11) und der zweiten Bauelementzone (13) angeordnet ist, die elektrisch leitend an die Sammelzone (12) angeschlossen ist und die bis in die erste Halbleiterschicht (110) reicht; wenigstens eine dritte Kontaktzone (31), die elektrisch leitend an die Sammelzone (12) angeschlossen ist, die weiter zu der ersten Bauelementzone (11) beabstandet ist als die zweite Kontaktzone (22) und die bis in die erste Halbleiterschicht (110) reicht.

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