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公开(公告)号：CN114855146A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210443035.7
申请日：2022-04-26
Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , F16J15/14
Abstract: 本发明公开了一种半导体设备及其反应腔，反应腔包含腔体、盖体、气体传输装置、晶圆载盘，腔体包括底板，晶圆载盘和底板之间形成密封结构，密封结构包括：第一缓冲槽，所述第一缓冲槽开设于底板与晶圆载盘的周向拼接处；阶梯槽组，所述阶梯槽组开设于所述底板与所述晶圆载盘的周向拼接处，且沿反应气体的气流方向位于所述第一缓冲槽的下游，并与所述第一缓冲槽相连通；通气孔，所述通气孔与所述阶梯槽组相连通，且所述通气孔与惰性气体源相连通；排气槽，所述排气槽与所述阶梯槽组相连通。该反应腔解决了现有技术中存在的不同反应气体流出率难以控制的技术问题，提高了腔体对于不同反应气体的适应性，使加工设备能够适应不同的反应场景。
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公开(公告)号：CN113774359A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202111114345.6
申请日：2021-09-23
Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明提供一种化学源瓶保温装置，包括外壳，所述外壳内放置源瓶，所述源瓶具有进入管和排出管，所述进入管和所述排出管穿出所述外壳；所述外壳内安装若干加热器；所述外壳上结合安装与其内部连通的氮气进入管路和氮气排出管路；所述外壳具有真空夹层。所述化学源瓶保温装置有利于源瓶的保温，避免因突然断电降温导致前驱体冷凝导致的管路或阀体的堵塞；通过设置外壳内通氮气，可以在源瓶密封失效时防止前驱体与空气中的氧气或水蒸气发生反应，保证工艺效果；外壳由可拆卸连接的筒体和盖体组成，方便对源瓶进行维护。
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公开(公告)号：CN113652645A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110897117.4
申请日：2021-08-05
Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种旋转镀膜设备，包括：反应组件，包括反应腔体和进气盘，反应腔体具有反应腔，进气盘置于反应腔内，并用于向反应腔输送反应气体；调整组件，包括被构造为可受控移动的调整台；加热台，可转动地连接于调整台上，且位于反应腔内，加热台具有用于承载工件的承载位，且用于对承载于承载位上的工件进行加热；其中，调整台在受控移动的过程中能够带动承载位上的工件靠近或远离进气盘。上述旋转镀膜设备，通过工件在加热的同时也能够进行旋转，使得反应气体能够更加均匀地沉积在工件上。同时，工件与进气盘的距离还能够通过调整台进行调整，使得工件一直能够与进气盘保证一个适合反应的距离，工件沉积成膜的厚度均匀性更好。
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公开(公告)号：CN111619901A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010595174.2
申请日：2020-06-24
Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC: B65B57/00 , B65B43/18 , B65B43/30 , B65B31/00 , B65B35/16 , B65B35/20 , B65B31/06 , B65B51/14 , B65B11/04 , B65B61/28 , B65C9/02 , B65C9/06 , B65C9/26 , B65C9/46
Abstract: 一种应用于晶圆盒自动封装设备中的搬运装置，包括能够将封装前的晶圆盒搬运至入袋模组上的第一搬运装置以及能够将封装后的晶圆盒搬运至出料平台上的第二搬运装置。本发明实现了封装过程中晶圆盒在各个模组之间的自动化搬运、解放了人力、提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN111619899A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010595069.9
申请日：2020-06-24
Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC: B65B57/00 , B65B43/18 , B65B43/30 , B65B31/00 , B65B35/16 , B65B35/20 , B65B31/06 , B65B51/14 , B65B11/04 , B65B61/28 , B65C9/02 , B65C9/06 , B65C9/26 , B65C9/46
Abstract: 一种晶圆盒自动封装设备，包括入袋模组、取袋装置、包装平台以及封口模组。所述取袋装置将包装袋抓取至包装平台上，所述取袋装置协同包装平台一起将包装袋拉开形成一个开口，所述入袋模组将晶圆盒自所述开口送入到包装袋内，所述封口模组将所述开口密封。本发明实现了自动化，解放了人力，提高了晶圆盒打包的标准化水平，同时满足智能制造、无人制造的工业4.0要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111619897A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010594047.0
申请日：2020-06-24
Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC: B65B57/00 , B65B43/18 , B65B43/30 , B65B31/00 , B65B35/16 , B65B35/20 , B65B31/06 , B65B51/14 , B65B11/04 , B65B61/28 , B65C9/02 , B65C9/06 , B65C9/26 , B65C9/46
Abstract: 一种应用于晶圆盒自动封装设备中的开口模组，包括取袋装置和包装平台。所述取袋装置包括第一抓取装置，所述包装平台包括第二抓取装置。所述第一抓取装置与所述第二抓取装置之间能够相对背离运动。本发明实现了包装袋的自动化开口、解放了人力、提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN212541047U
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202020968983.9
申请日：2020-06-01
Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及尾气处理领域，具体涉及一种尾气洗涤塔节能控制系统。该系统包括洗涤塔，洗涤塔内设置有水洗腔，尾气进气管，设置在所述水洗腔下部；若干个喷淋头，设置在所述水洗腔上部；尾气流量监测模块，设置在尾气进气管上；水洗池，设置在所述水洗腔内；调速驱动模块，设置于所述水洗池内，调速驱动模块将水洗池中的水洗液驱动至喷淋头处，调速驱动模块根据尾气流量监测模块的数值进行调速。采用本实用新型，利用尾气流量的变化及水洗腔体中水洗液的pH及pH变化率来决定需要参与水洗流程的喷淋头的数量及调速驱动模块的运行速度，动态分配资源，达到既能达到高效的水洗效率，也能实现节能的目的。
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公开(公告)号：CN212530323U
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202021208618.4
申请日：2020-06-24
Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC: B65B57/00 , B65B43/18 , B65B43/30 , B65B31/00 , B65B35/16 , B65B35/20 , B65B31/06 , B65B51/14 , B65B11/04 , B65B61/28 , B65C9/02 , B65C9/06 , B65C9/26 , B65C9/46
Abstract: 一种应用于晶圆盒自动封装设备中的搬运装置，包括能够将封装前的晶圆盒搬运至入袋模组上的第一搬运装置以及能够将封装后的晶圆盒搬运至出料平台上的第二搬运装置。本实用新型实现了封装过程中晶圆盒在各个模组之间的自动化搬运、解放了人力、提高了生产效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212205089U
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202020888741.9
申请日：2020-05-23
Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司
Abstract: 一种加热装置，其包括内壳体、外壳体以及位于所述内壳体与所述外壳体之间的保温层，所述内壳体设有用以容纳水的内部空间；所述加热装置包括与所述内部空间相连通的入水口以及出水口；所述加热装置还包括位于所述内部空间内且间隔布置的若干加热组件，其中每一个加热组件包括支撑杆以及固定在所述支撑杆上的加热元件。本实用新型通过设置间隔布置的若干加热组件，能够对不同区域的水同时进行加热，提高了加热的效率。
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公开(公告)号：CN212530355U
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202021205942.0
申请日：2020-06-24
Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司
Abstract: 一种应用于晶圆盒自动封装设备中的入袋模组，包括支撑机构以及第一驱动机构。所述支撑机构能够在第三方向上被第一驱动机构驱动而将晶圆盒送入包装袋内。本实用新型实现了晶圆盒入袋的自动化、解放了人力、提高了生产效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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