公开(公告)号：CN119216579A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202411352497.3

申请日：2024-09-26

Applicant: 云南贵金属实验室有限公司

Inventor： 巢云秀 ,  陈静洪 ,  闻明 ,  施晨琦 ,  赵琪 ,  唐可 ,  王传军 ,  刘子其 ,  许彦亭 ,  沈月

IPC: B22F3/105 ,  B22F3/14 ,  B22F3/24 ,  B22F9/04 ,  B22F3/10 ,  C23C14/35 ,  C22C1/04 ,  C22C5/04 ,  C22C27/02

Abstract: 本发明公开了一种超高致密细晶粒钌钽合金靶材及其制备方法，属于合金靶材制备技术领域。本发明包括(1)混粉；(2)低压预压制；(3)氢气还原；(4)放电等离子烧结；(5)低压烧结；(6)精密机加工。通过本发明制备得到的钌钽合金靶材致密度可以达到99.8％以上，靶材晶粒度可以达到5μm以下，具有较为优异的磁控溅射技术适应性，为后续磁控溅射技术制备集成电路用薄膜提供优异基础，使得制备得到的集成电路用薄膜具有较为优异的性能。

公开(公告)号：CN118425268A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202410668047.9

申请日：2024-05-28

Applicant: 贵研先进新材料(上海)有限公司 ,  云南贵金属实验室有限公司 ,  昆明贵研新材料科技有限公司

Inventor： 沈月 ,  闻明 ,  李治东 ,  余娟 ,  刘伟平 ,  王传军 ,  李思勰 ,  许彦亭 ,  刘子其

IPC: G01N27/30

Abstract: 本发明公开了一种氢传感器用氧化铂电极及其制备方法，属于传感器用电极技术领域。本发明通过对铂基材预处理、测试循环伏安特性曲线活化电极、阳极氧化法以及热处理制备氧化铂电极，解决了氧化铂涂层与基材的附着力问题，同时涂层可获得高含量二氧化铂成分，不仅简单易操作，而且制备的氧化铂电极具有附着力好、电催化性能好等优点，可满足在核工业领域恶劣环境中工作，对于突破AP1000氢浓度监测传感器的技术壁垒，加快我国核工业相关技术的全面国产化进程具有重要意义。

公开(公告)号：CN117773139A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311669325.4

申请日：2023-12-07

Applicant: 贵研铂业股份有限公司 ,  云南贵金属实验室有限公司

Inventor： 巢云秀 ,  刘子其 ,  许永刚 ,  王传军 ,  闻明 ,  周利民 ,  朱武勋 ,  沈月 ,  许彦亭 ,  卯明辉

IPC: B22F9/30 ,  B22F1/065 ,  B22F1/142 ,  B22F1/145

Abstract: 本发明公开了一种信息存储用高纯球形钌粉的制备方法，所述高纯球形钌粉先由氯钌酸或氯钌酸盐溶液、选择性沉淀剂、稀散剂制得高纯球形钌前驱体沉淀，再经热分解反应、氢氛围脱氧、酸煮纯化工艺制备获得。所述高纯钌粉形貌为球形，纯度≥99.999％，流散性及均一性好，平均粒径＜5μm，可用于信息存储用高纯钌及其合金靶材用高纯钌粉及其合金靶材原料。

公开(公告)号：CN116875952A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202310839299.9

申请日：2023-07-10

Applicant: 云南贵金属实验室有限公司 ,  贵研铂业股份有限公司

Inventor： 王传军 ,  闻明 ,  巢云秀 ,  沈月 ,  施晨琦 ,  许彦亭 ,  李思勰 ,  刘牛 ,  普志辉

IPC: C23C14/35 ,  B22F3/14 ,  B22F3/24

Abstract: 本发明公开了一种低氧高密度Ru溅射靶材、制备方法及其用途，该溅射靶材氧含量小于50ppm，表面粗晶层厚度小于50um，平均晶粒尺寸2‑8微米，晶界处孔洞呈近球形，直径小于1um，靶材相对密度大于理论密度的99％。制备方法以具有形貌和粒径分布可控的高纯钌粉为原料，通过真空热压烧结法制备钌靶材；通过对真空度控制、加压烧结获得靶材坯料，最终获得具有低氧高密度且具有良好机加工性能的溅射靶材。本发明通对粉末形貌和粒径分布以及真空热压烧结工艺的控制，改善了钌靶氧含量高、表面粗晶层厚、致密度低、机加工性能差等缺点，获得低氧含量和高致密度且加工性能好的溅射靶材，避免常规热压烧结工艺制备的靶材加工困难的缺点。

