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    化学放大型抗蚀剂组合物
    12.
    发明公开
    化学放大型抗蚀剂组合物 无效 复审申请

    公开(公告)号：CN101196687A

    公开(公告)日：2008-06-11

    申请号：CN200710193315.2

    申请日：2007-12-03

    Applicant: 住友化学株式会社

    Inventor： 山口训史 ,  山本敏 ,  安藤信雄

    IPC: G03F7/039

    CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123

    Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：(A)式(Ⅰ)表示的盐；(B)式(Ⅱ)表示的盐；和(C)树脂，该树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且其本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，式(Ⅰ)中，R21表示可被取代的C1－C30烃基等，Q1和Q2各自独立表示氟原子等，且A+表示选自式(Ⅰa)表示的阳离子、式(Ⅰb)表示的阳离子和式(Ⅰc)表示的阳离子中的至少一种有机阳离子；式(Ⅰa)中，P1－P3各自独立地表示C1－C30烷基等；式(Ⅰb)中，P4和P5各自独立表示氢原子等；式(Ⅰc)中，P10－P21各自独立表示氢原子等，B表示硫或氧原子，且m表示0或1；式(Ⅱ)中，R22表示C1－C30烃基等，Q3和Q4各自独立表示氟原子等，并且A’+表示式(Ⅱa)表示的有机阳离子；式(Ⅱa)中，P6和P7各自独立表示C1－C12烷基等，P8表示氢原子，P9表示C1－C12烷基等。

    适合作为酸生成剂的盐和包含该盐的化学放大型抗蚀组合物
    14.
    发明公开
    适合作为酸生成剂的盐和包含该盐的化学放大型抗蚀组合物 失效

    公开(公告)号：CN1841200A

    公开(公告)日：2006-10-04

    申请号：CN200610077419.2

    申请日：2006-03-28

    Applicant: 住友化学株式会社

    Inventor： 吉田勋 ,  原田由香子 ,  山口训史 ,  安藤信雄

    IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

    CPC classification number: C07C309/17 ,  C07C2603/74

    Abstract: 本发明提供一种式(L)的盐式(L)的盐其中Q代表－CO－基团或－C(OH)－基团；环X代表含有3－30个碳原子的单环或多环烃基，其中当Q是－C(OH)－基团时，在Q位置上的一个氢原子被一个羟基取代，或者当Q是－CO－基团时，在Q位置上的两个氢原子被＝O基取代，并且单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1－6个碳原子的烷基、含有1－6个碳原子的烷氧基、含有1－4个碳原子的全氟烷基、含有1－6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；R10和R20各自独立地表示氟原子或含有1－6个碳原子的全氟化烷基；A+表示有机平衡离子。本发明还提供一种包含式(L)的盐的化学放大型抗蚀组合物。

    光致抗蚀剂组合物
    15.
    发明公开
    光致抗蚀剂组合物 无效

    公开(公告)号：CN102193313A

    公开(公告)日：2011-09-21

    申请号：CN201110035785.2

    申请日：2011-02-01

    Applicant: 住友化学株式会社

    Inventor： 安藤信雄 ,  武元一树

    IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20

    CPC classification number: G03F7/004 ,  G03F7/20

    Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含由式(I)表示的化合物和由式(B1)表示的酸生成剂，在式(I)中R1，R2，R3和R4独立地表示氢原子等，X1至X8独立地表示氢原子或由式(II)表示的基团；在式(II)中R11和R12独立地表示氢原子等，m表示1至4的整数，R13表示C1-C6烷基等，并且环Y1表示C3-C20饱和烃环；在式(B1)中Q1和Q2独立地表示氟原子等，Lb1表示C1-C17饱和二价烃基，在所述C1-C17饱和二价烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，Y表示C1-C18脂族烃基等，并且Z+表示有机阳离子。

    光刻胶组合物
    16.
    发明公开
    光刻胶组合物 无效

    公开(公告)号：CN102117013A

    公开(公告)日：2011-07-06

    申请号：CN201010623818.0

    申请日：2010-12-31

    Applicant: 住友化学株式会社

    Inventor： 山下裕子 ,  安藤信雄

    IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

    CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

    Abstract: 本发明提供了一种光刻胶组合物，其包含：包含式(I)表示的结构单元的树脂和式(D’)表示的化合物：其中Q1和Q2独立地表示氟原子等，U表示C1-C20二价烃基等，X1表示-O-CO-等，A+表示有机反荷离子，其中R51、R52、R53和R54独立地表示C1-C20烷基等，A11表示可具有一个或更多个取代基并可含有一个或更多个杂原子的C1-C36饱和环状烃基。

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