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公开(公告)号：CN102254925A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110226209.6
申请日：2009-11-17
Applicant: 索尼株式会社
Inventor： 阿部秀司
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H04N5/335 , G01J1/02 , G01J1/0209 , G01J1/0214 , G01J1/04 , G01J1/0422 , G01J1/06 , G01J1/4228 , H01L27/14605 , H01L27/14609 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/14641 , H01L27/14685
Abstract: 本公开涉及固态成像器，其制造方法和照相机。固态成像器包括光电转换区，用于把在其受光面接收的光束光电转换成信号电荷，和把光束引导到受光面的波导路径。波导路径包括多个波导部件，每个波导部件把入射在其光入射面的光束引导到其光出射面。所述多个波导部件层叠在受光面上。多个波导部件之中，最接近受光面的第一波导部件面对受光面，并且面积小于多个波导部件中离受光面最远的第二波导部件的光入射面的面积。
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公开(公告)号：CN1812115B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200610051305.0
申请日：2006-01-05
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/822
CPC classification number: H01L27/14601 , H01L27/1463 , H01L27/14689
Abstract: 本发明公开了一种固态成像器件及其制造方法，所述固态成像器件包括：多个像素，二维地排列在设置在半导体衬底上的阱区中，每个像素包括具有聚集信号电荷的电荷聚集区的光电转换部分；元件隔离层，其设置在沿各个电荷聚集区周边的阱区表面上，且其将各个像素彼此电隔离；和扩散层，其设置在所述元件隔离层下面，以围绕各个电荷聚集区，且将各个像素彼此电隔离，所述扩散层具有比所述元件隔离层小的宽度。每个电荷聚集区设置以在元件隔离层下延伸并与扩散层形成接触或与其紧邻。
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公开(公告)号：CN100452416C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200610067363.2
申请日：2006-02-05
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/822
CPC classification number: H01L27/1463 , H01L27/14643
Abstract: 本发明涉及固态图像拾取装置及其制造方法。该固态图像拾取装置包括：阱区表面上的电隔离像素的元件隔离绝缘膜；第一隔离扩散层，其在元件隔离绝缘膜下面电隔离像素；以及第二隔离扩散层，其在第一隔离扩散层下面电隔离像素，其中电荷积累区设置于由第一和第二隔离扩散层围绕的阱区中，第一隔离扩散层的内周部分形成突出区，具有第一隔离扩散层的导电类型的杂质和具有电荷积累区的导电类型的杂质在突出区中混合，并且电荷积累区的在电荷积累区和第二隔离扩散层之间的部分在突出区下邻接或邻近第二隔离扩散层。
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公开(公告)号：CN100411182C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200410055218.3
申请日：2004-06-11
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H01L27/14629 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14636 , H01L27/14656
Abstract: 本发明公开一种固态摄像器件(100)，其中一波导(15)形成于光接收传感器部分(2)上的一绝缘层中，由通过CVD法沉积的Al膜制成的反射膜(17)覆盖波导(15)的侧壁(161)，一衬层膜(19)形成于反射膜(17)和波导(15)的侧壁(161)之间，而衬层膜(19)由VIB族元素制成。从而能获得一种包括波导的固态摄像器件，它能抑制衬层膜(19)吸收提供给光接收传感器部分(2)的氢，并且其包含具有良好的表面状况、良好的覆盖度和优良的吸附力的高反射率的反射膜(17)。
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公开(公告)号：CN101728409B
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN200910209101.9
申请日：2006-01-05
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/82
CPC classification number: H01L27/14601 , H01L27/1463 , H01L27/14689
Abstract: 本发明公开了一种固态成像器件及其制造方法，所述固态成像器件包括：多个像素，二维地排列在设置在半导体衬底上的阱区中，每个像素包括具有聚集信号电荷的电荷聚集区的光电转换部分；元件隔离层，其设置在沿各个电荷聚集区周边的阱区表面上，且其将各个像素彼此电隔离；和扩散层，其设置在所述元件隔离层下面，以围绕各个电荷聚集区，且将各个像素彼此电隔离，所述扩散层具有比所述元件隔离层小的宽度。每个电荷聚集区设置以在元件隔离层下延伸并与扩散层形成接触或与其紧邻。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101740596B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN200910224529.0
