PUCE ELECTRONIQUE
    4.
    发明专利

    公开(公告)号:FR3069703B1

    公开(公告)日:2020-01-24

    申请号:FR1757142

    申请日:2017-07-27

    Abstract: L'invention concerne une puce électronique comprenant : des plots conducteurs (4, 6, 8) situés sur la face avant d'un substrat (2) de matériau semiconducteur ; des cavités creusées dans le substrat (2) depuis la face arrière de ce substrat (2), chaque cavité atteignant un plot conducteur (4, 6, 8) ; une couche conductrice recouvrant les parois et le fond des cavités et comprenant des portions (16, 18) de couche conductrice (10) connectant du côté la face arrière au moins certaines cavités deux à deux, chaque portion (16, 18) de couche conductrice (10) étant partiellement située sur une protubérance (14) ; et un circuit adapté à détecter une variation d'une caractéristique électrique mesurée entre deux plots (4, 6, 8).

    PROCEDE ET DISPOSITIF D'ALIMENTATION D'UNE MACHINE DE POLISSAGE MECANOCHIMIQUE EN UN PRODUIT DE POLISSAGE

    公开(公告)号:FR2888146A1

    公开(公告)日:2007-01-12

    申请号:FR0507210

    申请日:2005-07-06

    Abstract: Procédé et dispositif d'alimentation d'une machine (1) de polissage mécano-chimique en un produit de polissage comprenant des particules abrasives en suspension dans un liquide réactif, dans lesquels l'opération de polissage est divisée en au moins une première étape et une deuxième étape. Au cours de la seconde étape, la machine de polissage est alimentée au travers d'un filtre (14) en un produit contenant moins de particules de grandes dimensions que le produit alimentant la machine de polissage lors de la première étape. Le dispositif d'alimentation peut comprendre deux conduits parallèles (9, 10) munis de vannes (12, 13) dont l'un au moins est muni du filtre (14).

    PUCE ELECTRONIQUE
    7.
    发明专利

    公开(公告)号:FR3069703A1

    公开(公告)日:2019-02-01

    申请号:FR1757142

    申请日:2017-07-27

    Abstract: L'invention concerne une puce électronique comprenant : des plots conducteurs (4, 6, 8) situés sur la face avant d'un substrat (2) de matériau semiconducteur ; des cavités creusées dans le substrat (2) depuis la face arrière de ce substrat (2), chaque cavité atteignant un plot conducteur (4, 6, 8) ; une couche conductrice recouvrant les parois et le fond des cavités et comprenant des portions (16, 18) de couche conductrice (10) connectant du côté la face arrière au moins certaines cavités deux à deux, chaque portion (16, 18) de couche conductrice (10) étant partiellement située sur une protubérance (14) ; et un circuit adapté à détecter une variation d'une caractéristique électrique mesurée entre deux plots (4, 6, 8).

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