公开(公告)号：CN118360583A

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202410349572.4

申请日：2024-03-26

Applicant: 云南贵金属实验室有限公司 ,  昆明贵金属研究所

Inventor： 李思勰 ,  闻明 ,  沈月 ,  施晨琦 ,  巢云秀 ,  许彦亭 ,  刘子其 ,  唐可

IPC: C23C14/54 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明公开了一种溅射靶材刻蚀跑道的测量方法，包括：采用带有三维拍摄模式的共聚焦显微镜拍摄溅射后的靶材溅射表面径向图像；使用图像处理软件处理拍摄得到的三维图像，依次进行校平、填充、提取剖面等步骤，得到靶材刻蚀跑道的轮廓曲线；对轮廓曲线进行距离、高度、面积等几何测量，得到跑道最大宽度、跑道中心处圆周直径、溅射截面面积、跑道最深处高度以及靶材溅射刻蚀体积等几何尺寸参数。由于采用共聚焦显微镜进行拍摄测量，具有操作便捷、图像形态细节清晰等优点，能够得到靶材溅射刻蚀表面的三维真彩图像，测量时对靶材溅射表面不会造成任何破坏，尤其适用于4英寸及以下小尺寸靶材的溅射刻蚀跑道及几何尺寸参数的微米级测量。

公开(公告)号：CN117606330A

公开(公告)日：2024-02-27

申请号：CN202311600340.3

申请日：2023-11-28

Applicant: 云南贵金属实验室有限公司 ,  贵研铂业股份有限公司

Inventor： 许彦亭 ,  闻明 ,  沈月 ,  赵琪 ,  王传军 ,  普志辉 ,  施晨琦

IPC: G01B5/06 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明公开了一种带背板的平面溅射靶材使用寿命的预估方法，主要针对整体原始厚度较薄、分离解绑后容易产生翘曲、靶材边缘不溅射或几乎不溅射的带背板的平面溅射靶材。具体方法是通过升温的方式分离溅射靶材与背板，通过模具硅胶确定溅射靶材最深溅射轨道，以所测边缘厚度最大值与所测最深溅射轨道厚度最小值的差值即最大厚度差作为溅射最大消耗厚度，以此为参考，预估剩余最小厚度消耗完的溅射功耗，进而预估溅射靶材使用寿命。本发明的方法操作简单，适合无三坐标仪、三维扫描仪等精密测量仪器的厂家操作，为带背板的平面靶材使用寿命的预估提供指导，保证溅射靶材的使用安全。

公开(公告)号：CN116626157A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202310430584.5

申请日：2023-04-21

Applicant: 云南贵金属实验室有限公司 ,  贵研铂业股份有限公司

Inventor： 沈月 ,  闻明 ,  万家成 ,  普志辉 ,  王传军 ,  许彦亭 ,  何云帅

IPC: G01N29/04 ,  G01N29/07

Abstract: 本发明公开了一种弧形面焊接型靶材的焊合率超声波检测方法，所述的检测步骤包括：将焊接型靶材放入旋转圆形卡盘上卡紧，确保靶材和探头均浸泡在超纯水中，且靶面和探头表面无气泡干扰；设置靶材起点、终点和原心及扫查行程，始终保持探头与靶面垂直；设置增益从起点开始，卡盘驱动轴W轴旋转一周后X、Z、A轴同时步进一次，依次循环，直至终点扫查结束；并根据其结果确定未焊合区域面积并计算焊合率。该方法可用于圆盘状球面、或环形弧面的焊接型靶材的无损检测，操作简单易行、准确性和效率较高。