一种精密调平装置
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    发明公开

    公开(公告)号:CN1840309A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200510046168.7

    申请日:2005-03-31

    Abstract: 一种精密调平装置,属于机械装置领域,涉及热压成形设备中调平装置的机构设计,用于重载工况下热压成形中的机构调平。精密调平装置由调平底板、安装板、斜板和若干联接螺栓组成。其中,调平底板由上调平底板和下调平底板组成,安装板由上安装板和下安装板组成,斜板由上斜板和下斜板组成。上调平底板和上安装板可相对转动,下调平底板和下安装板可相对转动,上调平底板和上安装板间的转轴中心线与下调平底板和下安装板间的转轴中心线有一个偏心e。调平装置结构紧凑,适用于重载工况下的机构调平,可广泛应用于微流控芯片、微透镜阵列、导光板等的热压成形设备中。

    温度循环控制的方法及装置

    公开(公告)号:CN1549074A

    公开(公告)日:2004-11-24

    申请号:CN03111670.1

    申请日:2003-05-13

    Abstract: 一种温度循环控制的方法及装置属于温度控制领域,其方法采用电加热器或循环水冷却装置对蓄热油箱进行温度控制,利用热电偶温度传感器检测蓄热油箱的温度,同时还需要对控温板进行温度循环控制。改变通过半导体热电致冷器件电流的方向,实现对控温板的加热或制冷。其装置由电加热器,蓄热油箱,循环水冷却装置,热电偶组成,还具有可导热的控温板,半导体热电致冷器件,铂电阻温度传感器,导热硅树脂橡胶,隔热材料。采用本发明能够降低功耗,有利于节约能源,实现对升降温进行准确和快速的控制,提高响应速度和效率。

    一种便携式水质氨氮微流控检测系统

    公开(公告)号:CN118477704A

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202311668706.0

    申请日:2023-12-07

    Abstract: 本发明涉及水质指标浓度检测技术领域,且公开了一种便携式水质氨氮微流控检测系统,包括微流控器件主体和暗箱主体,微流控器件主体上下两侧面分别设有上表面微通道和下表面微通道,由厚度方向设置的显色反应发生区域相连,上表面微通道和下表面微通道分别设有上透光表面以及下透光表面,样本通过顶部微流控器件入口注入,经过器件中的过滤结构后由下表面微通道流入显色反应发生区,显色反应发生区置入由泡沫镍围成的多孔圆环结构,过滤后的样本充满显色反应发生区并与其中预存储的试剂发生显色反应后。本发明中,通过纳氏试剂分光光度法与微流控芯片检测结合起来应用于氨氮定量检测中,弥补传统检测方法中便携性差、稳定性低以及精度差等缺陷。

    一种同步制造纳米凹坑阵列的跨尺度微纳结构加工方法

    公开(公告)号:CN113336186B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202110558110.X

    申请日:2021-05-21

    Abstract: 本发明属于加工技术领域,提供了一种同步制造纳米凹坑阵列的跨尺度微纳结构加工方法。将纳米颗粒分散在光刻胶中,通过光刻工艺形成厚度与纳米颗粒直径接近的光刻胶层,以含有纳米颗粒的图形化光刻胶层为掩膜对基底进行刻蚀,胶层中的纳米颗粒可被刻蚀液腐蚀或溶解,并逐渐形成纳米孔穴,刻蚀液透过纳米孔穴对基底进行刻蚀。本发明仅需一次光刻与腐蚀工艺,即可在基底上同时构建具有微米或几百纳米的功能结构以及在功能结构表面具有纳米特征尺寸的凹坑结构。简化了制造工艺流程、降低了加工成本,有利于批量化制造。

    一种用于制造三层结构干电极的转印方法

    公开(公告)号:CN110422822B

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN201910676158.3

    申请日:2019-07-25

    Abstract: 一种用于制造三层结构干电极的转印方法,属于微纳器件制造与生物医学领域。首先,在硅等基片表面依次沉积一层牺牲层、一层保护层和一层金属电极层;接着,在金属电极层表面旋涂一层聚酰亚胺薄膜,并利用光刻工艺对聚酰亚胺薄膜进行图形化;然后,以图形化的聚酰亚胺薄膜作为腐蚀掩蔽层,利用腐蚀工艺对金属电极层进行图形化;最后,腐蚀掉保护层和牺牲层,将图形化的聚酰亚胺薄膜和金属电极层转印到可延展薄膜基底表面。本发明避免使用耗时的反应离子刻蚀工艺,采用简单的光刻工艺便可完成聚酰亚胺薄膜的图形化;另外,通过采用牺牲层工艺,只需进行一次图形转移,可将聚酰亚胺薄膜和金属电极层转印到薄膜基底表面,简化三层结构干电极的制造流程。

