Conductive material patterning methods
    76.
    发明申请
    Conductive material patterning methods 失效
    导电材料图案化方法

    公开(公告)号:US20030219991A1

    公开(公告)日:2003-11-27

    申请号:US10462476

    申请日:2003-06-16

    Abstract: A patterning method includes providing a first material (e.g., copper) and transforming at a least a surface region of the first material to a second material (e.g., copper oxide). One or more portions of the second material (e.g., copper oxide) are converted to one or more converted portions of first material (e.g., copper) while one or more portions of the second material (e.g., copper oxide) remain. One or more portions of the remaining second material (e.g., copper oxide) are removed selectively relative to converted portions of first material (e.g., copper). Further, a thickness of the converted portions may be increased. Yet further, a diffusion barrier layer may be used for certain applications.

    Abstract translation: 图案化方法包括提供第一材料(例如铜)并在第一材料的至少一个表面区域转化为第二材料(例如氧化铜)。 第二材料(例如氧化铜)的一个或多个部分被转换成第一材料(例如铜)的一个或多个转换部分,同时保留第二材料(例如氧化铜)的一个或多个部分。 选择性地相对于第一材料(例如铜)的转化部分去除剩余的第二材料(例如,氧化铜)的一个或多个部分。 此外,可以增加转换部分的厚度。 此外,扩散阻挡层可以用于某些应用。

    Conductive material patterning methods
    78.
    发明授权
    Conductive material patterning methods 失效
    导电材料图案化方法

    公开(公告)号:US06602653B1

    公开(公告)日:2003-08-05

    申请号:US09648884

    申请日:2000-08-25

    Abstract: A patterning method includes providing a first material (e.g., copper) and transforming at a least a surface region of the first material to a second material (e.g., copper oxide). One or more portions of the second material (e.g., copper oxide) are converted to one or more converted portions of first material. (e.g., copper) while one or more portions of the second material (e.g., copper oxide) remain. One or more portions of the remaining second material (e.g., copper oxide) are removed selectively relative to converted portions of first material (e.g., copper). Further, a thickness of the converted portions may be increased. Yet further, a diffusion barrier layer may be used for certain applications.

    Abstract translation: 图案化方法包括提供第一材料(例如铜)并在第一材料的至少一个表面区域转化为第二材料(例如氧化铜)。 第二材料(例如氧化铜)的一个或多个部分被转换成第一材料的一个或多个转换部分。 (例如铜),而第二材料(例如氧化铜)的一个或多个部分保留。 选择性地相对于第一材料(例如铜)的转化部分去除剩余的第二材料(例如,氧化铜)的一个或多个部分。 此外,可以增加转换部分的厚度。 此外,扩散阻挡层可以用于某些应用。

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