切削残余部除去装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104183476A

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201410065865.6

    申请日:2014-02-26

    CPC classification number: B28D5/023 B28D5/0058

    Abstract: 本发明提供一种切削残余部除去装置,其目的在于提高晶片的生产成品率。根据本发明,第一喷嘴(30)喷射流体而在切削残余部(601)与晶片列(60)之间设置间隙,保持臂(710)使切削残余部(601)旋转,而扩宽切削残余部(601)与晶片列(60)之间的间隙且使切片基座(50)与切削残余部(601)剥离,使切削残余部(601)向与切削残余部(601)分开的方向移动,从而能将切削残余部(601)从切片基座(50)除去。由此,在取出晶片(600)时,能抑制晶片(600)与切削残余部(601)接触而产生的晶片(600)的裂纹、缺口等的品质异常,进而能提高晶片的生产成品率。

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