    一种液体推进剂恒力弹簧式贮箱

    公开(公告)号:CN111622866B

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202010414816.4

    申请日:2020-05-15

    Abstract: 本发明属于液体工质电推进系统技术领域,提供了一种液体推进剂恒力弹簧式贮箱,包括箱体、弹簧支座、恒力弹簧、推杆、活塞、销轴、密封圈以及导向环。密封圈和导向环安装在活塞上,起密封和导向作用;推杆和活塞相连接,在恒力弹簧的弹力作用下,推杆和活塞将箱体中存储的液体推进剂挤入到供给管路。本发明可以保证液体推进剂在恒定压力下连续稳定的供给,并且体积小、重量轻、可靠性高,适用于液体工质的电推进系统。

    一种同步制造纳米凹坑阵列的跨尺度微纳结构加工方法

    公开(公告)号:CN113336186A

    公开(公告)日:2021-09-03

    申请号:CN202110558110.X

    申请日:2021-05-21

    Abstract: 本发明属于加工技术领域,提供了一种同步制造纳米凹坑阵列的跨尺度微纳结构加工方法。将纳米颗粒分散在光刻胶中,通过光刻工艺形成厚度与纳米颗粒直径接近的光刻胶层,以含有纳米颗粒的图形化光刻胶层为掩膜对基底进行刻蚀,胶层中的纳米颗粒可被刻蚀液腐蚀或溶解,并逐渐形成纳米孔穴,刻蚀液透过纳米孔穴对基底进行刻蚀。本发明仅需一次光刻与腐蚀工艺,即可在基底上同时构建具有微米或几百纳米的功能结构以及在功能结构表面具有纳米特征尺寸的凹坑结构。简化了制造工艺流程、降低了加工成本,有利于批量化制造。

    一种用于微流体的气泡消溶单元

    公开(公告)号:CN113117767A

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN202110373328.8

    申请日:2021-04-07

    Abstract: 本发明提出了一种用于微流体的气泡消溶单元,属于微流体两相流传质领域。所述的气泡消溶单元包括若干条沿气泡消溶单元长度方向平行设置的微通道,每条微通道的侧壁上均开有多个通孔,相邻微通道之间通过通孔相互连通;液体从微通道一端的液体入口流入、从微通道另一端的液体出口流出。其中,微通道模拟植物木质部导管,侧壁通孔模拟植物导管壁纹孔,用于连通多个管道并提供气泡捕捉和消溶需要的表面张力。本发明能够消除微通道内的气泡,防止通道栓塞和通道壁面损坏,保证液体流动的稳定性,在微全分析、细胞培养和燃料电池、航空航天等方面具有广阔应用前景;并且本发明具有较高的生物兼容性,制作简单、成本低,可实现大批量生产。

    一种高温电涡流位移传感器的制作方法

    公开(公告)号:CN112857195A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202110233385.6

    申请日:2021-03-03

    Abstract: 本发明属于传感器技术领域,公开了一种高温电涡流位移传感器的制作方法。本发明采用低温共烧陶瓷作为基体材料,介电损耗和热膨胀系数小,适宜在高温环境中使用。通过在陶瓷基体上打孔、通孔填充银浆和层压实现上下层的连接。采用干法刻蚀和湿法刻蚀技术结合制作Si模具,使用Si模具在陶瓷表面纳米压印得到导体路径的微通道,通过涂银浆、光刻和显影技术得到线圈金属导体。最后通过对齐、等静压、切割和烧结得到最终的感应探头。采用高温氧化铝陶瓷和无机高温胶对探头进行无缝隙封装,实现了探头位置的固定和避免油污等的腐蚀。本发明通过将LTCC技术和MEMS技术有机结合,制作的感应探头灵敏度更高、高温适应性更强以及品质因数更大。

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