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公开(公告)号:CN117165014A
公开(公告)日:2023-12-05
申请号:CN202310955336.2
申请日:2022-03-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C08L33/08 , C08L43/04 , C08K3/24 , C08K3/04 , C08K7/00 , C08K3/08 , C08K5/05 , C08J5/18 , A61B5/259 , A61B5/268 , A61B5/263 , A61B5/274 , A61B5/28
Abstract: 本发明涉及导电膜组成物、及导电膜。本发明为一种导电膜组成物,是含有硅的粘着性导电膜,其特征为:该导电膜组成物含有:离子性材料(A),选自氟磺酸、氟磺酰亚胺、N‑羰基氟磺酰胺中的任一者的铵盐、锂盐、钠盐、钾盐。
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公开(公告)号:CN103176353A
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN201310054677.9
申请日:2008-03-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0382 , G03F7/20
Abstract: 一种含有聚合物的化学放大负性抗蚀剂组合物,所述聚合物包含重复的羟基苯乙烯单元和其上具有吸电子取代基的重复苯乙烯单元。在形成一种具有小于0.1μm微细特征尺寸的图案中,组合物表现出高的分辨率,由组合物形成的抗蚀涂层可以处理成这种微细尺寸图案而将图案特征之间桥连接的形成最小化。
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公开(公告)号:CN114478987B
公开(公告)日:2024-07-02
申请号:CN202111334279.3
申请日:2021-11-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及聚氨基甲酸酯、聚氨基甲酸酯的制造方法、导电性糊剂组成物、导电配线及其制造方法。本发明提供用以形成伸缩时的导电性的变化少的伸缩性导电配线的导电性糊剂组成物、及提供该组成物的聚氨基甲酸酯。一种聚氨基甲酸酯,其特征为:含有pKa5~11的弱酸性官能团。
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公开(公告)号:CN108807140B
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN201810366118.4
申请日:2018-04-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种半导体基板的清洗干燥方法,其可在不用特殊装置的情况下,抑制对清洗基板后的清洗液进行干燥时发生的图案倒塌或损坏及图案底部的树脂分解,能有效去除清洗液,其特征在于包括以下工序:(I)用清洗液清洗形成图案的半导体基板;(II)用包含含通式(1)所示的重复单元的树脂(A)及溶剂的组合物置换所述基板上残留的清洗液并以小于所述树脂(A)的分解温度的温度加热去除该已置换的组合物中的溶剂;(III)通过将所述半导体基板保持0℃以上且小于所述树脂(A)的分解温度的温度并同时对所述树脂(A)吹气温度为所述树脂(A)的分解温度以上的气体,从与所述气体接触的表面侧分解去除所述树脂(A)。#imgabs0#
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公开(公告)号:CN115113484A
公开(公告)日:2022-09-27
申请号:CN202210288306.6
申请日:2022-03-22
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法。本发明的课题是为了提供在碱水溶液中为可溶,不会损及保护被膜的机械特性、密接性等优良的特征并能获得高分辨率,且即使在低温硬化时,机械特性、对基板的密接性仍良好的正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜。该课题的解决手段是一种正型感光性树脂组成物,其特征为含有:(A)含有选自聚酰亚胺结构、聚酰胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱物结构中的至少1种以上的结构的碱可溶性树脂,(B)具有环化聚合而成的结构单元的高分子化合物,及(C)因光而产生酸并使其对碱水溶液的溶解速度增加的感光剂,且具有重氮醌结构的化合物。
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公开(公告)号:CN114431864B
公开(公告)日:2024-12-03
申请号:CN202111299558.0
申请日:2021-11-04
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: A61B5/25 , A61B5/263 , C08F212/14 , C08F220/38 , C08F220/28 , C08F230/08 , C08F220/24 , C08F220/18
Abstract: 本发明涉及生物体电极组成物、生物体电极、及生物体电极的制造方法。本发明提供能形成导电性及生物体适合性优异、轻量且能够以低成本制造,贴于皮肤而剥离后于皮肤上不发生残渣的生物体电极用的生物体接触层的生物体电极组成物、以该生物体电极组成物形成了生物体接触层的生物体电极、及其制造方法。一种生物体电极组成物,含有(A)离子性的高分子材料、(B)至少具有氢硅基的加成反应硬化型的聚硅氧、(C)铂族系催化剂、及溶剂,其特征为:该生物体电极组成物中的水分的含有率为0.2质量%以下,前述溶剂含有不含羟基、羧基、氮原子、硫醇基的醚系、酯系及酮系溶剂中的任一者以上。
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公开(公告)号:CN114516787B
公开(公告)日:2024-08-20
申请号:CN202111402270.1
申请日:2021-11-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C43/23 , C07C69/16 , C07C69/712 , C07C49/255 , C07C255/13 , C07C39/11 , C07C49/84 , C07C69/92 , C07C255/54 , C07C69/28 , C07C39/12 , C07C39/27 , C07C49/83 , C07C69/50 , C07F7/08 , H01B1/20 , H01B1/22 , H01B5/14 , H01B13/00
Abstract: 本发明涉及酚化合物、导电性糊剂组成物、导电性糊剂组成物的制造方法、导电配线及其制造方法。本发明是一种酚化合物,其特征为以下列通式(1A)表示。借此,可提供作为重复伸缩的导电性的下降少且印刷加工性优异的导电性糊剂组成物用添加剂的酚化合物、含有该添加剂的导电性糊剂组成物、及使用了该导电性糊剂组成物的导电配线。[化1]#imgabs0#
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公开(公告)号:CN114478987A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202111334279.3
申请日:2021-11-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及聚氨基甲酸酯、聚氨基甲酸酯的制造方法、导电性糊剂组成物、导电配线及其制造方法。本发明提供用以形成伸缩时的导电性的变化少的伸缩性导电配线的导电性糊剂组成物、及提供该组成物的聚氨基甲酸酯。一种聚氨基甲酸酯,其特征为:含有pKa5~11的弱酸性官能团。
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公开(公告)号:CN114063388A
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN202110885231.5
申请日:2021-08-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法。本发明的课题旨在提供可形成微细图案,并可获得高分辨率,且即使于低温硬化时,机械特性亦良好,而且无于高温高湿试验前后的密接力劣化的正型感光性树脂组成物、及正型感光性干薄膜。一种正型感光性树脂组成物,含有:(A)碱可溶性树脂,含有选自聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的至少1种以上的结构;(B)交联性高分子化合物,含有下列通式(1)表示的结构单元,且具有会与(A)成分交联的基团;及(C)感光剂,是因光而产生酸且对于碱水溶液的溶解速度增大的感光剂,为具有醌二叠氮化物结构的化合物。
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公开(公告)号:CN114063387A
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN202110884911.5
申请日:2021-08-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜。本发明的课题是提供能形成矩形性高的微细图案并可获得高分辨率,且即使于低温硬化时机械特性亦良好,而且高温高湿试验前后的密接力不会劣化的负型感光性树脂组成物。一种负型感光性树脂组成物,含有:(A)碱可溶性树脂,含有选自聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的至少1种以上的结构;(B)交联性高分子化合物,含有下列通式(1)表示的结构单元,且具有会与(A)成分交联的基团;(C)因光而产生酸的化合物;及(D)热交联剂。
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