申请日：2009-11-17
Applicant: 索尼株式会社
Inventor： 阿部秀司
IPC: H01L27/146 , H01L21/822 , H04N5/225
CPC classification number: H04N5/335 , G01J1/02 , G01J1/0209 , G01J1/0214 , G01J1/04 , G01J1/0422 , G01J1/06 , G01J1/4228 , H01L27/14605 , H01L27/14609 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/14641 , H01L27/14685
Abstract: 固态成像器包括光电转换区，用于把在其受光面接收的光束光电转换成信号电荷，和把光束引导到受光面的波导路径。波导路径包括多个波导部件，每个波导部件把入射在其光入射面的光束引导到其光出射面。所述多个波导部件层叠在受光面上。多个波导部件之中，最接近受光面的第一波导部件面对受光面，并且面积小于多个波导部件中离受光面最远的第二波导部件的光入射面的面积。
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公开(公告)号：CN101728409A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910209101.9
申请日：2006-01-05
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/82
CPC classification number: H01L27/14601 , H01L27/1463 , H01L27/14689
Abstract: 本发明公开了一种固态成像器件及其制造方法，所述固态成像器件包括：多个像素，二维地排列在设置在半导体衬底上的阱区中，每个像素包括具有聚集信号电荷的电荷聚集区的光电转换部分；元件隔离层，其设置在沿各个电荷聚集区周边的阱区表面上，且其将各个像素彼此电隔离；和扩散层，其设置在所述元件隔离层下面，以围绕各个电荷聚集区，且将各个像素彼此电隔离，所述扩散层具有比所述元件隔离层小的宽度。每个电荷聚集区设置以在元件隔离层下延伸并与扩散层形成接触或与其紧邻。
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公开(公告)号：CN100481482C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200480011816.9
申请日：2004-03-05
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/148 , H04N5/335
Abstract: 通过以良好平衡的方法改善噪声特性和读出特性从而提供了一种具有满意的噪声特性和读出特性的固态成像装置。所述固态成像装置具有如此的结构使得在构成像素的光接收传感器部分11的一侧提供读信号电荷；将预定的电压信号V施加到形成以覆盖除了光接收传感器部分11之外的图像拾取区的光屏蔽膜9；在构成光接收传感器部分11的光电转换区的第一导电型半导体区2的表面上的中心形成第二导电型半导体区6，且包含比第二导电型半导体区6的掺杂浓度更低的掺杂浓度的区10(10A、10B)形成于第一导电型半导体区2的表面上在电极8侧的端部和像素隔离区3侧的相对端部。
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公开(公告)号：CN101740596A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910224529.0
申请日：2009-11-17
Applicant: 索尼株式会社
Inventor： 阿部秀司
IPC: H01L27/146 , H01L21/822 , H04N5/225
CPC classification number: H04N5/335 , G01J1/02 , G01J1/0209 , G01J1/0214 , G01J1/04 , G01J1/0422 , G01J1/06 , G01J1/4228 , H01L27/14605 , H01L27/14609 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/14641 , H01L27/14685
Abstract: 固态成像器包括光电转换区，用于把在其受光面接收的光束光电转换成信号电荷，和把光束引导到受光面的波导路径。波导路径包括多个波导部件，每个波导部件把入射在其光入射面的光束引导到其光出射面。所述多个波导部件层叠在受光面上。多个波导部件之中，最接近受光面的第一波导部件面对受光面，并且面积小于多个波导部件中离受光面最远的第二波导部件的光入射面的面积。
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公开(公告)号：CN100382327C
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200410071405.0
申请日：2004-04-02
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/14 , H01L27/146 , H04N5/335
CPC classification number: H01L27/14843 , H01L27/14623 , H01L27/14689 , H01L27/14837
Abstract: 一种固态图像拾取装置，包括：位于一衬底上的用于接收入射光以进行光电转换的多个光电转换区域；一读取栅，用于读取来自光电转换区域的信号电荷；和一转移寄存器(垂直寄存器)，用于转移由读取栅读取的信号电荷。其中，在所述衬底的表面侧上形成有一个凹槽，和所述转移寄存器和读取栅被形成在所述凹槽的底部处。根据这种结构，在所述固态图像拾取装置中，可实现拖影特性、读取电压、噪音等的减小。
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