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公开(公告)号：CN102620727A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210111827.0
申请日：2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案，以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件，其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上，用于检测不同轴方向上的振动。
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公开(公告)号：CN101173957B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200710164369.6
申请日：2007-10-30
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 本发明提供了一种可抑制向支撑臂部的基部的振动泄漏，并可较强抵抗噪声的三音叉型的角速度传感器及电子机器。在本发明的角速度传感器中，在三个臂部(12A～12C)中，两个外侧臂部(12A、12B)以同相进行激励，中央臂部(12C)通过外侧臂部振动的反作用以和外侧臂部反相进行激励。而且，将各臂部沿与压电功能层(15A～15C)的形成面垂直的方向进行激励，并基于与臂部的上述压电功能层的形成面相平行的方向的振动来检测角速度。由此，在臂部间所产生的转距相互抵消，并可降低向基部传递的振动。而且，通过沿与压电功能层的形成面垂直方向对臂部进行激励，可以维持稳定的激励状态，并可构成对干扰有较强抵制的角速度传感器。
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公开(公告)号：CN1969168B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200680000321.5
申请日：2006-02-23
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5656
Abstract: 一种振动型陀螺传感器，其中，通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2-1)上的振动元件(20)，在所述支撑衬底上安装了电路元件，并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23)，所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22-2)，所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面，第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出，所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面，在所述第一电极层上形成压电层(28)，并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4)，由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。
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公开(公告)号：CN1828224A
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200610073968.2
申请日：2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5663 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明公开了一种包括振动陀螺传感器元件的振动陀螺传感器，该振动陀螺传感器元件包括悬臂振动器，该悬臂振动器在第一表面上包括压电膜、驱动电极和一对检测电极，以及在其上安装该振动陀螺传感器元件的支撑基底。将该振动陀螺传感器元件安装在该支撑基底上以使该悬臂振动器的第一表面面对该支撑基底。将除了该悬臂振动器的第一表面之外的区域界定为激光加工区域，在该激光加工区域中将形成用于调节该悬臂振动器的振动特性的凹陷。
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公开(公告)号：CN101620236B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200910151588.X
申请日：2009-07-03
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5628 , G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了角速度传感器及其制造方法。该角速度传感器包括第一层、压电层和第二层。第一层具有第一主面和第二主面，并包括振动部和支持振动部的基底部。压电层形成在第一层的第一主面上。第二层在与第一层的第二主面侧上整体接合至基底部。通过本发明，可以提供灵敏度特性优异并实现生产力提高的角速度传感器及其制造方法。
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公开(公告)号：CN1837751B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN200610079363.4
申请日：2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/5642 , G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种振动陀螺传感器。所述振动陀螺传感器包括支撑衬底，在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案，以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件，其中至少两个振动元件被安装在该支撑衬底上，用于检测不同轴方向上的振动。
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公开(公告)号：CN1828224B
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200610073968.2
申请日：2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5663 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明公开了一种包括振动陀螺传感器元件的振动陀螺传感器，该振动陀螺传感器元件包括悬臂振动器，该悬臂振动器在第一表面上包括压电膜、驱动电极和一对检测电极，以及在其上安装该振动陀螺传感器元件的支撑基底。将该振动陀螺传感器元件安装在该支撑基底上以使该悬臂振动器的第一表面面对该支撑基底。将除了该悬臂振动器的第一表面之外的区域界定为激光加工区域，在该激光加工区域中将形成用于调节该悬臂振动器的振动特性的凹陷。
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公开(公告)号：CN101484776A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200780024822.1
申请日：2007-06-29
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了一种振动型陀螺仪传感器，包括检测角速度的振动元件(1X，1Y)、电连接至振动元件(1X，1Y)并且支撑振动元件(1X，1Y)的支撑基板(2)、电连接至支撑基板(2)并且包括外部连接端子(3)的中继基板(4)、以及被配置在支撑基板(2)与中继基板(4)之间并且抑制了应变和振动在支撑基板(2)与中继基板(4)之间的传递的缓冲部件(5)。该振动型陀螺仪传感器能够稳定振动特性，而不受应变和振动的影响。
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公开(公告)号：CN1848473A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610082066.5
申请日：2006-03-06
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L41/083 , H01L41/18 , H01L41/22
Abstract: 需要一种能够提高生产率和产量而不降低压电特性的压电元件及其制造方法。压电元件提供有衬底、设置在衬底上的第一电极膜、设置在第一电极膜上的压电膜和设置在压电膜上的第二电极膜。该压电膜具有由多个结晶化的压电薄膜构成的叠置结构。通过形成压电薄膜的膜形成步骤和热处理压电薄膜以影响结晶化的结晶化热处理步骤的重复循环来形成具有预定厚度的压电薄膜。以这种方式，可制造在膜厚度方向上显示出均匀结晶度的压电膜。
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