一种氮化镓晶体管器件及制备方法

    公开(公告)号:CN118099202A

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202410168672.7

    申请日:2024-02-06

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明公开了涉及一种氮化镓晶体管器件及制备方法,属于半导体领域。本发明的氮化镓HEMT器件包括由下而上依次设置衬底1、缓冲层2、GaN层3、AlGaN层4、原位ScN钝化保护层5,源极8和漏极6分别穿过所述原位ScN钝化保护层5与所述AlGaN层4形成欧姆接触,栅极7穿过所述原位ScN钝化保护层5与所述AlGaN层4形成肖特基接触,本发明利用ScN材料形成钝化层,一方面,ScN与AlGaN晶格常数更为匹配从而减少器件表面的缺陷,另一方面实验结果证明,本发明可以有效地缓解二维电子气的降低,改善了电流崩塌效应与动态电阻上升的问题。

    一种低开启电压的氮化镓二极管及制造方法

    公开(公告)号:CN117976728A

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202410187954.1

    申请日:2024-02-20

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明公开了一种低开启电压的氮化镓二极管及制造方法,属于半导体技术领域。所述的氮化镓二极管从下至上依次设置衬底、GaN缓冲层、GaN外延层、AlGaN外延层,AlGaN外延层设有凹槽结构,AlGaN外延层上放并列设有第一阳极、第二阳极、阴极,与阴极之间的接触方式为欧姆接触,凹槽结构上方设有阳极2,所述AlGaN外延层与阳极1和阳极2之间的接触方式分别为肖特基接触1和肖特基接触2。本发明使用凹槽结构的深度调控器件的开启电压,通过采用不同的肖特基接触功函数实现阈值电压和反向漏电的调节,从而实现低开启电压和低反向漏电的氮化镓二极管。

    一种氮化镓晶体管存储器及制备方法

    公开(公告)号:CN118053908A

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202410133115.1

    申请日:2024-01-31

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明公开了一种氮化镓晶体管存储器及制备方法,属于集成电路器件技术领域。所述氮化镓晶体管存储器包括由下至上依次设置的衬底、缓冲层、本征氮化镓层和本征铝镓氮层,所述本征铝镓氮层上并列设置有氧化铝隧穿层、源极和漏极,所述氧化铝隧穿层上依次生长有HfZrO铁电材料层、氧化铝绝缘层以及栅极;其中,采用GaN/AlGaN异质结所产生的二维电子气来作为存储在HfZrO铁电材料层中的电子来源。本发明采用有机化学气相沉积法(MOCVD)和原子层沉积法(ALD)在本征铝镓氮层上依次外延出氧化铝隧穿层、HfZrO铁电材料层、氧化铝绝缘层的结构,形成了氮化镓晶体管存储器。本发明提供的氮化镓基存储器件基于氮化镓基三极管结构,具有存储速率高、存储稳定等优势。

    一种基于四面体嵌银结构的超灵敏检测血管内皮生长因子的方法

    公开(公告)号:CN104964960A

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:CN201510307822.9

    申请日:2015-06-08

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 一种基于嵌银四面体结构的超灵敏检测血管内皮生长因子的方法,属于分析化学领域。本发明通过10 nm粒径的金纳米颗粒的合成、6 nm 粒径的银纳米颗粒的合成、金纳米粒子的包裹、金纳米粒子上单链DNA的修饰、银纳米粒子上血管内皮生长因子适配体Apt-VEGF和信标分子4-NTP的修饰、嵌银四面体结构的组装和表面增强拉曼散射信号强度检测,建立拉曼信号强度与血管内皮生长因子浓度的标准曲线。本发明提供了一种基于嵌银四面体结构检测血管内皮生长因子的方法,与传统的检测方法相比成本低,灵敏度高,方便快捷,具有很好的实际应用前景。

    一种基于四面体嵌银结构的检测血管内皮生长因子的方法

    公开(公告)号:CN104964960B

    公开(公告)日:2017-07-07

    申请号:CN201510307822.9

    申请日:2015-06-08

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 一种基于嵌银四面体结构的超灵敏检测血管内皮生长因子的方法,属于分析化学领域。本发明通过10nm粒径的金纳米颗粒的合成、6nm粒径的银纳米颗粒的合成、金纳米粒子的包裹、金纳米粒子上单链DNA的修饰、银纳米粒子上血管内皮生长因子适配体Apt‑VEGF和信标分子4‑NTP的修饰、嵌银四面体结构的组装和表面增强拉曼散射信号强度检测,建立拉曼信号强度与血管内皮生长因子浓度的标准曲线。本发明提供了一种基于嵌银四面体结构检测血管内皮生长因子的方法,与传统的检测方法相比成本低,灵敏度高,方便快捷,具有很好的实际应用前景。

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