铈系研磨材料
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101321841A

    公开(公告)日:2008-12-10

    申请号:CN200680040308.2

    申请日:2006-10-27

    CPC classification number: C09K3/1409 C01F17/0043

    Abstract: 本发明的目的是提供氧化铈含量高的高纯度铈系研磨材料,该研磨材料的研磨速度得到了改善。本发明的铈系研磨材料的特征在于,它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的氧化铈的含量为90质量%以上的铈系研磨材料,相对于研磨材料总量,含有0.01~2.0质量%的选自Ti及原子序号80以下的5族~12族的元素的至少1种特定元素。

    元件的制造方法
    34.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101283443A

    公开(公告)日:2008-10-08

    申请号:CN200680037806.1

    申请日:2006-10-13

    CPC classification number: G02F1/1368 G02F1/13439 H01L27/124

    Abstract: 本发明涉及具备刻蚀铝合金膜而形成配线电路的工序的元件的制造方法,提供极度抑制对铝合金膜造成的破坏,可以实现可靠性高的元件的制造技术。具备在基板上形成铝合金膜,刻蚀该铝合金膜而形成配线电路的工序的元件的制造方法中,形成铝合金膜后,使铝合金膜表面氧化。这时的氧化处理如下进行:以相对于将具备自然氧化被膜的规定厚度的铝合金膜通过铝合金用刻蚀液以总厚度刻蚀时所算出的厚度方向的刻蚀速度,可以确保80%以上的刻蚀速度的条件,形成氧化被膜。

    铈系研磨材料及其原料
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1701110A

    公开(公告)日:2005-11-23

    申请号:CN200480001221.5

    申请日:2004-03-29

    CPC classification number: C09K3/1463 C01F17/0012 C01F17/0043 C09K3/1409

    Abstract: 本发明提供具有发生损伤更少等优良研磨特性、研磨速度更高的铈系研磨材料。该铈系研磨材料作为稀土类氧化物至少含有氧化铈(CeO2)、氧化镧(La2O3)及氧化钕(Nd2O3),并含有氟元素(F),其总稀土类氧化物换算重量(TREO)为90wt%以上,同时,TREO中氧化铈所占重量比(CeO2/TREO)为50wt%~65wt%,并且TREO中氧化钕所占重量比(Nd2O3/TREO)为10wt%~16wt%。使用这样的铈系研磨材料能迅速得到研磨损伤发生较少的研磨面。

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